微納加工技術(shù)也可分為機(jī)械加工,、化學(xué)腐蝕,、能量束加工,、復(fù)合加工,、隧道掃描顯微技術(shù)加工等方法,。機(jī)械加工方法包括單晶金剛石刀具的超精密切割,、金剛石砂輪和CBN砂輪的超精密磨削和鏡面磨削,、磨削,、砂帶拋光等固定磨料工具的加工,、磨削,、拋光等自由磨料的加工。能束加工可以去除加工對象,、添加和表面改性,。例如,，激光切割、鉆孔和表面硬化改性,。光刻,、焊接、微米和納米鉆孔,、切割,、離子和等離子體蝕刻等。能量束的加工方法還包括電火花加工,、電化學(xué)加工,、電解射流加工、分子束延伸等,。微納加工是的技術(shù),，可以進(jìn)行原子級操作和原子去除、添加和搬遷,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。干法刻蝕能夠滿足亞微米/納米線寬制程技術(shù)的要求,，且在微納加工技術(shù)中被大量使用。江西半導(dǎo)體微納加工

    微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米,、微米和納米量級元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計、加工,、組裝,、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù),。微納加工按技術(shù)分類，主要分為平面工藝,、探針工藝,、模型工藝。本文主要介紹微納加工的平面工藝,，平面工藝主要可分為薄膜工藝,、圖形化工藝（光刻）、刻蝕工藝,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。 孝感鍍膜微納加工微納加工平臺主要提供微納加工技術(shù)工藝,，包括光刻、磁控濺射,、電子束蒸鍍,、濕法腐蝕、表面形貌測量等,。

    微納加工：干法刻蝕VS濕法刻蝕,！刻蝕工藝：用化學(xué)或物理方法有選擇性地從某一材料表面去除不需要那部分的過程，獲得目標(biāo)圖形,。在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝：干法刻蝕和濕法刻蝕,。干法刻蝕的刻蝕劑是等離子體，是利用等離子體和表面薄膜反應(yīng)，形成揮發(fā)性物質(zhì),，或直接轟擊薄膜表面使之被刻蝕的工藝,。特點：能實現(xiàn)各向異性刻蝕，從而保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性,。缺點：造價高,。濕法刻蝕是通過化學(xué)刻蝕液和被刻蝕物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)將被刻蝕物質(zhì)剝離下來的方法。大多數(shù)濕法刻蝕是不容易控制的各向同性刻蝕,。特點：適應(yīng)性強(qiáng),，表面均勻性好、對硅片損傷少,，幾乎適用于所有的金屬,、玻璃、塑料等材料,。缺點：圖形刻蝕保真想過不理想,，刻蝕圖形的小線難以掌控。

    微納加工基于光刻工藝的微納加工技術(shù)主要包含以下過程：掩模（mask）制備,、圖形形成及轉(zhuǎn)移（涂膠,、曝光、顯影）,、薄膜沉積,、刻蝕、外延生長,、氧化和摻雜等,。在基片表面涂覆一層某種光敏介質(zhì)的薄膜（抗蝕膠），曝光系統(tǒng)把掩模板的圖形投射在（抗蝕膠）薄膜上,，光（光子）的曝光過程是通過光化學(xué)作用使抗蝕膠發(fā)生光化學(xué)作用,，形成微細(xì)圖形的潛像，再通過顯影過程使剩余的抗蝕膠層轉(zhuǎn)變成具有微細(xì)圖形的窗口,，后續(xù)基于抗蝕膠圖案進(jìn)行鍍膜,、刻蝕等可進(jìn)一步制作所需微納結(jié)構(gòu)或器件。
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。 提高微納加工技術(shù)的加工能力和效率是未來微納結(jié)構(gòu)及器件研究的重點方向,！

    微納測試與表征技術(shù)是微納加工技術(shù)的基礎(chǔ)與前提,，它包括在微納器件的設(shè)計、制造和系統(tǒng)集成過程中,，對各種參量進(jìn)行微米/納米檢測的技術(shù),。微米測量主要服務(wù)于精密制造和微加工技術(shù)，目標(biāo)是獲得微米級測量精度,，或表征微結(jié)構(gòu)的幾何,、機(jī)械及力學(xué)特性；納米測量則主要服務(wù)于材料工程和納米科學(xué),，特別是納米材料,，目標(biāo)是獲得材料的結(jié)構(gòu)、地貌和成分的信息,。在半導(dǎo)體領(lǐng)域人們所關(guān)心的與尺寸測量有關(guān)的參數(shù)主要包括：特征尺寸或線寬,、重合度、薄膜的厚度和表面的糙度等等,。未來,，微納測試與表征技術(shù)正朝著從二維到三維、從表面到內(nèi)部,、從靜態(tài)到動態(tài),、從單參量到多參量耦合、從封裝前到封裝后的方向發(fā)展,。探索新的測量原理,、測試方法和表征技術(shù)，發(fā)展微納加工及制造實時在線測試方法和微納器件質(zhì)量快速檢測系統(tǒng)已成為了微納測試與表征的主要發(fā)展趨勢,。 微納制造的加工材料多種多樣,。鍍膜微納加工平臺

微納制造技術(shù)研發(fā)和應(yīng)用標(biāo)志著人類可以在微、納米尺度認(rèn)識和改造世界,。江西半導(dǎo)體微納加工

2012年北京工業(yè)大學(xué)Duan等使用課題組自行研制的皮秒激光器對金屬鉬,、鈦和不銹鋼進(jìn)行了精密制孔研究,，并利用旋切制孔方式對厚度為0.3mm的金屬鉬實現(xiàn)了孔徑?小于200μm的微孔加工，利用螺旋制孔方式在厚度為1mm不銹鋼上實現(xiàn)了孔徑為200μm的制孔效果,。實驗指出大口徑微孔加工應(yīng)采用旋切制孔方式,，而加工較小口徑時則更宜選用螺旋制孔方式。皮秒激光精密微孔加工過程中,，對于厚度較小的材料(d<1μm),，由于激光與材料作用的時間較短，以采用高峰值功率,、窄脈寬的激光為宜,，而對于厚度在百微米甚至超過1mm的金屬材料的微孔加工，除了要考慮激光峰值功率以及脈沖寬度外,，選擇合適的制孔方式是必要的,。此外，根據(jù)材料結(jié)構(gòu)的不同還應(yīng)該選擇是否采用偏振輸出等因素,。江西半導(dǎo)體微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所位于長興路363號,，擁有一支專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊。芯辰實驗室,微納加工是廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所的主營品牌,，是專業(yè)的面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造***的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供支持。公司,，擁有自己**的技術(shù)體系,。公司不僅*提供專業(yè)的面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造***的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供支持,。,，同時還建立了完善的售后服務(wù)體系，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。廣東省半導(dǎo)體所始終以質(zhì)量為發(fā)展,，把顧客的滿意作為公司發(fā)展的動力，致力于為顧客帶來***的微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),。