真空鍍膜：隨著沉積方法和技術(shù)的提升，物理的氣相沉積技術(shù)不僅可沉積金屬膜,、合金膜,、還可以沉積化合物、陶瓷,、半導體,、聚合物膜等。物理的氣相沉積技術(shù)早在20世紀初已有些應(yīng)用,，但30年迅速發(fā)展成為一門極具廣闊應(yīng)用前景的新技術(shù),，并向著環(huán)保型、清潔型趨勢發(fā)展,。在鐘表行業(yè),，尤其是較好手表金屬外觀件的表面處理方面達到越來越為普遍的應(yīng)用,。物理的氣相沉積技術(shù)基本原理可分三個工藝步驟：鍍料的氣化：即使鍍料蒸發(fā)，升華或被濺射,，也就是通過鍍料的氣化源,。鍍料原子、分子或離子的遷移：由氣化源供出原子,、分子或離子經(jīng)過碰撞后，產(chǎn)生多種反應(yīng),。鍍料原子,、分子或離子在基體上沉積。真空鍍膜機,、真空鍍膜設(shè)備多弧離子鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量的高低是針對某種加工對象和滿足其要求的,。西安來料真空鍍膜

電子束蒸發(fā)是目前真空鍍膜技術(shù)中一種成熟且主要的鍍膜方法，它解決了電阻加熱方式中鎢舟材料與蒸鍍源材料直接接觸容易互混的問題,。同時在同一蒸發(fā)沉積裝置中可以安置多個坩堝,，實現(xiàn)同時或分別蒸發(fā)，沉積多種不同的物質(zhì),。通過電子束蒸發(fā),，任何材料都可以被蒸發(fā)，不同材料需要采用不同類型的坩堝以獲得所要達到的蒸發(fā)速率,。在高真空下,，電子燈絲加熱后發(fā)射熱電子，被加速陽極加速,，獲得很大的動能轟擊到的蒸發(fā)材料上,，把動能轉(zhuǎn)化成熱使蒸發(fā)材料加熱氣化，而實現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜,。電子束蒸發(fā)源由發(fā)射電子的熱陰極,、電子加速極和作為陽極的鍍膜材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可高度集中,，使鍍膜材料局部達到高溫而蒸發(fā),。通過調(diào)節(jié)電子束的功率，可以方便的控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率,，特別是有利于高熔點以及高純金屬和化合物材料,。西安來料真空鍍膜真空鍍膜的鍍層質(zhì)量好。

磁控濺射還可用于不同金屬合金的共濺射,，同時使用多個靶電源和不同靶材,，例如TiW合金，通過單獨調(diào)整Ti,、W的濺射速率,，同時開始濺射2種材料,，則在襯底上可以形成Ti/W合計，對不同材料的速率進行調(diào)節(jié),，即能滿足不同組分的要求.磁控濺射由于其內(nèi)部電場的存在,，還可在襯底端引入一個負偏壓，使濺射速率和材料粒子的方向性增加,。所以磁控濺射常用來沉積TSV結(jié)構(gòu)的阻擋層和種子層,，通過對相關(guān)參數(shù)的調(diào)整和引入負偏壓，可以實現(xiàn)高深寬比的薄膜濺射,，且深孔內(nèi)壁薄膜連續(xù)和良好的均勻性

真空鍍膜：離子鍍膜法：離子鍍膜技術(shù)是在真空條件下,，應(yīng)用氣體放電實現(xiàn)鍍膜的，即在真空室中使氣體或蒸發(fā)物質(zhì)電離,，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)離子的轟擊下,、同時將蒸發(fā)物或其反應(yīng)產(chǎn)物蒸鍍在基片上。根據(jù)不同膜材的氣化方式和離化方式可分為不同類型的離子鍍膜方式,。膜材的氣化方式有電阻加熱,、電子束加熱、等離子電子束加熱,、高頻感應(yīng)加熱,、陰極弧光放電加熱等。氣體分子或原子的離化和啟動方式有：輝光放電型,、電子束型,、熱電子型、等離子電子束型,、多弧型及高真空電弧放電型,，以及各種形式的離子源等。不同的蒸發(fā)源與不同的電離或激發(fā)方式可以有多種不同的組合,。目前比較常用的組合方式有：物理的氣相沉積技術(shù)是真空鍍膜技術(shù)的一種,。

電子束蒸發(fā)可以蒸發(fā)高熔點材料，比一般電阻加熱蒸發(fā)熱效率高,、 束流密度大,、蒸發(fā)速度快，制成的薄膜純度高,、質(zhì)量好,，通過晶振控制，厚度可以較準確地控制,，可以廣泛應(yīng)用于制備高純薄膜和各種光學材料薄膜,。電子束蒸發(fā)的金屬粒子只能考自身能量附著在襯底表面，臺階覆蓋性比較差，如果需要追求臺階覆蓋性和薄膜粘附力,，建議使用磁控濺射,。在蒸發(fā)溫度以上進行蒸發(fā)試，蒸發(fā)源溫度的微小變化即可引起蒸發(fā)速率發(fā)生很大變化,。因此,，在鍍膜過程中，想要控制蒸發(fā)速率,，必須精確控制蒸發(fā)源的溫度,，加熱時應(yīng)盡量避免產(chǎn)生過大的溫度梯度。蒸發(fā)速率正比于材料的飽和蒸氣壓,，溫度變化10%左右,，飽和蒸氣壓就要變化一個數(shù)量級左右。真空濺鍍可根據(jù)基材和靶材的特性直接濺射不用涂底漆,。廈門真空鍍膜加工

真空鍍膜機的優(yōu)點:對印刷、復合等后加工具有良好的適應(yīng)性,。西安來料真空鍍膜

LPCVD工藝在襯底表面淀積一層均勻的介質(zhì)薄膜,，在微納加工當中用于結(jié)構(gòu)層材料、絕緣層,、掩模材料,，LPCVD工藝淀積的材料有多晶硅、氮化硅,、磷硅玻璃,。不同的材料淀積采用不同的氣體。LPCVD反應(yīng)的能量源是熱能,，通常其溫度在500℃-1000℃之間,，壓力在0.1Torr-2Torr以內(nèi)，影響其沉積反應(yīng)的主要參數(shù)是溫度,、壓力和氣體流量,，它的主要特征是因為在低壓環(huán)境下，反應(yīng)氣體的平均自由程及擴散系數(shù)變大,，膜厚均勻性好,、臺階覆蓋性好。目前采用LPCVD工藝制作的主要材料有：多晶硅,、單晶硅,、非晶硅、氮化硅等,。西安來料真空鍍膜

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