微納加工技術(shù)起源于微電子工業(yè),，即使使用玻璃，塑料和許多其他基材,，該設(shè)備通常還是在硅晶片上制造的,。微加工、半導體加工,、微電子制造,、半導體制造、MEMS制造和集成電路技術(shù)是代替微加工的術(shù)語,，但微加工是廣義的術(shù)語,。傳統(tǒng)的加工技術(shù)（例如放電加工，火花腐蝕加工和激光鉆孔）已從室米尺寸范圍擴展到微米范圍,，但博研小編認為它們并沒有共享微電子起源的微納加工的主要思想：復制和并行制造數(shù)百個或多個數(shù)百萬個相同的結(jié)構(gòu),。這種平行性存在于各種印記，鑄造和模塑技術(shù)中,，這些技術(shù)已成功應用于微區(qū)域,。例如，DVD的注射成型涉及在光盤上制造亞微米尺寸的斑點,。高精度的微細結(jié)構(gòu)通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進行曝光,。秦皇島全套微納加工

   廣東省科學院半導體研究所致力于推動微納加工技術(shù)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，為歐洲的微納產(chǎn)品制造商及設(shè)備供應商提供技術(shù)支撐,，幫助他們在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域建立,、維持全球地位。 廣東省科學院半導體研究所發(fā)布的微納加工技術(shù)前景展望總結(jié)了其戰(zhàn)略研究議程(SRA)的要點,，確定出微納加工發(fā)展的新趨勢,，為維持和進一步增強歐洲工業(yè)在微納加工技術(shù)領(lǐng)域中的地位，提供了未來投資和研發(fā)戰(zhàn)略指導。從短期來看,，微納加工技術(shù)不會對環(huán)境和能源成本產(chǎn)生重大的影響,。受到當前加工技術(shù)的限制，這些技術(shù)在早期的發(fā)晨階段往往會有較高的能源成本,。與此同時,，微納加工一旦成熟，將會消耗更少的能源與資源,，就此而言,，微納加工無凝是一項令人振奮的技術(shù)。例如,，與去除邊角料獲得終產(chǎn)品不同的是,，微納加工采用的積層法將會使得廢料更少。秦皇島全套微納加工提高微納加工技術(shù)的加工能力和效率是未來微納結(jié)構(gòu)及器件研究的重點方向,！

     微納加工可以滿足高精度三維結(jié)構(gòu)制備,、多材料微納結(jié)構(gòu)加工以及器件成型與集成的加工需求，因此,，在各類微納結(jié)構(gòu)化功能部件的研制中展現(xiàn)出了很大的技術(shù)優(yōu)勢,。目前，飛秒激光已經(jīng)廣泛應用于多個前沿科學領(lǐng)域,。利用飛秒激光可以制備各種微光學器件,，如微透鏡陣列、仿生復眼,、光波導和超表面等,。吉林大學研究團隊利用雙光子聚合技術(shù)制備了一種基于仿生蛋白質(zhì)的微透鏡，該透鏡在外界刺激下可動態(tài)調(diào)節(jié)焦距,，同時具有獨特的伸縮性,、良好的生物相容性和生物可降解性；進一步該團隊利用激光加工技術(shù)制備了可變焦的仿生復眼,，實現(xiàn)了大視場變焦成像的功能,，如圖1所示。利用其高精度,、高分辨率和三維加工能力,，飛秒激光加工技術(shù)成為制備三維微流控芯片的強大工具。

    微納加工-薄膜沉積與摻雜工藝,。在微納加工過程中,，薄膜的形成方法主要為物理沉積、化學沉積和混合方法沉積,。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜、合金薄膜,、化合物等,。熱蒸發(fā)是在高真空下，利用電阻加熱至材料的熔化溫度,，使其蒸發(fā)至基底表面形成薄膜,，而電子束蒸發(fā)為使用電子束加熱；磁控濺射在高真空,，在電場的作用下,，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材，使靶材發(fā)生濺射并沉積于基底,；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高,、致密性好，熱蒸發(fā)主要用于沉積低熔點金屬薄膜或者厚膜,；化學氣相沉積（CVD）是典型的化學方法而等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）是物理與化學相結(jié)合的混合方法,，CVD和PECVD用于生長氮化硅、氧化硅等介質(zhì)膜,。真空蒸鍍,，簡稱蒸鍍,，是指在真空條件下,，采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料（或稱膜料）并使之氣化，粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法,。蒸鍍是使用較早,、用途較廣的氣相沉積技術(shù)，具有成膜方法簡單,、薄膜純度和致密性高,、膜結(jié)構(gòu)和性能獨特等優(yōu)點。 微納加工技術(shù)的特點：多樣化,。

    微納加工基于光刻工藝的微納加工技術(shù)主要包含以下過程：掩模（mask）制備,、圖形形成及轉(zhuǎn)移（涂膠、曝光,、顯影）,、薄膜沉積、刻蝕,、外延生長,、氧化和摻雜等。在基片表面涂覆一層某種光敏介質(zhì)的薄膜（抗蝕膠）,，曝光系統(tǒng)把掩模板的圖形投射在（抗蝕膠）薄膜上,，光（光子）的曝光過程是通過光化學作用使抗蝕膠發(fā)生光化學作用，形成微細圖形的潛像，再通過顯影過程使剩余的抗蝕膠層轉(zhuǎn)變成具有微細圖形的窗口,，后續(xù)基于抗蝕膠圖案進行鍍膜,、刻蝕等可進一步制作所需微納結(jié)構(gòu)或器件。
廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務,，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。 微機電系統(tǒng),、微光電系統(tǒng)、生物微機電系統(tǒng)等是微納米技術(shù)的重要應用領(lǐng)域,！秦皇島全套微納加工

應用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的,，如硅晶圓、玻璃晶圓,、塑料,、還其他的材料。秦皇島全套微納加工

    微納測試與表征技術(shù)是微納加工技術(shù)的基礎(chǔ)與前提,，它包括在微納器件的設(shè)計,、制造和系統(tǒng)集成過程中，對各種參量進行微米/納米檢測的技術(shù),。微米測量主要服務于精密制造和微加工技術(shù),，目標是獲得微米級測量精度，或表征微結(jié)構(gòu)的幾何,、機械及力學特性,；納米測量則主要服務于材料工程和納米科學,，特別是納米材料，目標是獲得材料的結(jié)構(gòu),、地貌和成分的信息,。在半導體領(lǐng)域人們所關(guān)心的與尺寸測量有關(guān)的參數(shù)主要包括：特征尺寸或線寬、重合度,、薄膜的厚度和表面的糙度等等,。未來，微納測試與表征技術(shù)正朝著從二維到三維,、從表面到內(nèi)部,、從靜態(tài)到動態(tài)、從單參量到多參量耦合,、從封裝前到封裝后的方向發(fā)展,。探索新的測量原理、測試方法和表征技術(shù),，發(fā)展微納加工及制造實時在線測試方法和微納器件質(zhì)量快速檢測系統(tǒng)已成為了微納測試與表征的主要發(fā)展趨勢,。 秦皇島全套微納加工

廣東省科學院半導體研究所坐落在長興路363號，是一家專業(yè)的面向半導體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造***的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務,，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供支持。公司,。一批專業(yè)的技術(shù)團隊,，是實現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標的基礎(chǔ)，是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動力,。廣東省科學院半導體研究所主營業(yè)務涵蓋微納加工技術(shù)服務,，真空鍍膜技術(shù)服務,，紫外光刻技術(shù)服務，材料刻蝕技術(shù)服務,，堅持“質(zhì)量保證,、良好服務、顧客滿意”的質(zhì)量方針,，贏得廣大客戶的支持和信賴,。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務，我們相信誠實正直,、開拓進取地為公司發(fā)展做正確的事情,，將為公司和個人帶來共同的利益和進步。經(jīng)過幾年的發(fā)展,，已成為微納加工技術(shù)服務,，真空鍍膜技術(shù)服務，紫外光刻技術(shù)服務,，材料刻蝕技術(shù)服務行業(yè)出名企業(yè),。