電子束蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是一種制備高純物質(zhì)薄膜的主要方法，在電子束加熱裝置中,，被加熱的物質(zhì)被放置于水冷的坩堝中電子束只轟擊到其中很少的一部分物質(zhì),，而其余的大部分物質(zhì)在坩堝的冷卻作用下一直處于很低的溫度，即后者實際上變成了被蒸發(fā)物質(zhì)的坩堝,。因此,，電子束蒸發(fā)沉積方法可以做到避免坩堝材料的污染。在同一蒸發(fā)沉積裝置中可以安置多個坩堝,，這使得人們可以同時或分別蒸發(fā)和沉積多種不同的物質(zhì)。現(xiàn)今主流的電子束蒸發(fā)設(shè)備中對鍍膜質(zhì)量起關(guān)鍵作用的是電子槍和離子源,。在建筑和汽車玻璃上使用真空電鍍設(shè)備技術(shù),，鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃,。重慶UV光固化真空鍍膜

真空鍍膜：眾所周知,，在某些材料的表面上，只要鍍上一層薄膜,，就能使材料具有許多新的,、良好的物理和化學(xué)性能。20世紀(jì)70年代,，在物體表面上鍍膜的方法主要有電鍍法和化學(xué)鍍法,。前者是通過通電,，使電解液電解，被電解的離子鍍到作為另一個電極的基體表面上,，因此這種鍍膜的條件,，基體必須是電的良導(dǎo)體，而且薄膜厚度也難以控制,。后者是采用化學(xué)還原法,，必須把膜材配制成溶液，并能迅速參加還原反應(yīng),，這種鍍膜方法不僅薄膜的結(jié)合強度差,，而且鍍膜既不均勻也不易控制，同時還會產(chǎn)生大量的廢液,，造成嚴(yán)重的污染,。因此，這兩種被人們稱之為濕式鍍膜法的鍍膜工藝受到了很大的限制,。小家電真空鍍膜技術(shù)真空鍍膜中離子鍍的鍍層厚度均勻,。

真空鍍膜：離子鍍膜法：目前比較常用的組合方式有：射頻離子鍍(RFIP)。利用電阻或電子束加熱使膜材氣化,；依靠射頻等離子體放電使充入的真空Ar及其它惰性氣體,、反應(yīng)氣體氧氣、氮氣,、乙炔等離化,。這種方法的特點是：基板溫升小，不純氣體少,，成膜好,，適合鍍化合物膜，但匹配較困難,?？蓱?yīng)用于鍍光學(xué)器件、半導(dǎo)體器件,、裝飾品,、汽車零件等。此外,，離子鍍法還包括有低壓等離子體離子鍍,，感應(yīng)離子加熱鍍，集團(tuán)離子束鍍和多弧離子鍍等多種方法,。

真空鍍膜：離子鍍膜法：離子鍍膜技術(shù)是在真空條件下,，應(yīng)用氣體放電實現(xiàn)鍍膜的，即在真空室中使氣體或蒸發(fā)物質(zhì)電離,，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)離子的轟擊下,、同時將蒸發(fā)物或其反應(yīng)產(chǎn)物蒸鍍在基片上,。根據(jù)不同膜材的氣化方式和離化方式可分為不同類型的離子鍍膜方式。膜材的氣化方式有電阻加熱,、電子束加熱,、等離子電子束加熱、高頻感應(yīng)加熱,、陰極弧光放電加熱等,。氣體分子或原子的離化和啟動方式有：輝光放電型、電子束型,、熱電子型,、等離子電子束型、多弧型及高真空電弧放電型,，以及各種形式的離子源等,。不同的蒸發(fā)源與不同的電離或激發(fā)方式可以有多種不同的組合。目前比較常用的組合方式有：真空鍍膜中離子鍍的鍍層組織致密,、無小孔,、無氣泡、厚度均勻,。

電子束蒸發(fā)蒸鍍?nèi)珂u(W）,、鉬（Mo）等高熔點材料，跟常規(guī)金屬蒸鍍,，蒸鍍方式需有所蓋上,。根據(jù)之前的鍍膜經(jīng)驗，需要在坩堝的結(jié)構(gòu)上做一定的改進(jìn),。高熔點的材料采用錠或者顆粒狀放在坩堝當(dāng)中,，因為水冷坩堝導(dǎo)熱過快，材料難以達(dá)到其蒸發(fā)的溫度,。經(jīng)過實驗的驗證,，蒸發(fā)高熔點的材料可以采用材料薄片來蒸鍍，如將1mm材料薄片架空于碳坩堝上沿,，材料只能通過坩堝邊沿來導(dǎo)熱,，減緩散熱速率，有利于達(dá)到蒸發(fā)的熔點,。采用此方法可滿足蒸鍍50nm以下的材料薄膜,。離子鍍是真空鍍膜技術(shù)的一種,。重慶UV光固化真空鍍膜

真空鍍膜是在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上,。重慶UV光固化真空鍍膜

ALD是一種薄膜形成方法，其中將多種氣相原料（前體）交替暴露于基板表面以形成膜,。與CVD不同,，不同類型的前驅(qū)物不會同時進(jìn)入反應(yīng)室,，而是作為單獨的步驟引入（脈沖）和排出（吹掃）。在每個脈沖中,，前體分子在基材表面上以自控方式起作用,，并且當(dāng)表面上不存在可吸附位時，反應(yīng)結(jié)束,。因此,，一個周期中的產(chǎn)品成膜量由前體分子和基板表面分子如何化學(xué)鍵合來定義。因此,，通過控制循環(huán)次數(shù),，可以在具有任意結(jié)構(gòu)和尺寸的基板上形成高精度且均勻的膜。重慶UV光固化真空鍍膜