激光微納加工技術(shù)的實現(xiàn)方式：接觸式并行激光加工技術(shù)是指利用微球體顆粒進(jìn)行激光圖案化,。微球激光納米加工的機(jī)理,。微球激光納米加工技術(shù)初源于對激光清潔領(lǐng)域的研究,。研究發(fā)現(xiàn)，基底上的微小球形顆粒在脈沖激光照射后,，基底上球形顆粒的中心位置能夠產(chǎn)生亞波長尺寸的微/納孔,。對于金屬顆粒而言，這是由于顆粒與基底之間的LSPR產(chǎn)生的強(qiáng)電磁場增強(qiáng)造成的,；對于介質(zhì)顆粒而言,，由于其大半部分是透明的，可以將透明顆?？闯蔀槲⑶蛲哥R，入射光在微球形透鏡的底面實現(xiàn)聚焦而引起的電磁場增強(qiáng),。這一過程可以實現(xiàn)入射光強(qiáng)度的60倍增強(qiáng),。通過對微球的直徑，折射率,，環(huán)境以及入射的激光強(qiáng)度進(jìn)行設(shè)計,，可以實現(xiàn)在基底上燒蝕出亞波長尺寸的微/納孔。微球激光納米加工的實現(xiàn)方式對于微球激光納米加工技術(shù),，根據(jù)操縱微球顆粒排列方式的不同,，可以分為兩類：一是利用光鑷技術(shù)操縱微球體顆粒以制造任意圖案；二是利用自組裝技術(shù)制造微球體陣列掩模,。這種基于微球體的并行激光加工是納米制造中一種比較經(jīng)濟(jì)的方法,。 微納加工設(shè)備主要有：光刻、刻蝕,、鍍膜,、濕法腐蝕、絕緣層鍍膜等,。衢州半導(dǎo)體微納加工

高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)可以通過電子束直寫或激光直寫制作,，這類光刻技術(shù)，像“寫字”一樣,，通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進(jìn)行曝光,，具有很高的曝光精度，但這兩種方法制作效率極低,，尤其在大面積制作方面捉襟見肘,，目前直寫光刻技術(shù)適用于小面積的微納結(jié)構(gòu)制作,。近年來，三維浮雕微納結(jié)構(gòu)的需求越來越大,，如閃耀光柵,、菲涅爾透鏡、多臺階微光學(xué)元件等,。據(jù)悉,，蘋果公司新上市的手機(jī)產(chǎn)品中人臉識別模塊就采用了多臺階微光學(xué)元件，以及當(dāng)下如火如荼的無人駕駛技術(shù)中激光雷達(dá)光學(xué)系統(tǒng)也用到了復(fù)雜的微光學(xué)元件,。這類精密的微納結(jié)構(gòu)光學(xué)元件需采用灰度光刻技術(shù)進(jìn)行制作,。直寫技術(shù)，通過在光束移動過程中進(jìn)行相應(yīng)的曝光能量調(diào)節(jié),，可以實現(xiàn)良好的灰度光刻能力,。遼陽半導(dǎo)體微納加工微納結(jié)構(gòu)器件是系統(tǒng)重要的組成部分，其制造的質(zhì)量,、效率和成本直接影響著行業(yè)的發(fā)展,。

     微納加工技術(shù)是先進(jìn)制造的重要組成部分，是衡量國家制造業(yè)水平的標(biāo)志之一,，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點,，在推動科技進(jìn)步、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、拉動科技進(jìn)步,、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種,。很顯然,，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域提供技術(shù)咨詢,、器件設(shè)計,、版圖設(shè)計、光刻,、刻蝕,、鍍膜等技術(shù)服務(wù)。

    淺談表面功能微納結(jié)構(gòu)及其加工方法：目前可以實現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下幾種,。（1）光刻技術(shù),，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結(jié)構(gòu)，該方法優(yōu)勢在于精度高,，得到的微納結(jié)構(gòu)形狀可以得到很好的控制,；（2）飛秒激光加工技術(shù),，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點，可以加工出遠(yuǎn)小于光斑直徑的尺寸,，研究人員通過試驗發(fā)現(xiàn),，采用飛秒激光加工出10nm寬的納米線，在微納加工領(lǐng)域具有獨特優(yōu)勢,。另外飛秒激光雙分子聚合技術(shù)可以實現(xiàn)納米尺寸結(jié)構(gòu)的加工,；（3）自組裝工藝，光刻與自組裝和刻蝕工藝結(jié)合,，通過自組裝工藝,，可以得到6nm左右的納米孔。（4）等離子刻蝕技術(shù),，等離子刻蝕技術(shù)是應(yīng)用廣的微納米加工手段,，加工精度高，是集成電路制造中關(guān)鍵的工藝之一,。（5）沉積法,，主要包括物相沉積和化學(xué)氣相沉積，該方法主要是利用氣相發(fā)生的物理化學(xué)過程,，在工件表面形成功能型或裝飾性的金屬,，可以用來實現(xiàn)微納米結(jié)構(gòu)涂層的制造。（6）微納增材制造技術(shù),，微納增材制造技術(shù)主要指微納尺度電噴增材制造和微激光增材制造技術(shù),，由于微納增材技術(shù)可以不受形狀限制,，可多材料協(xié)同制造,，具有較大的發(fā)展前景。除以上幾種加工技術(shù)外,。 機(jī)械微加工是微納制造中較方便,，也較接近傳統(tǒng)材料加工方式的微成型技術(shù)。

    微納加工：干法刻蝕VS濕法刻蝕,！刻蝕工藝：用化學(xué)或物理方法有選擇性地從某一材料表面去除不需要那部分的過程,，獲得目標(biāo)圖形。在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝：干法刻蝕和濕法刻蝕,。干法刻蝕的刻蝕劑是等離子體,，是利用等離子體和表面薄膜反應(yīng)，形成揮發(fā)性物質(zhì),，或直接轟擊薄膜表面使之被刻蝕的工藝,。特點：能實現(xiàn)各向異性刻蝕，從而保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性,。缺點：造價高,。濕法刻蝕是通過化學(xué)刻蝕液和被刻蝕物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)將被刻蝕物質(zhì)剝離下來的方法,。大多數(shù)濕法刻蝕是不容易控制的各向同性刻蝕。特點：適應(yīng)性強(qiáng),，表面均勻性好,、對硅片損傷少，幾乎適用于所有的金屬,、玻璃,、塑料等材料。缺點：圖形刻蝕保真想過不理想,，刻蝕圖形的小線難以掌控,。 微納加工技術(shù)的特點MEMS技術(shù)適合批量生產(chǎn)。延安微納加工中心

微納加工設(shè)備主要有：光刻,、刻蝕,、成膜、離子注入,、晶圓鍵合等,。衢州半導(dǎo)體微納加工

    微納加工基于光刻工藝的微納加工技術(shù)主要包含以下過程：掩模（mask）制備、圖形形成及轉(zhuǎn)移（涂膠,、曝光,、顯影）、薄膜沉積,、刻蝕,、外延生長、氧化和摻雜等,。在基片表面涂覆一層某種光敏介質(zhì)的薄膜（抗蝕膠）,，曝光系統(tǒng)把掩模板的圖形投射在（抗蝕膠）薄膜上，光（光子）的曝光過程是通過光化學(xué)作用使抗蝕膠發(fā)生光化學(xué)作用,，形成微細(xì)圖形的潛像,，再通過顯影過程使剩余的抗蝕膠層轉(zhuǎn)變成具有微細(xì)圖形的窗口，后續(xù)基于抗蝕膠圖案進(jìn)行鍍膜,、刻蝕等可進(jìn)一步制作所需微納結(jié)構(gòu)或器件,。
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。 衢州半導(dǎo)體微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是一家服務(wù)型類企業(yè),，積極探索行業(yè)發(fā)展，努力實現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新,。是一家****企業(yè),，隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求，與多家企業(yè)合作研究,，在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進(jìn),，追求新型，在強(qiáng)化內(nèi)部管理,，完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時,，良好的質(zhì)量、合理的價格,、完善的服務(wù),，在業(yè)界受到寬泛好評。公司業(yè)務(wù)涵蓋微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),，價格合理,，品質(zhì)有保證,，深受廣大客戶的歡迎,。廣東省半導(dǎo)體所以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務(wù)的理念，打造高指標(biāo)的服務(wù),，引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展,。