高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)可以通過電子束直寫或激光直寫制作,，這類光刻技術(shù)，像“寫字”一樣,，通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進(jìn)行曝光,，具有很高的曝光精度，但這兩種方法制作效率極低,，尤其在大面積制作方面捉襟見肘，目前直寫光刻技術(shù)適用于小面積的微納結(jié)構(gòu)制作,。近年來,，三維浮雕微納結(jié)構(gòu)的需求越來越大,，如閃耀光柵,、菲涅爾透鏡,、多臺階微光學(xué)元件等,。據(jù)悉,，蘋果公司新上市的手機(jī)產(chǎn)品中人臉識別模塊就采用了多臺階微光學(xué)元件，以及當(dāng)下如火如荼的無人駕駛技術(shù)中激光雷達(dá)光學(xué)系統(tǒng)也用到了復(fù)雜的微光學(xué)元件,。這類精密的微納結(jié)構(gòu)光學(xué)元件需采用灰度光刻技術(shù)進(jìn)行制作,。直寫技術(shù)，通過在光束移動過程中進(jìn)行相應(yīng)的曝光能量調(diào)節(jié),，可以實(shí)現(xiàn)良好的灰度光刻能力,。 微納制造技術(shù)屬國際前沿技術(shù)，作為未來制造業(yè)賴以生存的基礎(chǔ)和可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵,。宜昌微納加工

微納制造可以應(yīng)用在什么哪些領(lǐng)域,？微納制造作為國家新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大關(guān)鍵技術(shù)之一，對國家裝備實(shí)力和國民經(jīng)濟(jì)技術(shù)的發(fā)展起到重要作用,。微納制造技術(shù)的進(jìn)步,，推動著三大前沿科技的發(fā)展：生物技術(shù)、信息技術(shù),、納米技術(shù),。由于微納制造技術(shù)產(chǎn)品有體積小、集成度高,、重量輕,、智能化程度高等諸多優(yōu)點(diǎn)，在信息科學(xué),、生物醫(yī)療,、航空航天等領(lǐng)域廣的應(yīng)用。微納加工技術(shù)是先進(jìn)制造的重要組成部分,，是衡量國家高質(zhì)量的制造業(yè)水平的標(biāo)志之一,，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點(diǎn)，在推動科技進(jìn)步,、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、拉動科技進(jìn)步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種,。很顯然，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系,。攀枝花微納加工器件微納制造技術(shù)研發(fā)和應(yīng)用標(biāo)志著人類可以在微,、納米尺度認(rèn)識和改造世界。

    激光微納加工相比納秒激光器,、連續(xù)激光器,，飛秒激光加工是“冷加工”,，其加工過程中幾近不會有熱：傳導(dǎo)。飛秒激光加工優(yōu)勢在于：峰值能量高,、加工精度高,、對材料幾乎無熱損傷等，其具體加工方式包括：蝕刻,、改性,、切割、打孔,、周雕刻以及集成電路光刻等,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造高級的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù)，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。

    微納加工-薄膜沉積與摻雜工藝。在微納加工過程中,，薄膜的形成方法主要為物理沉積,、化學(xué)沉積和混合方法沉積。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法,，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜、合金薄膜,、化合物等。熱蒸發(fā)是在高真空下,，利用電阻加熱至材料的熔化溫度,，使其蒸發(fā)至基底表面形成薄膜,，而電子束蒸發(fā)為使用電子束加熱；磁控濺射在高真空,，在電場的作用下,，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材，使靶材發(fā)生濺射并沉積于基底,；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高,、致密性好，熱蒸發(fā)主要用于沉積低熔點(diǎn)金屬薄膜或者厚膜,；化學(xué)氣相沉積（CVD）是典型的化學(xué)方法而等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）是物理與化學(xué)相結(jié)合的混合方法,，CVD和PECVD用于生長氮化硅、氧化硅等介質(zhì)膜,。真空蒸鍍,，簡稱蒸鍍，是指在真空條件下,，采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料（或稱膜料）并使之氣化,，粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法。蒸鍍是使用較早,、用途較廣的氣相沉積技術(shù),，具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高,、膜結(jié)構(gòu)和性能獨(dú)特等優(yōu)點(diǎn),。 微納加工技術(shù)的特點(diǎn)：微型化！

皮秒激光精密微孔加工應(yīng)用作為一種激光精密加工技術(shù),，皮秒激光在對高硬度金屬微孔加工方面的應(yīng)用早在20世紀(jì)90年代初就有報(bào)道,。1996年德國學(xué)者Chichkov等研究了納秒、皮秒以及飛秒激光與材料的作用機(jī)理,，并在真空靶室中對厚度100μm的不銹鋼進(jìn)行了打孔實(shí)驗(yàn),，建立了激光微納加工的理論模型，為后續(xù)的激光微納加工實(shí)驗(yàn)研究奠定了堅(jiān)實(shí)的理論基礎(chǔ),。1998年Jandeleit等對厚度為250nm的銅膜進(jìn)行了精密制孔實(shí)驗(yàn),，實(shí)驗(yàn)指出使用同一脈寬的皮秒激光器對厚度較薄的金屬材料制孔時，采用高峰值功率更有可能獲得高質(zhì)量的的制孔效果,。然而,，優(yōu)異的加工效果不僅取決于脈沖寬度以及峰值功率，制孔方式也是一個至關(guān)重要的因素,，針對這一問題,，F(xiàn)ohl等采用納秒激光與飛秒激光對制孔方式進(jìn)行了深入研究，實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示納秒激光采用螺旋制孔方式所加工的微孔整潔干凈，而飛秒激光采用一般的沖擊制孔方式所加工的微孔邊緣有明顯的再鑄層,。微納加工技術(shù)能突顯一個國家工業(yè)發(fā)展水平,！蚌埠高精度微納加工

新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足的要求：能生產(chǎn)多種多樣高度復(fù)雜的微納產(chǎn)品！宜昌微納加工

納秒和飛秒之間,皮秒激光微納加工應(yīng)用獨(dú)具優(yōu)勢,！與傳統(tǒng)的微納加工技術(shù)相比,，激光微納加工具有如下獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)：非接觸加工不損壞工具、能量可調(diào),、加工方式靈活,、可實(shí)現(xiàn)柔性加工等。其中全固態(tài)皮秒激光具有極窄的脈沖寬度(皮秒),、極高的峰值功率(兆瓦)以及優(yōu)異的光束質(zhì)量,，被廣泛應(yīng)用于各種金屬、非金屬材料的精密加工,。研究表明,，脈沖寬度高于10ps的皮秒激光加工過程中有明顯的熱效應(yīng)存在，而且隨著激光與材料作用時間的增加,，工件表面會產(chǎn)生微裂紋以及再鑄層,；脈沖寬度低于5ps的皮秒激光與材料作用時會產(chǎn)生非線性效應(yīng)，這對金屬材料的加工非常不利,。因此,，適合微納精密加工用的皮秒激光的脈沖寬度在5~10ps之間。為了提高加工效率,，重復(fù)頻率一般設(shè)定在十萬赫茲量級,，而平均功率則根據(jù)所加工材料的燒蝕閾值而定。宜昌微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所位于長興路363號,，交通便利,，環(huán)境優(yōu)美，是一家服務(wù)型企業(yè),。公司致力于為客戶提供安全,、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務(wù)，是一家****企業(yè),。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),，具有微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)等多項(xiàng)業(yè)務(wù)。廣東省半導(dǎo)體所自成立以來,，一直堅(jiān)持走正規(guī)化,、專業(yè)化路線，得到了廣大客戶及社會各界的普遍認(rèn)可與大力支持。