在Si片上形成具有垂直側(cè)壁的高深寬比溝槽結(jié)構(gòu)是制備先進MEMS器件的關(guān)鍵工藝,，其各向異性刻蝕要求非常嚴格。高深寬比的干法刻蝕技術(shù)以其刻蝕速率快,、各向異性較強,、污染少等優(yōu)點脫穎而出，成為MEMS器件加工的關(guān)鍵技術(shù)之一,。BOSCH工藝,又名TMDE(TimeMultiplexedDeepEtching)工藝,，是一個刻蝕一鈍化一刻蝕的循環(huán)過程，以達到對硅材料進行高深寬比,、各向異性刻蝕的目的,。BOSCH工藝的原理是在反應(yīng)腔室中輪流通入鈍化氣體C4F8與刻蝕氣體SF6與樣品進行反應(yīng)，工藝的整個過程是淀積鈍化層步驟與刻蝕步驟的反復(fù)交替,。其中保護氣體C4F8在高密度等離子體的作用下分解生成碳氟聚合物保護層,，沉積在已經(jīng)做好圖形的樣品表面?？涛g是指用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程,。浙江氮化鎵材料刻蝕工藝

濕法刻蝕是化學(xué)清洗方法中的一種，是化學(xué)清洗在半導(dǎo)體制造行業(yè)中的應(yīng)用,，是用化學(xué)方法有選擇地從硅片表面去除不需要材料的過程,。其基本目的是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形，有圖形的光刻膠層在刻蝕中不受到腐蝕源明顯的侵蝕，這層掩蔽膜用來在刻蝕中保護硅片上的特殊區(qū)域而選擇性地刻蝕掉未被光刻膠保護的區(qū)域,。從半導(dǎo)體制造業(yè)一開始,，濕法刻蝕就與硅片制造聯(lián)系在一起。雖然濕法刻蝕已經(jīng)逐步開始被法刻蝕所取代,，但它在漂去氧化硅,、去除殘留物、表層剝離以及大尺寸圖形刻蝕應(yīng)用等方面仍然起著重要的作用,。與干法刻蝕相比,，濕法刻蝕的好處在于對下層材料具有高的選擇比，對器件不會帶來等離子體損傷,，并且設(shè)備簡單,。刻蝕流片的速度與刻蝕速率密切相關(guān)噴淋流量的大小決定了基板表面藥液置換速度的快慢,。福建氮化硅材料刻蝕平臺物理和化學(xué)綜合作用機理中,，離子轟擊的物理過程可以通過濺射去除表面材料，具有比較強的方向性,。

工藝所用化學(xué)物質(zhì)取決于要刻蝕的薄膜類型,。介電刻蝕應(yīng)用中通常使用含氟的化學(xué)物質(zhì)。硅和金屬刻蝕使用含氯成分的化學(xué)物質(zhì),。在工藝中可能會對一個薄膜層或多個薄膜層執(zhí)行特定的刻蝕步驟,。當需要處理多層薄膜時，以及刻蝕中必須精確停在某個特定薄膜層而不對其造成損傷時,，刻蝕工藝的選擇比就變得非常重要,。選擇比是兩個刻蝕速率的比率：被去除層的刻蝕速率與被保護層的刻蝕速率（例如刻蝕掩膜或終止層）。掩?；蛲Ｖ箤樱┩ǔ６枷Ｍ懈叩倪x擇比。硅材料刻蝕廠商有圖形刻蝕可用來在硅片上制作多種不同的特征圖形,，包括柵,、金屬互連線、通孔,、接觸孔和溝槽,。

理想情況下，晶圓所有點的刻蝕速率都一致（均勻）,。晶圓不同點刻蝕速率不同的情況稱為非均勻性（或者稱為微負載）,，通常以百分比表示。減少非均勻性和微負載是刻蝕的重要目標,。應(yīng)用材料公司一直以來不斷開發(fā)具有成本效益的創(chuàng)新解決方案,，來應(yīng)對不斷變化的蝕刻難題。這些難題可能源自于器件尺寸的不斷縮小,；所用材料的變化（例如高k薄膜或多孔較低k介電薄膜）,；器件架構(gòu)多樣化（例如FinFET和三維NAND晶體管）；以及新的封裝方式（例如硅穿孔（TSV）技術(shù)）,。干法刻蝕優(yōu)點是：細線條操作安全,，易實現(xiàn)自動化，無化學(xué)廢液,，處理過程未引入污染,，潔凈度高。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）是當前常用技術(shù)路徑,，屬于物理和化學(xué)混合刻蝕,。

刻蝕工藝去除晶圓表面的特定區(qū)域，以沉積其它材料,?！案煞ā保ǖ入x子）刻蝕用于形成電路，而“濕法”刻蝕（使用化學(xué)?。┲饕糜谇鍧嵕A,。干法刻蝕是半導(dǎo)體制造中較常用的工藝之一。開始刻蝕前,，晶圓上會涂上一層光刻膠或硬掩膜（通常是氧化物或氮化物）,，然后在光刻時將電路圖形曝光在晶圓上?？涛g只去除曝光圖形上的材料,。在芯片工藝中，圖形化和刻蝕過程會重復(fù)進行多次,，貴州深硅刻蝕材料刻蝕價錢,，貴州深硅刻蝕材料刻蝕價錢。等離子刻蝕是將電磁能量（通常為射頻（RF））施加到含有化學(xué)反應(yīng)成分（如氟或氯）的氣體中實現(xiàn),。等離子會釋放帶正電的離子來撞擊晶圓以去除（刻蝕）材料,，并和活性自由基產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，與刻蝕的材料反應(yīng)形成揮發(fā)性或非揮發(fā)性的殘留物,。離子電荷會以垂直方向射入晶圓表面,。這樣會形成近乎垂直的刻蝕形貌，這種形貌是現(xiàn)今密集封裝芯片設(shè)計中制作細微特征所必需的,。干法刻蝕優(yōu)點是：潔凈度高,。北京硅材料刻蝕加工

干法刻蝕優(yōu)點是：選擇比高。浙江氮化鎵材料刻蝕工藝

在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝：干法刻蝕和濕法腐蝕,。干法刻蝕是把硅片表面曝露于氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體,，等離子體通過光刻膠中開出的窗口,，與硅片發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)（或這兩種反應(yīng)），從而去掉曝露的表面材料,。干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的較重要方法,。而在濕法腐蝕中，液體化學(xué)試劑（如酸,、堿和溶劑等）以化學(xué)方式去除硅片表面的材料,。濕法腐蝕一般只是用在尺寸較大的情況下（大于3微米）。濕法腐蝕仍然用來腐蝕硅片上某些層或用來去除干法刻蝕后的殘留物,。濕法刻蝕特點是：濕法刻蝕在半導(dǎo)體工藝中有著普遍應(yīng)用：磨片,、拋光、清洗,、腐蝕,。浙江氮化鎵材料刻蝕工藝