磁控濺射是以磁場束縛和延長電子的運動路徑,，改變電子的運動方向,，提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。電子的歸宿不只是基片,，真空室內(nèi)壁及靶源陽極也是電子歸宿,。但一般基片與真空室及陽極在同一電勢,。磁場與電場的交互作用使單個電子軌跡呈三維螺旋狀，而不是只在靶面圓周運動,。至于靶面圓周型的濺射輪廓,，那是靶源磁場磁力線呈圓周形狀分布,。磁力線分布方向不同會對成膜有很大關(guān)系。在EXBshift機理下工作的除磁控濺射外,，還有多弧鍍靶源,，離子源，等離子源等都在此原理下工作,。所不同的是電場方向,，電壓電流大小等因素。磁控濺射適用于制備大面積均勻薄膜,，并能實現(xiàn)單機年產(chǎn)上百萬平方米鍍膜的工業(yè)化生產(chǎn),。遼寧磁控濺射鍍膜

磁控濺射是在外加電場的兩極之間引入一個磁場。這個磁場使得電子受到洛倫茲力的束縛作用,，其運動路線受到控制,，因此大幅度增加了電子與Ar分子（原子）碰撞的幾率，提高了氣體分子的電離程度,，從而使濺射效率得到很大的提升,。濺射現(xiàn)象自發(fā)現(xiàn)以來己被普遍應(yīng)用在多種薄膜的制備中，如制備金屬,、半導(dǎo)體,、合金、氧化物以及化合物半導(dǎo)體等,。磁控濺射包括很多種類,。各有不同工作原理和應(yīng)用對象。但有一共同點：利用磁場與電場交互作用,，使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,，從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材,。磁控濺射在技術(shù)上可以分為直流(DC)磁控濺射,、中頻(MF)磁控濺射,、射頻(RF)磁控濺射,。遼寧磁控濺射鍍膜射頻磁控濺射，又稱射頻磁控濺射,，是一種制備薄膜的工藝,，特別是在使用非導(dǎo)電材料時。

反應(yīng)磁控濺射特點：(1)采用雙靶中頻電源解決反應(yīng)磁控濺射過程中因陽極被絕緣介質(zhì)膜覆蓋而造成的等離子體不穩(wěn)定現(xiàn)象,，同時還解決了電荷積累放電的問題,。(2)利用等離子發(fā)射譜監(jiān)測等離子體中的金屬粒子含量，調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體流量使等離子體放電電壓穩(wěn)定,，從而使沉積速率穩(wěn)定,。(3)使用圓柱形旋轉(zhuǎn)靶減小絕緣介質(zhì)膜的覆蓋面積,。(4)降低輸入功率，并使用能夠在放電時自動切斷輸出功率的智能電源抑制電弧,。(5)反應(yīng)過程與沉積過程分室進行,，既能有效提高薄膜沉積速率，又能使反應(yīng)氣體與薄膜表面充分反應(yīng)生成化合物薄膜,。

磁控濺射的工藝研究：1,、磁場。用來捕獲二次電子的磁場必須在整個靶面上保持一致,，而且磁場強度應(yīng)當(dāng)合適,。磁場不均勻就會產(chǎn)生不均勻的膜層。磁場強度如果不適當(dāng),，那么即使磁場強度一致也會導(dǎo)致膜層沉積速率低下,，而且可能在螺栓頭處發(fā)生濺射。這就會使膜層受到污染,。如果磁場強度過高,，可能在開始的時候沉積速率會非常高，但是由于刻蝕區(qū)的關(guān)系,，這個速率會迅速下降到一個非常低的水平,。同樣，這個刻蝕區(qū)也會造成靶的利用率比較低,。2,、可變參數(shù)。在濺射過程中,，通過改變改變這些參數(shù)可以進行工藝的動態(tài)控制,。這些可變參數(shù)包括：功率、速度,、氣體的種類和壓強,。磁控濺射沉積速度快、基材溫升低,、對膜層的損傷小,。

磁控濺射靶材的制備技術(shù)方法按生產(chǎn)工藝可分為熔融鑄造法和粉末冶金法兩大類，在靶材的制備過程中,，除嚴格控制材料的純度,、致密度、晶粒度以及結(jié)晶取向之外,，對熱處理工藝條件,、后續(xù)成型加工過程亦需要加以嚴格的控制，以保證靶材的質(zhì)量,。磁控濺射靶材的制備方法：1,、熔融鑄造法,。與粉末冶金法相比，熔融鑄造法生產(chǎn)的靶材產(chǎn)品雜質(zhì)含量低,，致密度高,。2、粉末冶金法,。通常,，熔融鑄造法無法實現(xiàn)難熔金屬濺射靶材的制備，對于熔點和密度相差較大的兩種或兩種以上的金屬,，采用普通的熔融鑄造法,，一般也難以獲得成分均勻的合金靶材；對于無機非金屬靶材,、復(fù)合靶材,，熔融鑄造法更是無能為力，而粉末冶金法是解決制備上述靶材技術(shù)難題的較佳途徑,。同時,，粉末冶金工藝還具有容易獲得均勻細晶結(jié)構(gòu)、節(jié)約原材料,、生產(chǎn)效率高等優(yōu)點,。物相沉積技術(shù)普遍應(yīng)用于航空航天、電子,、光學(xué),、機械、建筑,、輕工,、冶金、材料等領(lǐng)域,。雙靶磁控濺射過程

真空磁控濺射涂層技術(shù)不同于真空蒸發(fā)涂層技術(shù),。遼寧磁控濺射鍍膜

脈沖磁控濺射是采用矩形波電壓的脈沖電源代替?zhèn)鹘y(tǒng)直流電源進行磁控濺射沉積。脈沖磁控濺射可以有效地抑制電弧產(chǎn)生進而消除由此產(chǎn)生的薄膜缺陷,，同時可以提高濺射沉積速率,，降低沉積溫度等一系列明顯的優(yōu)點，是濺射絕緣材料沉積的優(yōu)先選擇工藝過程,。在一個周期內(nèi)存在正電壓和負電壓兩個階段,，在負電壓段，電源工作于靶材的濺射,，正電壓段，引入電子中和靶面累積的正電荷,，并使表面清潔,，裸露出金屬表面,。加在靶材上的脈沖電壓與一般磁控濺射相同！為400~500V,，電源頻率在10~350KHz,，在保證穩(wěn)定放電的前提下，應(yīng)盡可能取較低的頻率,。由于等離子體中的電子相對離子具有更高的能動性,，因此正電壓值只需要是負電壓的10%~20%，就可以有效中和靶表面累積的正電荷,。占空比的選擇在保證濺射時靶表面累積的電荷能在正電壓階段被完全中和的前提下,，盡可能提高占空，以實現(xiàn)電源的更大效率,。遼寧磁控濺射鍍膜

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