在Si片上形成具有垂直側(cè)壁的高深寬比溝槽結(jié)構(gòu)是制備先進MEMS器件的關鍵工藝,，其各向異性刻蝕要求非常嚴格,。高深寬比的干法刻蝕技術以其刻蝕速率快、各向異性較強,、污染少等優(yōu)點脫穎而出,，成為MEMS器件加工的關鍵技術之一。BOSCH工藝,又名TMDE(TimeMultiplexedDeepEtching)工藝,，是一個刻蝕一鈍化一刻蝕的循環(huán)過程,，以達到對硅材料進行高深寬比、各向異性刻蝕的目的,。BOSCH工藝的原理是在反應腔室中輪流通入鈍化氣體C4F8與刻蝕氣體SF6與樣品進行反應,，工藝的整個過程是淀積鈍化層步驟與刻蝕步驟的反復交替。其中保護氣體C4F8在高密度等離子體的作用下分解生成碳氟聚合物保護層,，沉積在已經(jīng)做好圖形的樣品表面,。刻蝕流片的速度與刻蝕速率密切相關噴淋流量的大小決定基板表面藥液置換速度的快慢,。紹興化學刻蝕

等離子體刻蝕機要求相同的元素：化學刻蝕劑和能量源,。物理上，等離子體刻蝕劑由反應室,、真空系統(tǒng),、氣體供應、終點檢測和電源組成,。晶圓被送入反應室,，并由真空系統(tǒng)把內(nèi)部壓力降低。在真空建立起來后,，將反應室內(nèi)充入反應氣體,。對于二氧化硅刻蝕,，氣體一般使用CF4和氧的混合劑,。電源通過在反應室中的電極創(chuàng)造了一個射頻電場。能量場將混合氣體激發(fā)或等離子體狀態(tài),。在激發(fā)狀態(tài),，氟刻蝕二氧化硅，并將其轉(zhuǎn)化為揮發(fā)性成分由真空系統(tǒng)排出,。ICP刻蝕設備能夠進行(氮化鎵）,、(氮化硅）、（氧化硅）,、(鋁鎵氮）等半導體材料進行刻蝕,。鄭州刻蝕液被刻蝕材料主要包括介質(zhì)，安徽氮化硅材料刻蝕外協(xié)、硅和金屬等,。

干法刻蝕也可以根據(jù)被刻蝕的材料類型來分類,。按材料來分，刻蝕主要分成三種：金屬刻蝕,、介質(zhì)刻蝕,、和硅刻蝕。介質(zhì)刻蝕是用于介質(zhì)材料的刻蝕,，如二氧化硅,。接觸孔和通孔結(jié)構(gòu)的制作需要刻蝕介質(zhì)，從而在ILD中刻蝕出窗口,，而具有高深寬比（窗口的深與寬的比值）的窗口刻蝕具有一定的挑戰(zhàn)性,。硅刻蝕（包括多晶硅）應用于需要去除硅的場合，如刻蝕多晶硅晶體管柵和硅槽電容,。金屬刻蝕主要是在金屬層上去掉鋁合金復合層,，制作出互連線。廣東省科學院半導體研究所氧化硅材料刻蝕加工平臺有圖形的光刻膠層在刻蝕中不受腐蝕源明顯的侵蝕,。

鋁膜濕法刻蝕：對于鋁和鋁合金層有選擇性的刻蝕溶液是居于磷酸的,。遺憾的是，鋁和磷酸反應的副產(chǎn)物是微小的氫氣泡,。這些氣泡附著在晶圓表面,，并阻礙刻蝕反應。結(jié)果既可能產(chǎn)生導致相鄰引線短路的鋁橋連,，又可能在表面形成不希望出現(xiàn)的雪球的鋁點,。特殊配方鋁刻蝕溶液的使用緩解了這個問題。典型的活性溶液成分配比是：16：1：1：2,。除了特殊配方外,，典型的鋁刻蝕工藝還會包含以攪拌或上下移動晶圓舟的攪動。有時聲波或兆頻聲波也用來去除氣泡,。按材料來分,，刻蝕主要分成三種：金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕,、和硅刻蝕,。按材料來分，刻蝕主要分成3種：金屬刻蝕,、介質(zhì)刻蝕,、和硅刻蝕。

濕法刻蝕是化學清洗方法中的一種,，是化學清洗在半導體制造行業(yè)中的應用,，是用化學方法有選擇地從硅片表面去除不需要材料的過程。其基本目的是在涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形，有圖形的光刻膠層在刻蝕中不受到腐蝕源明顯的侵蝕,，這層掩蔽膜用來在刻蝕中保護硅片上的特殊區(qū)域而選擇性地刻蝕掉未被光刻膠保護的區(qū)域,。從半導體制造業(yè)一開始，濕法刻蝕就與硅片制造聯(lián)系在一起,。雖然濕法刻蝕已經(jīng)逐步開始被法刻蝕所取代,，但它在漂去氧化硅、去除殘留物,、表層剝離以及大尺寸圖形刻蝕應用等方面仍然起著重要的作用,。與干法刻蝕相比，濕法刻蝕的好處在于對下層材料具有高的選擇比,，對器件不會帶來等離子體損傷,，并且設備簡單?？涛g流片的速度與刻蝕速率密切相關噴淋流量的大小決定了基板表面藥液置換速度的快慢,。干法刻蝕是芯片制造領域較主要的表面材料去除方法，擁有更好的剖面控制,。廣州海珠ICP刻蝕

刻蝕的工藝所用化學物質(zhì)取決于要刻蝕的薄膜類型,。紹興化學刻蝕

刻蝕技術（etchingtechnique），刻蝕加工廠商,，是在半導體工藝,，按照掩模圖形或設計要求對半導體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性腐蝕或剝離的技術?？涛g技術不只是半導體器件和集成電路的基本制造工藝,，而且還應用于薄膜電路、印刷電路和其他微細圖形的加工,?？涛g還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。普通的刻蝕過程大致如下：先在表面涂敷一層光致抗蝕劑,，然后透過掩模對抗蝕劑層進行選擇性曝光,，由于抗蝕劑層的已曝光部分和未曝光部分在顯影液中溶解速度不同，經(jīng)過顯影后在襯底表面留下了抗蝕劑圖形,，以此為掩模就可對襯底表面進行選擇性腐蝕,。如果襯底表面存在介質(zhì)或金屬層,，Si材料刻蝕加工廠商,，則選擇腐蝕以后，材料刻蝕加工廠商,，圖形就轉(zhuǎn)移到介質(zhì)或金屬層上,。一般而言，高蝕速率（在一定時間內(nèi)去除的材料量）都會受到歡迎。紹興化學刻蝕

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