淺談表面功能微納結構及其加工方法：目前可以實現(xiàn)表面微納結構的加工方法主要有以下幾種,。（1）光刻技術,，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結構，該方法優(yōu)勢在于精度高,，得到的微納結構形狀可以得到很好的控制,；（2）飛秒激光加工技術，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點,，可以加工出遠小于光斑直徑的尺寸,，研究人員通過試驗發(fā)現(xiàn)，采用飛秒激光加工出10nm寬的納米線,，在微納加工領域具有獨特優(yōu)勢,。另外飛秒激光雙分子聚合技術可以實現(xiàn)納米尺寸結構的加工,；（3）自組裝工藝，光刻與自組裝和刻蝕工藝結合,，通過自組裝工藝,，可以得到6nm左右的納米孔。（4）等離子刻蝕技術,，等離子刻蝕技術是應用廣的微納米加工手段,，加工精度高，是集成電路制造中關鍵的工藝之一,。（5）沉積法,，主要包括物相沉積和化學氣相沉積，該方法主要是利用氣相發(fā)生的物理化學過程,，在工件表面形成功能型或裝飾性的金屬,，可以用來實現(xiàn)微納米結構涂層的制造。（6）微納增材制造技術,，微納增材制造技術主要指微納尺度電噴增材制造和微激光增材制造技術,，由于微納增材技術可以不受形狀限制，可多材料協(xié)同制造,，具有較大的發(fā)展前景,。除以上幾種加工技術外。 微納制造技術是指尺度為毫米,、微米和納米量級的零件,！江門量子微納加工

      刻蝕工藝：是在半導體工藝，按照掩模圖形或設計要求對半導體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性腐蝕或剝離的技術,?？涛g技術不僅是半導體器件和集成電路的基本制造工藝，而且還應用于薄膜電路,、印刷電路和其他微細圖形的加工,。刻蝕還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領域,，致力于打造高質量檔次的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術驗證以及產品中試提供技術支持,。商洛微納加工器件目前微納制造領域較常用的一種微細加工技術是LIGA,！

    激光微納加工相比納秒激光器、連續(xù)激光器,，飛秒激光加工是“冷加工”,，其加工過程中幾近不會有熱：傳導。飛秒激光加工優(yōu)勢在于：峰值能量高,、加工精度高,、對材料幾乎無熱損傷等，其具體加工方式包括：蝕刻,、改性,、切割、打孔,、周雕刻以及集成電路光刻等,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領域,，致力于打造高級的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產品中試提供技術支持,。

納秒和飛秒之間,皮秒激光微納加工應用獨具優(yōu)勢,！與傳統(tǒng)的微納加工技術相比，激光微納加工具有如下獨特的優(yōu)點：非接觸加工不損壞工具,、能量可調,、加工方式靈活、可實現(xiàn)柔性加工等,。其中全固態(tài)皮秒激光具有極窄的脈沖寬度(皮秒),、極高的峰值功率(兆瓦)以及優(yōu)異的光束質量，被廣泛應用于各種金屬,、非金屬材料的精密加工,。研究表明，脈沖寬度高于10ps的皮秒激光加工過程中有明顯的熱效應存在,，而且隨著激光與材料作用時間的增加,，工件表面會產生微裂紋以及再鑄層；脈沖寬度低于5ps的皮秒激光與材料作用時會產生非線性效應,，這對金屬材料的加工非常不利,。因此，適合微納精密加工用的皮秒激光的脈沖寬度在5~10ps之間,。為了提高加工效率,，重復頻率一般設定在十萬赫茲量級，而平均功率則根據(jù)所加工材料的燒蝕閾值而定,。提高微納加工技術的加工能力和效率是未來微納結構及器件研究的重點方向,！

      在過去的二十年中，微機電系統(tǒng),、微系統(tǒng),、微機械及其子領域，微流體學片上實驗室,，光學MEMS,、RFMEMS、PowerMEMS,、BioMEMS及其擴展到納米級（例如,，用于納米機電系統(tǒng)的NEMS)已經重新使用，調整或擴展了微制造方法,。平板顯示器和太陽能電池也正在使用類似的技術,。各種設備的小型化在科學與工程的許多領域提出了挑戰(zhàn)：物理、化學,、材料科學,、計算機科學,、超精密工程,、制造工藝和設備設計,。它也引起了各種各樣的跨學科研究。微納加工的主要概念和原理是微光刻,、摻雜,、薄膜、蝕刻,、粘接和拋光,。微納制造技術屬國際前沿技術，作為未來制造業(yè)賴以生存的基礎和可持續(xù)發(fā)展的關鍵,?；茨衔⒓{加工

微納加工平臺主要提供微納加工技術工藝，包括光刻,、磁控濺射,、電子束蒸鍍、濕法腐蝕,、表面形貌測量等,。江門量子微納加工

    微納測試與表征技術是微納加工技術的基礎與前提，它包括在微納器件的設計,、制造和系統(tǒng)集成過程中,，對各種參量進行微米/納米檢測的技術。微米測量主要服務于精密制造和微加工技術,，目標是獲得微米級測量精度,，或表征微結構的幾何、機械及力學特性,；納米測量則主要服務于材料工程和納米科學,，特別是納米材料，目標是獲得材料的結構,、地貌和成分的信息,。在半導體領域人們所關心的與尺寸測量有關的參數(shù)主要包括：特征尺寸或線寬、重合度,、薄膜的厚度和表面的糙度等等,。未來，微納測試與表征技術正朝著從二維到三維,、從表面到內部,、從靜態(tài)到動態(tài)、從單參量到多參量耦合,、從封裝前到封裝后的方向發(fā)展,。探索新的測量原理、測試方法和表征技術,，發(fā)展微納加工及制造實時在線測試方法和微納器件質量快速檢測系統(tǒng)已成為了微納測試與表征的主要發(fā)展趨勢,。不同的表面微納結構可以呈現(xiàn)出相應的功能,，隨著科技的發(fā)展，不同功能的微納結構及器件將會得到更多的應用,。目前表面功能微納結構及器件,，諸如超材料、超表面等充滿“神奇”力量的結構或器件,，的發(fā)展仍受到微納加工技術的限制,。因此，研究功能微納結構及器件需要從微納結構的加工技術方面進行廣深入的研究,。 江門量子微納加工

廣東省科學院半導體研究所匯集了大量的優(yōu)秀人才,，集企業(yè)奇思，創(chuàng)經濟奇跡,，一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創(chuàng)新天地,，繪畫新藍圖，在廣東省等地區(qū)的電子元器件中始終保持良好的信譽,，信奉著“爭取每一個客戶不容易,，失去每一個用戶很簡單”的理念，市場是企業(yè)的方向,，質量是企業(yè)的生命,，在公司有效方針的領導下，全體上下,，團結一致,，共同進退，**協(xié)力把各方面工作做得更好,，努力開創(chuàng)工作的新局面,，公司的新高度，未來廣東省科學院半導體研究所供應和您一起奔向更美好的未來,，即使現(xiàn)在有一點小小的成績,，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結經驗,，才能繼續(xù)上路,，讓我們一起點燃新的希望，放飛新的夢想,！