真空磁控濺射技術(shù)：真空磁控濺射技術(shù)是指一種利用陰極表面配合的磁場(chǎng)形成電子陷阱,，使在E×B的作用下電子緊貼陰極表面飄移,。設(shè)置一個(gè)與靶面電場(chǎng)正交的磁場(chǎng),，濺射時(shí)產(chǎn)生的快電子在正交的電磁場(chǎng)中作近似擺線運(yùn)動(dòng)，增加了電子行程,，提高了氣體的離化率,，同時(shí)高能量粒子與氣體碰撞后失去能量，基體溫度較低,，在不耐溫材料上可以完成鍍膜,。這種技術(shù)是玻璃膜技術(shù)中的較較好技術(shù)，是由航天工業(yè),、兵器工業(yè),、和核工業(yè)三個(gè)方面相結(jié)合的較好技術(shù)的民用化，民用主要是通過(guò)這種技術(shù)達(dá)到節(jié)能,、環(huán)保等作用,。雙室磁控濺射沉積系統(tǒng)是帶有進(jìn)樣室的高真空多功能磁控濺射鍍膜設(shè)備。江西平衡磁控濺射儀器

真空磁控濺射技術(shù)的特點(diǎn)：磁控濺射是由二極濺射基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái),，在靶材表面建立與電場(chǎng)正交磁場(chǎng),，解決了二極濺射沉積速率低，等離子體離化率低等問(wèn)題,，成為鍍膜工業(yè)主要方法之一,。磁控濺射與其它鍍膜技術(shù)相比具有如下特點(diǎn)：可制備成靶的材料廣，幾乎所有金屬,，合金和陶瓷材料都可以制成靶材；在適當(dāng)條件下多元靶材共濺射方式,，可沉積配比精確恒定的合金,；在濺射的放電氣氛中加入氧、氮或其它活性氣體，可沉積形成靶材物質(zhì)與氣體分子的化合物薄膜,；通過(guò)精確地控制濺射鍍膜過(guò)程,，容易獲得均勻的高精度的膜厚；通過(guò)離子濺射靶材料物質(zhì)由固態(tài)直接轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子態(tài),，濺射靶的安裝不受限制,，適合于大容積鍍膜室多靶布置設(shè)計(jì)；濺射鍍膜速度快,，膜層致密,，附著性好等特點(diǎn)，很適合于大批量,，高效率工業(yè)生產(chǎn),。江西平衡磁控濺射儀器磁控濺射可以分為直流磁控濺射法和射頻磁控濺射法。

高速率磁控濺射的一個(gè)固有的性質(zhì)是產(chǎn)生大量的濺射粒子而獲得高的薄膜沉積速率,。高的沉積速率意味著高的粒子流飛向基片,，導(dǎo)致沉積過(guò)程中大量粒子的能量被轉(zhuǎn)移到生長(zhǎng)薄膜上，引起沉積溫度明顯增加,。由于濺射離子的能量大約70%需要從陰極冷卻水中帶走,，薄膜的較大濺射速率將受到濺射靶冷卻的限制。冷卻不但靠足夠的冷卻水循環(huán),，還要求良好的靶材導(dǎo)熱率及較薄膜的靶厚度,。同時(shí)高速率磁控濺射中典型的靶材利用率只有20%～30%，因而提高靶材利用率也是有待于解決的一個(gè)問(wèn)題,。

平衡磁控濺射即傳統(tǒng)的磁控濺射,，是在陰極靶材背后放置芯部與外環(huán)磁場(chǎng)強(qiáng)度相等或相近的永磁體或電磁線圈，在靶材表面形成與電場(chǎng)方向垂直的磁場(chǎng),。沉積室充入一定量的工作氣體,，通常為Ar，在高壓作用下Ar原了電離成為Ar+離子和電子,，產(chǎn)生輝光放電,，Ar+離子經(jīng)電場(chǎng)加速轟擊靶材，濺射出靶材原子,、離子和二次電子等,。電子在相互垂直的電磁場(chǎng)的作用下，以擺線方式運(yùn)動(dòng),，被束縛在靶材表面,，延長(zhǎng)了其在等離子體中的運(yùn)動(dòng)軌跡，增加其參與氣體分子碰撞和電離的過(guò)程,，電離出更多的離子,，提高了氣體的離化率，在較低的氣體壓力下也可維持放電，因而磁控濺射既降低濺射過(guò)程中的氣體壓力,，也同時(shí)提高了濺射的效率和沉積速率,。真空磁控濺射鍍膜這種工藝可以沉積任何氧化物、碳化物以及氮化物材料的薄膜,。

磁控濺射應(yīng)用：（1）磁控濺射技術(shù)在光學(xué)薄膜(如增透膜),、低輻射玻璃和透明導(dǎo)電玻璃等方面也得到應(yīng)用。在透明導(dǎo)電玻璃在玻璃基片或柔性襯底上,濺射制備SiO2薄膜和摻雜ZnO或InSn氧化物(ITO)薄膜,，使可見(jiàn)光范圍內(nèi)平均光透過(guò)率在90%以上,。（2）在現(xiàn)代機(jī)械加工工業(yè)中,利用磁控濺射技術(shù)制作表面功能膜、超硬膜,自潤(rùn)滑薄膜,能有效的提高表面硬度,、復(fù)合韌性,、耐磨損性和抗高溫化學(xué)穩(wěn)定性能,從而大幅度地提高涂層產(chǎn)品的使用壽命。磁控濺射除上述已被大量應(yīng)用的領(lǐng)域,還在高溫超導(dǎo)薄膜,、鐵電體薄膜,、巨磁阻薄膜、薄膜發(fā)光材料,、太陽(yáng)能電池,、記憶合金薄膜研究方面發(fā)揮重要作用。用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,，點(diǎn)火和濺射很方便,。海南磁控濺射步驟

磁控濺射靶材的分類：根據(jù)材料的成分不同，靶材可分為金屬靶材,、合金靶材,、無(wú)機(jī)非金屬靶材等。江西平衡磁控濺射儀器

物相沉積的基本特點(diǎn)：物相沉積技術(shù)工藝過(guò)程簡(jiǎn)單,，對(duì)環(huán)境改善,，無(wú)污染，耗材少,，成膜均勻致密,，與基體的結(jié)合力強(qiáng)。該技術(shù)普遍應(yīng)用于航空航天,、電子,、光學(xué)、機(jī)械,、建筑,、輕工、冶金,、材料等領(lǐng)域,，可制備具有耐磨,、耐腐蝕、裝飾,、導(dǎo)電、絕緣,、光導(dǎo),、壓電、磁性,、潤(rùn)滑,、超導(dǎo)等特性的膜層。隨著高科技及新興工業(yè)發(fā)展,，物相沉積技術(shù)出現(xiàn)了不少新的先進(jìn)的亮點(diǎn),，如多弧離子鍍與磁控濺射兼容技術(shù)，大型矩形長(zhǎng)弧靶和濺射靶,，非平衡磁控濺射靶,，孿生靶技術(shù)，帶狀泡沫多弧沉積卷繞鍍層技術(shù),，條狀纖維織物卷繞鍍層技術(shù)等,，使用的鍍層成套設(shè)備，向計(jì)算機(jī)全自動(dòng),，大型化工業(yè)規(guī)模方向發(fā)展,。江西平衡磁控濺射儀器

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