微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計,、加工,、組裝、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù),，涉及領(lǐng)域廣,、多學(xué)科交叉融合，其較主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)。微納器件與系統(tǒng)是在集成電路制作上發(fā)展的系列專門用技術(shù),，研制微型傳感器,、微型執(zhí)行器等器件和系統(tǒng)，具有微型化,、批量化,、成本低的鮮明特點，微納加工技術(shù)對現(xiàn)代的生活,、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進作用,，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè)。在Si片上形成具有垂直側(cè)壁的高深寬比溝槽結(jié)構(gòu)是制備先進MEMS器件的關(guān)鍵工藝,，其各向異性刻蝕要求非常嚴格,。高深寬比的干法刻蝕技術(shù)以其刻蝕速率快、各向異性較強,、污染少等優(yōu)點脫穎而出,，成為MEMS器件加工的關(guān)鍵技術(shù)之一。通過光刻技術(shù)制作出的微納結(jié)構(gòu)需進一步通過刻蝕或者鍍膜,，才可獲得所需的結(jié)構(gòu)或元件,。六安微納加工工藝

      光刻是微納加工技術(shù)中關(guān)鍵的工藝步驟，光刻的工藝水平?jīng)Q定產(chǎn)品的制程水平和性能水平,。光刻的原理是在基底表面覆蓋一層具有高度光敏感性光刻膠,，再用光線（一般是紫外光、深紫外光,、極紫外光）透過光刻板照射在基底表面,，被光線照射到的光刻膠會發(fā)生反應(yīng)。此后用顯影液洗去被照射/未被照射的光刻膠,， 就實現(xiàn)了圖形從光刻板到基底的轉(zhuǎn)移,。光刻膠分為正性光刻和負性光刻兩種基本工藝，區(qū)別在于兩者使用的光刻膠的類型不同,。負性光刻使用的光刻膠在曝光后會因為交聯(lián)而變得不可溶解,，并會固化，不會被溶劑洗掉,，從而該部分硅片不會在后續(xù)流程中被腐蝕掉,，負性光刻光刻膠上的圖形與掩模版上圖形相反。瀘州鍍膜微納加工微納加工技術(shù)的特點MEMS技術(shù)適合批量生產(chǎn),！

當前納米制造技術(shù)在環(huán)境友好方面有望大展身手的一些領(lǐng)域有以下幾種：1,、照明：對于傳統(tǒng)的白熾光源來說，LEDs是一種高效能的替代,，納米技術(shù)可用來開發(fā)更多新的光源,。2,、發(fā)動機/燃料效率：采用納米顆粒燃料添加劑能夠減少柴油機的能耗并改善局部空氣質(zhì)量。微納材料也用來改善飛機渦輪葉片的熱阻性能,，使得發(fā)動機可以在更高的溫度下繼續(xù)運轉(zhuǎn),，進而提高整個發(fā)動機的效率。3,、減重：新型較強度復(fù)合材料能夠減輕材料的重量,。未來的目標包括：在金屬合金和塑料中摻雜納米管來減少飛機的重量；改進橡膠配方中摻雜入輪胎的納米顆粒,；利用通過納米技術(shù)制得的汽車等的催化式排氣凈化器優(yōu)化車內(nèi)燃料的燃燒過程,。

    MEMS（微機電系統(tǒng)），是指以微型化,、系統(tǒng)化的理論為指導(dǎo),，通過半導(dǎo)體制造等微納加工手段，形成特征尺度為微納米量級的系統(tǒng)裝置,。相對于先進的集成電路（IC）制造工藝（遵循摩爾定律）,，MEMS制造工藝不單純追求線寬而注重功能特色化，即利用微納結(jié)構(gòu)或/和敏感材料實現(xiàn)多種傳感和執(zhí)行功能,，工藝節(jié)點通常從500nm到110nm,，襯底材料也不局限硅，還包括玻璃,、聚合物,、金屬等。由MEMS技術(shù)構(gòu)建的產(chǎn)品往往具有體積小,、重量輕,、功耗低、成本低等優(yōu)點,，已廣泛應(yīng)用于汽車、手機,、工業(yè),、醫(yī)療、**,、航空航天等領(lǐng)域,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。 在我國,，微納制造技術(shù)同樣是重點發(fā)展方向之一!

       作為前沿加工技術(shù)，飛秒激光加工具有熱影響區(qū)小,、與材料相互作用呈非線性過程,、超出衍射極限的高分辨率加工等特點，可以實現(xiàn)對各種材料的高質(zhì)量,、高精度微納米加工和三維微納結(jié)構(gòu)制造,。飛秒激光對材料的加工方式靈活多樣，既可實現(xiàn)增材,、減材和等材制造,，又能夠以激光直寫和激光并行加工的方式制備微納結(jié)構(gòu)。其中,，飛秒激光直寫通常用于復(fù)雜,、不規(guī)則的微納結(jié)構(gòu)加工，具有較高的空間分辨率,、加工靈活性和自由度,，然而鑒于其逐點加工的技術(shù)特點，加工效率較低,；飛秒激光并行加工包括基于數(shù)字微鏡器件的光刻技術(shù),、空間光調(diào)制器和激光干涉加工等方法，具有較高的加工效率,，但無法加工任意三維微結(jié)構(gòu),。飛秒激光加工方式各有優(yōu)缺點，可以根據(jù)應(yīng)用中的實際需求來選擇合適的加工技術(shù),。應(yīng)用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的,，如硅晶圓、玻璃晶圓,、塑料,、還其他的材料,。宜昌微納加工價目

微納加工平臺，主要是兩個方面：微納加工,、微納檢測,！六安微納加工工藝

      刻蝕工藝：是在半導(dǎo)體工藝，按照掩模圖形或設(shè)計要求對半導(dǎo)體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性腐蝕或剝離的技術(shù),?？涛g技術(shù)不僅是半導(dǎo)體器件和集成電路的基本制造工藝，而且還應(yīng)用于薄膜電路,、印刷電路和其他微細圖形的加工,。刻蝕還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造高質(zhì)量檔次的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。六安微納加工工藝

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是以提供微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)為主的****,，公司成立于2016-04-07,，旗下芯辰實驗室,微納加工,，已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。廣東省半導(dǎo)體所以微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)為主業(yè)，服務(wù)于電子元器件等領(lǐng)域,，為全國客戶提供先進微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),。廣東省半導(dǎo)體所將以精良的技術(shù)、優(yōu)異的產(chǎn)品性能和完善的售后服務(wù),，滿足國內(nèi)外廣大客戶的需求,。