光刻是微納加工技術中關鍵的工藝步驟,，光刻的工藝水平決定產品的制程水平和性能水平,。光刻的原理是在基底表面覆蓋一層具有高度光敏感性光刻膠，再用光線（一般是紫外光,、深紫外光,、極紫外光）透過光刻板照射在基底表面，被光線照射到的光刻膠會發(fā)生反應,。此后用顯影液洗去被照射/未被照射的光刻膠,， 就實現了圖形從光刻板到基底的轉移。光刻膠分為正性光刻和負性光刻兩種基本工藝,，區(qū)別在于兩者使用的光刻膠的類型不同,。負性光刻使用的光刻膠在曝光后會因為交聯而變得不可溶解，并會固化,，不會被溶劑洗掉,，從而該部分硅片不會在后續(xù)流程中被腐蝕掉，負性光刻光刻膠上的圖形與掩模版上圖形相反。在我國,，微納制造技術同樣是重點發(fā)展方向之一,。惠州微納加工平臺

     微納加工技術是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高級制造業(yè)水平的標志之一,，具有多學科交叉性和制造要素極端性的特點,，在推動科技進步,、促進產業(yè)發(fā)展、拉動科技進步,、保障**安全等方面都發(fā)揮著關鍵作用,。微納加工技術的基本手段包括微納加工方法與材料科學方法兩種。比較顯然,，微納加工技術與微電子工藝技術有密切關系,。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類?！白陨隙隆笔菑暮暧^對象出發(fā),，以光刻工藝為基礎，對材料或原料進行加工,，較小結果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,。“自下而上”技術則是從微觀世界出發(fā),，通過控制原子,、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構建在一起，形成微納結構與器件,。滁州超快微納加工新一代微納制造系統應滿足的要求：能生產多種多樣高度復雜的微納產品,！

         微納加工技術也可分為機械加工、化學腐蝕,、能量束加工,、復合加工、隧道掃描顯微技術加工等方法,。機械加工方法包括單晶金剛石刀具的超精密切割,、金剛石砂輪和CBN砂輪的超精密磨削和鏡面磨削、磨削,、砂帶拋光等固定磨料工具的加工,、磨削、拋光等自由磨料的加工,。能束加工可以去除加工對象,、添加和表面改性。例如，激光切割,、鉆孔和表面硬化改性,。光刻、焊接,、微米和納米鉆孔,、切割、離子和等離子體蝕刻等,。能量束的加工方法還包括電火花加工,、電化學加工、電解射流加工,、分子束延伸等,。微納加工是的技術，可以進行原子級操作和原子去除,、添加和搬遷,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領域,，致力于打造的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產品中試提供技術支持,。

        微納加工技術的發(fā)展，將促進納米光電子器件向更深更廣的方向發(fā)展,。微納加工的半導體納米結構在光電子領域帶來許多新的量子物理效應,，如量子點的庫侖阻塞效應和光子輔助隧穿效應，光子晶體的光子帶隙效應等,。對這些新的納米結構帶來的新現象的研究將為研制新原理基礎上的新器件打下基礎,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領域，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產品中試提供技術支持,。微納加工包括光刻、磁控濺射,、電子束蒸鍍,、濕法腐蝕、干法腐蝕,、表面形貌測量等,。

    微納加工技術指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構成的部件或系統的優(yōu)化設計,、加工,、組裝、系統集成與應用技術,，涉及領域廣,、多學科交叉融合，其主要的發(fā)展方向是微納器件與系統（MEMS和NEMS）,。微納器件與系統是在集成電路制作上發(fā)展的系列技術,，研制微型傳感器、微型執(zhí)行器等器件和系統,，具有微型化,、批量化、成本低的鮮明特點,，對現活,、生產產生了巨大的促進作用,，并催生了一批新興產業(yè)。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產品中試提供技術支持。 微納加工技術指尺度為亞毫米,、微米和納米量級元件系統集成與應用技術,。惠州微納加工平臺

未來幾年微納制造系統和平臺的發(fā)展前景包括的方面：智能的,、可升級的和適應性強的微納制造系統,！惠州微納加工平臺

電子元器件制造業(yè)是電子信息產業(yè)的重要組成部分，是通信,、計算機及網絡,、數字音視頻等系統和終端產品發(fā)展的基礎，其技術水平和生產能力直接影響整個行業(yè)的發(fā)展,，對于電子信息產業(yè)的技術創(chuàng)新和做大做強有著重要的支撐作用,。對于下一步發(fā)展計劃，不少行業(yè)家和企業(yè)表示,，后續(xù)將繼續(xù)完善電子信息全產業(yè)鏈的交易服務平臺,，深耕拓展面向半導體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領域，致力于打造***的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產品中試提供支持。線下授權分銷及上下游相關行業(yè),，完善產業(yè)布局,，通過發(fā)揮華強半導體集團的大平臺優(yōu)勢，整合優(yōu)化面向半導體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領域,，致力于打造***的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產品中試提供支持。線下授權分銷業(yè)務內外部資源,。眼下,，市場缺口較大的，還是LCD領域,，由于LCD價格逐漸提高,，同時也開始向新的服務型方向發(fā)展，相應的電子元器件產能并沒有及時跟進,。因此,，對于理財者來說,，從這一方向入手，有望把握下**業(yè)增長的紅利,。而LED芯片領域,，隨著產業(yè)從顯示端向照明端演進，相應的電子元器件廠商也需要優(yōu)化服務型,，才能為自身業(yè)務經營帶來確定性,。因此，從需求層面來看,，電子元器件市場的發(fā)展前景極為可觀,。惠州微納加工平臺

廣東省科學院半導體研究所是一家有著雄厚實力背景,、信譽可靠,、勵精圖治、展望未來,、有夢想有目標,，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明,，攜手共畫藍圖,，在廣東省等地區(qū)的電子元器件行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑,，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎,，也希望未來公司能成為*****，努力為行業(yè)領域的發(fā)展奉獻出自己的一份力量,，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強不息,，斗志昂揚的的企業(yè)精神將**廣東省科學院半導體研究所供應和您一起攜手步入輝煌，共創(chuàng)佳績,，一直以來,，公司貫徹執(zhí)行科學管理、創(chuàng)新發(fā)展,、誠實守信的方針,，員工精誠努力，協同奮取,，以品質,、服務來贏得市場，我們一直在路上,！