在過去的二十年中，微機電系統(tǒng),、微系統(tǒng),、微機械及其子領(lǐng)域，微流體學(xué)片上實驗室,，光學(xué)MEMS,、RFMEMS、PowerMEMS,、BioMEMS及其擴展到納米級（例如,，用于納米機電系統(tǒng)的NEMS)已經(jīng)重新使用，調(diào)整或擴展了微制造方法,。平板顯示器和太陽能電池也正在使用類似的技術(shù),。各種設(shè)備的小型化在科學(xué)與工程的許多領(lǐng)域提出了挑戰(zhàn)：物理、化學(xué),、材料科學(xué),、計算機科學(xué)、超精密工程,、制造工藝和設(shè)備設(shè)計,。它也引起了各種各樣的跨學(xué)科研究。微納加工的主要概念和原理是微光刻,、摻雜,、薄膜,、蝕刻、粘接和拋光,。微納結(jié)構(gòu)器件是系統(tǒng)重要的組成部分,，其制造的質(zhì)量,、效率和成本直接影響著行業(yè)的發(fā)展,！吉安微納加工技術(shù)

    微納加工-薄膜沉積與摻雜工藝。在微納加工過程中,，薄膜的形成方法主要為物理沉積,、化學(xué)沉積和混合方法沉積。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法,，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜、合金薄膜,、化合物等,。熱蒸發(fā)是在高真空下，利用電阻加熱至材料的熔化溫度,，使其蒸發(fā)至基底表面形成薄膜,，而電子束蒸發(fā)為使用電子束加熱；磁控濺射在高真空,，在電場的作用下,，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材，使靶材發(fā)生濺射并沉積于基底,；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高,、致密性好，熱蒸發(fā)主要用于沉積低熔點金屬薄膜或者厚膜,；化學(xué)氣相沉積（CVD）是典型的化學(xué)方法而等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）是物理與化學(xué)相結(jié)合的混合方法,，CVD和PECVD用于生長氮化硅、氧化硅等介質(zhì)膜,。真空蒸鍍,，簡稱蒸鍍，是指在真空條件下,，采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料（或稱膜料）并使之氣化,，粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法。蒸鍍是使用較早,、用途較廣的氣相沉積技術(shù),，具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高,、膜結(jié)構(gòu)和性能獨特等優(yōu)點,。 宿遷超快微納加工微納加工技術(shù)能突顯一個國家工業(yè)發(fā)展水平,！

    微納測試與表征技術(shù)是微納加工技術(shù)的基礎(chǔ)與前提，它包括在微納器件的設(shè)計,、制造和系統(tǒng)集成過程中,，對各種參量進行微米/納米檢測的技術(shù)。微米測量主要服務(wù)于精密制造和微加工技術(shù),，目標是獲得微米級測量精度,，或表征微結(jié)構(gòu)的幾何、機械及力學(xué)特性,；納米測量則主要服務(wù)于材料工程和納米科學(xué),，特別是納米材料，目標是獲得材料的結(jié)構(gòu),、地貌和成分的信息,。在半導(dǎo)體領(lǐng)域人們所關(guān)心的與尺寸測量有關(guān)的參數(shù)主要包括：特征尺寸或線寬、重合度,、薄膜的厚度和表面的糙度等等,。未來，微納測試與表征技術(shù)正朝著從二維到三維,、從表面到內(nèi)部,、從靜態(tài)到動態(tài)、從單參量到多參量耦合,、從封裝前到封裝后的方向發(fā)展,。探索新的測量原理、測試方法和表征技術(shù),，發(fā)展微納加工及制造實時在線測試方法和微納器件質(zhì)量快速檢測系統(tǒng)已成為了微納測試與表征的主要發(fā)展趨勢,。不同的表面微納結(jié)構(gòu)可以呈現(xiàn)出相應(yīng)的功能，隨著科技的發(fā)展,，不同功能的微納結(jié)構(gòu)及器件將會得到更多的應(yīng)用,。目前表面功能微納結(jié)構(gòu)及器件，諸如超材料,、超表面等充滿“神奇”力量的結(jié)構(gòu)或器件,，的發(fā)展仍受到微納加工技術(shù)的限制。因此,，研究功能微納結(jié)構(gòu)及器件需要從微納結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)方面進行廣深入的研究,。

飛秒激光微納加工類型飛秒激光微納加工的類型可以分為激光燒蝕微加工以及雙光子聚合加工。激光燒蝕微加工利用其本身獨特的性質(zhì)使材料瞬間蒸發(fā),，而不經(jīng)歷熔化過程,，具有優(yōu)良的加工特性。雙光子聚合加工三維微納結(jié)構(gòu)時利用飛秒激光聚焦點上發(fā)生的雙光子吸收效應(yīng),，獲得比衍射極限還要小的光響應(yīng),，可以在多種材料上進行微納米尺度的加工,。對波長特定的激光來說，材料可分為吸收材料和透明材料,。飛秒激光對于這些材料的作用機理都不相同,。由于自由電子大量存在的緣故，金屬具有良好的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性,。透明材料原本不會吸收這一波段,，但是由于飛秒激光可以產(chǎn)生極高的光強，它使材料實現(xiàn)對激光的非線性吸收,。未來幾年微納制造系統(tǒng)和平臺的發(fā)展前景包括的方面：智能的,、可升級的和適應(yīng)性強的微納制造系統(tǒng)。

     微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高級制造業(yè)水平的標志之一，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點,，在推動科技進步,、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展、拉動科技進步,、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種。比較顯然,，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系,。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類?！白陨隙隆笔菑暮暧^對象出發(fā),，以光刻工藝為基礎(chǔ)，對材料或原料進行加工,，較小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,。“自下而上”技術(shù)則是從微觀世界出發(fā),，通過控制原子,、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起，形成微納結(jié)構(gòu)與器件,。我造技術(shù)的研究從其誕生之初就一直牢據(jù)行國的微納制造技術(shù)的研究與世界先進水平業(yè)的杰出位置,！荊門MENS微納加工

微納加工按技術(shù)分類，主要分為平面工藝,、探針工藝,、模型工藝！吉安微納加工技術(shù)

      在微納加工過程中,，薄膜的形成方法主要為物理沉積,、化學(xué)沉積和混合方法沉積,。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法,，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜,、合金薄膜、化合物等,。熱蒸發(fā)是在高真空下,，利用電阻加熱至材料的熔化溫度，使其蒸發(fā)至基底表面形成薄膜,，而電子束蒸發(fā)為使用電子束加熱,；磁控濺射在高真空，在電場的作用下,，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材,，使靶材發(fā)生濺射并沉積于基底；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高,、致密性好,，熱蒸發(fā)主要用于沉積低熔點金屬薄膜或者厚膜；化學(xué)氣相沉積（CVD）是典型的化學(xué)方法而等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）是物理與化學(xué)相結(jié)合的混合方法,，CVD和PECVD主要用于生長氮化硅,、氧化硅等介質(zhì)膜。吉安微納加工技術(shù)

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所屬于電子元器件的高新企業(yè),，技術(shù)力量雄厚,。廣東省半導(dǎo)體所是一家****企業(yè)，一直“以人為本,，服務(wù)于社會”的經(jīng)營理念;“誠守信譽,，持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司業(yè)務(wù)涵蓋微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),，價格合理,，品質(zhì)有保證，深受廣大客戶的歡迎,。廣東省半導(dǎo)體所順應(yīng)時代發(fā)展和市場需求,，通過**技術(shù)，力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),。