隨著電子束光刻技術和電感耦合等離子體(ICP)刻蝕技術的出現(xiàn),，平面微納加工工藝正在推動以單電子器件與自旋電子器件為代標的新一代納米電子學的發(fā)展.當微納加工技術應用到光電子領域，就形成了新興的納米光電子技術,，主要研究納米結構中光與電子相互作用及其能量互換的技術.納米光電子技術在過去的十多年里,，一方面,，以低維結構材料生長和能帶工程為基礎的納米制造技術有了長足的發(fā)展,，包括分子束外延(MBE)、金屬有機化學氣相淀積(MOCVD)和化學束外延(CBE),，使得在晶片表面外延生長方向(直方向)的外延層精度控制到單個原子層,，從而獲得了具有量子尺寸效應的半導體材料;另一方面，平面納米加工工藝實現(xiàn)了納米尺度的光刻和橫向刻蝕,，使得人工橫向量子限制的量子線與量子點的制作成為可能.同時，光子晶體概念的出現(xiàn),，使得納米平面加工工藝廣的地應用到光介質材料折射率周期性的改變中,。 微納加工技術的特點：微型化！蘇州微納加工技術

    光刻是半導體制造中常用的技術之一，是現(xiàn)代光電子器件制造的基礎,。實際應用中存在兩個主要挑戰(zhàn)：一是與FIB和EBL相比,，分辨率還不夠高,；二是由于直接的激光寫入器逐點生成圖案，因此吞吐量是一個很大的挑戰(zhàn),。對于上述兩個挑戰(zhàn)：分辨率方面,，一是可以通過原子力顯微鏡（AFM）或掃描近場顯微鏡（SNOM）等近場技術來提高，二是可以通過使用短波長光源來提高,，三是可以通過非線性吸收實現(xiàn)超分辨率成像或制造,；制造速度方面，除了工程學方法外,，隨著激光技術的發(fā)展,，主要是提出了包括自組裝微球激光加工、激光干涉光刻,、多焦陣列激光直寫等并行激光加工方法來提高制造速度,。并行激光加工技術可以將二維加工技術擴展到三維加工，為未來微納加工技術的發(fā)展提供新的方向,；同時可以地廣泛應用于傳感、太陽能電池和超材料領域的表面處理和功能器件制造,，對生物醫(yī)學器件制造,、光通信、傳感,、以及光譜學等領域得發(fā)展研究具有重要意義,。 南京電子微納加工微納加工按技術分類，主要分為平面工藝,、探針工藝,、模型工藝！

        微納加工是指制造特征尺寸以納米為單位的結構,，尤其是側面小于20納米的結構,。目前的技術大多只允許在二維意義上進行微納加工。納加工通常用于制造計算機芯片,，傳統(tǒng)的光刻技術是計算機行業(yè)的支柱,，可用于創(chuàng)建尺寸小于22m的特征，雖然這是非常昂貴的,，而目且目前還不被認為是經濟有效的,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領域，致力于打造高級的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術驗證以及產品中試提供技術支持,。

高精度的微細結構可以通過電子束直寫或激光直寫制作,，這類光刻技術，像“寫字”一樣,，通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進行曝光,，具有很高的曝光精度，但這兩種方法制作效率極低,，尤其在大面積制作方面捉襟見肘,，目前直寫光刻技術適用于小面積的微納結構制作。近年來,，三維浮雕微納結構的需求越來越大,，如閃耀光柵、菲涅爾透鏡,、多臺階微光學元件等,。據(jù)悉，蘋果公司新上市的手機產品中人臉識別模塊就采用了多臺階微光學元件,，以及當下如火如荼的無人駕駛技術中激光雷達光學系統(tǒng)也用到了復雜的微光學元件,。這類精密的微納結構光學元件需采用灰度光刻技術進行制作。直寫技術,，通過在光束移動過程中進行相應的曝光能量調節(jié),，可以實現(xiàn)良好的灰度光刻能力。微納加工中，材料濕法腐蝕是一個常用的工藝方法,。

微納制造可以應用在什么哪些領域,？微納制造作為國家新興產業(yè)發(fā)展的重大關鍵技術之一，對國家裝備實力和國民經濟技術的發(fā)展起到重要作用,。微納制造技術的進步,，推動著三大前沿科技的發(fā)展：生物技術、信息技術,、納米技術,。由于微納制造技術產品有體積小、集成度高,、重量輕,、智能化程度高等諸多優(yōu)點，在信息科學,、生物醫(yī)療,、航空航天等領域廣的應用。微納加工技術是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高質量的制造業(yè)水平的標志之一,，具有多學科交叉性和制造要素極端性的特點，在推動科技進步,、促進產業(yè)發(fā)展,、拉動科技進步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關鍵作用,。微納加工技術的基本手段包括微納加工方法與材料科學方法兩種,。很顯然，微納加工技術與微電子工藝技術有密切關系,。目前微納制造領域較常用的一種微細加工技術是LIGA,！信陽石墨烯微納加工

微納加工技術對現(xiàn)代的生活、生產產生了巨大的促進作用,，并催生了一批新興產業(yè)。蘇州微納加工技術

納秒和飛秒之間,皮秒激光微納加工應用獨具優(yōu)勢,！與傳統(tǒng)的微納加工技術相比,，激光微納加工具有如下獨特的優(yōu)點：非接觸加工不損壞工具、能量可調,、加工方式靈活,、可實現(xiàn)柔性加工等。其中全固態(tài)皮秒激光具有極窄的脈沖寬度(皮秒),、極高的峰值功率(兆瓦)以及優(yōu)異的光束質量,，被廣泛應用于各種金屬、非金屬材料的精密加工。研究表明,，脈沖寬度高于10ps的皮秒激光加工過程中有明顯的熱效應存在,，而且隨著激光與材料作用時間的增加，工件表面會產生微裂紋以及再鑄層,；脈沖寬度低于5ps的皮秒激光與材料作用時會產生非線性效應,，這對金屬材料的加工非常不利。因此,，適合微納精密加工用的皮秒激光的脈沖寬度在5~10ps之間,。為了提高加工效率，重復頻率一般設定在十萬赫茲量級,，而平均功率則根據(jù)所加工材料的燒蝕閾值而定,。蘇州微納加工技術

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