真空磁控濺射技術(shù)是指一種利用陰極表面配合的磁場形成電子陷阱,，使在E×B的作用下電子緊貼陰極表面飄移,。設(shè)置一個與靶面電場正交的磁場,，濺射時產(chǎn)生的快電子在正交的電磁場中作近似擺線運動,，增加了電子行程,，提高了氣體的離化率,，同時高能量粒子與氣體碰撞后失去能量,，基體溫度較低，在不耐溫材料上可以完成鍍膜,。這種技術(shù)是玻璃膜技術(shù)中的較優(yōu)先技術(shù),，是由航天工業(yè)、兵器工業(yè),、和核工業(yè)三個方面相結(jié)合的優(yōu)先技術(shù)的民用化,，民用主要是通過這種技術(shù)達到節(jié)能、環(huán)保等作用,。磁控濺射可以分為直流磁控濺射法和射頻磁控濺射法,。河南反應磁控濺射聯(lián)系商家

為了解決陰極濺射的缺陷,，人們在20世紀70年代的時候開發(fā)出了直流磁控濺射技術(shù)，它有效地克服了陰極濺射速率低和電子使基片溫度升高的弱點,，因而獲得了迅速發(fā)展和普遍應用,。其原理是：在磁控濺射中，由于運動電子在磁場中受到洛侖茲力,，它們的運動軌跡會發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運動,，其運動路徑變長，因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù),，使等離子體密度增大,，從而磁控濺射速率得到很大的提高，而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作,，降低薄膜污染的傾向,；另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量，因而可以在很大程度上改善薄膜的質(zhì)量,。同時,，經(jīng)過多次碰撞而喪失能量的電子到達陽極時，已變成低能電子,，從而不會使基片過熱,。因此磁控濺射法具有“高速”、“低溫”的優(yōu)點,。該方法的缺點是不能制備絕緣體膜,，而且磁控電極中采用的不均勻磁場會使靶材產(chǎn)生明顯的不均勻刻蝕，導致靶材利用率低,，一般只為20%-30%,。江蘇真空磁控濺射儀器磁控直流濺射法要求靶材能夠?qū)碾x子轟擊過程中得到的正電荷傳遞給與其緊密接觸的陰極。

磁控濺射是物相沉積的一種,。一般的濺射法可被用于制備金屬,、半導體、絕緣體等多材料,，且具有設(shè)備簡單,、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優(yōu)點,。上世紀70年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實現(xiàn)了高速,、低溫、低損傷,。因為是在低氣壓下進行高速濺射,，必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率,。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程,。入射粒子在靶中經(jīng)歷復雜的散射過程，和靶原子碰撞,，把部分動量傳給靶原子,，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成級聯(lián)過程,。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,，離開靶被濺射出來。

磁控濺射靶材鍍膜過程中,，影響靶材鍍膜沉積速率的因素：濺射電流：磁控靶的濺射電流與濺射靶材表面的離子電流成正比,，因此也是影響濺射速率的重要因素。磁控濺射有一個普遍規(guī)律,，即在較佳氣壓下沉積速度較快。因此,，在不影響薄膜質(zhì)量和滿足客戶要求的前提下,，從濺射良率考慮氣體壓力的較佳值是合適的。改變?yōu)R射電流有兩種方法：改變工作電壓或改變工作氣體壓力,。濺射功率：濺射功率對沉積速率的影響類似于濺射電壓,。一般來說，提高磁控靶材的濺射功率可以提高成膜率,。然而,這并不是一個普遍的規(guī)則,。在磁控靶材的濺射電壓低，濺射電流大的情況下,，雖然平均濺射功率不低,，但離子不能被濺射，也不能沉積,。前提是要求施加在磁控靶材上的濺射電壓足夠高,，使工作氣體離子在陰極和陽極之間的電場中的能量足夠大于靶材的"濺射能量閾值"。磁控濺射是物相沉積的一種,。

真空鍍膜機磁控濺射方式：直流濺射方法用于被濺射材料為導電材料的濺射和反應濺射鍍膜中,，其工藝設(shè)備簡單，有較高的濺射速率,。中頻交流磁控濺射在單個陰極靶系統(tǒng)中,，與脈沖磁控濺射有同樣的釋放電荷、防止打弧作用,。中頻交流濺射技術(shù)還應用于孿生靶濺射系統(tǒng)中,，中頻交流孿生靶濺射是將中頻交流電源的兩個輸出端，分別接到閉合磁場非平衡濺射雙靶的各自陰極上，因而在雙靶上分別獲得相位相反的交流電壓,，一對磁控濺射靶則交替成為陰極和陽極,。孿生靶濺射技術(shù)大幅度提高磁控濺射運行的穩(wěn)定性，可避免被毒化的靶面產(chǎn)生電荷積累,，引起靶面電弧打火以及陽極消失的問題,，濺射速率高，為化合物薄膜的工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)奠定基礎(chǔ),。磁控濺射的特點是成膜速率高,，基片溫度低，膜的粘附性好,，可實現(xiàn)大面積鍍膜,。北京高質(zhì)量磁控濺射分類

磁控濺射的優(yōu)點：基板低溫性。河南反應磁控濺射聯(lián)系商家

電子元器件制造業(yè)是電子信息產(chǎn)業(yè)的重要組成部分,，是通信,、計算機及網(wǎng)絡(luò)、數(shù)字音視頻等系統(tǒng)和終端產(chǎn)品發(fā)展的基礎(chǔ),，其技術(shù)水平和生產(chǎn)能力直接影響整個行業(yè)的發(fā)展,，對于電子信息產(chǎn)業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新和做大做強有著重要的支撐作用。在一些客觀因素如服務型的推動下,，部分老舊,、落后的產(chǎn)能先后退出市場，非重點品種的短缺已經(jīng)非常明顯,。在這樣的市場背景下,，電子元器件產(chǎn)業(yè)有望迎來高速增長周期，如何填補這一片市場空白,，需要理財者把握時勢,，精確入局。眼下,，市場缺口較大的,，還是LCD領(lǐng)域，由于LCD價格逐漸提高,，同時也開始向新的服務型方向發(fā)展,，相應的電子元器件產(chǎn)能并沒有及時跟進。因此,，對于理財者來說,，從這一方向入手，有望把握下**業(yè)增長的紅利,。電子元器件行業(yè)位于產(chǎn)業(yè)鏈的中游,，介于電子整機行業(yè)和電子原材料行業(yè)之間，其發(fā)展得快慢，所達到的技術(shù)水平和生產(chǎn)規(guī)模,，不但直接影響著整個電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,，而且對發(fā)展信息技術(shù)，改造傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè),，提高現(xiàn)代化裝備水平,，促進科技進步都具有重要意義。河南反應磁控濺射聯(lián)系商家

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