微納加工技術的發(fā)展,，將促進納米光電子器件向更深更廣的方向發(fā)展,。微納加工的半導體納米結構在光電子領域帶來許多新的量子物理效應，如量子點的庫侖阻塞效應和光子輔助隧穿效應,，光子晶體的光子帶隙效應等,。對這些新的納米結構帶來的新現(xiàn)象的研究將為研制新原理基礎上的新器件打下基礎。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產(chǎn)品中試提供技術支持。濕法刻蝕較普遍、也是成本較低的刻蝕方法,！秦皇島微納加工設備

獲得或保持率先競爭對手的優(yōu)勢將維持強勁的經(jīng)濟,、提供動力以滿足社會需求，而微納制造技術能力正在成為其中的關鍵使能因素,。微納制造技術可以幫助企業(yè),、產(chǎn)業(yè)形成競爭優(yōu)勢。得益于私營部門和公共部門之間的合作,，它們的快速發(fā)展提升了許多不同應用領域的歐洲公司的市場份額,，促進了協(xié)作研究。需要強調的,，產(chǎn)業(yè)界和學術界的合作在增加公司的市場實力上發(fā)揮了重要作用,；這種合作使得那些阻礙創(chuàng)新、新技術與高水平的教育需求等進展的問題的解決變得更為容易,。遼陽石墨烯微納加工應用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的,，如硅晶圓、玻璃晶圓,、塑料,、還其他的材料。

微納加工當中,，GaN材料的刻蝕一般采用光刻膠來做掩膜,，但是刻蝕GaN和光刻膠，選擇比接近1:1,，如果需要刻蝕深度超過3微米以上的都需要采用厚膠來做掩膜,。對于刻蝕更深的GaN,那就需要采用氧化硅來做刻蝕的掩模，刻蝕GaN的氣體對于刻蝕氧化硅刻蝕比例可以達到8:1,。應用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的,，如硅晶圓、玻璃晶圓,、塑料,、還其他的材料。硅晶圓包括氧化硅片,、SOI硅片,、高阻硅片等，硅片晶圓包括單晶石英玻璃,、高硼硅玻璃,、光學玻璃、光敏玻璃等,。塑料材料包括PMMA,、PS,、光學樹脂等材料。其他材料包括陶瓷,、AlN材料,、金屬等材料,。

    MEMS（微機電系統(tǒng)）,，是指以微型化、系統(tǒng)化的理論為指導,，通過半導體制造等微納加工手段,，形成特征尺度為微納米量級的系統(tǒng)裝置。相對于先進的集成電路（IC）制造工藝（遵循摩爾定律）,，MEMS制造工藝不單純追求線寬而注重功能特色化,，即利用微納結構或/和敏感材料實現(xiàn)多種傳感和執(zhí)行功能，工藝節(jié)點通常從500nm到110nm,，襯底材料也不局限硅,，還包括玻璃、聚合物,、金屬等,。由MEMS技術構建的產(chǎn)品往往具有體積小、重量輕,、功耗低,、成本低等優(yōu)點，已廣泛應用于汽車,、手機,、工業(yè)、醫(yī)療,、**,、航空航天等領域。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產(chǎn)品中試提供技術支持,。 微納加工按技術分類，主要分為平面工藝,、探針工藝,、模型工藝！

ICP刻蝕GaN是物料濺射和化學反應相結合的復雜過程,?？涛gGaN主要使用到氯氣和三氯化硼，刻蝕過程中材料表面表面的Ga-N鍵在離子轟擊下破裂,，此為物理濺射,，產(chǎn)生活性的Ga和N原子，氮原子相互結合容易析出氮氣,，Ga原子和Cl離子生成容易揮發(fā)的GaCl2或者GaCl3,。光刻（Photolithography)是一種圖形轉移的方法，在微納加工當中不可或缺的技術,。光刻是一個比較大的概念,，其實它是有多步工序所組成的。1.清洗：清洗襯底表面的有機物,。2.旋涂：將光刻膠旋涂在襯底表面,。3.曝光。將光刻版與襯底對準,，在紫外光下曝光一定的時間,。4.顯影：將曝光后的襯底在顯影液下顯影一定的時間，受過紫外線曝光的地方會溶解在顯影液當中,。5.后烘,。將顯影后的襯底放置熱板上后烘，以增強光刻膠與襯底之前的粘附力,。微納加工平臺包括光刻,、磁控濺射、電子束蒸鍍,、濕法腐蝕,、干法腐蝕、表面形貌測量,！菏澤高精度微納加工

微納制造技術研發(fā)和應用標志著人類可以在微,、納米尺度認識和改造世界,！秦皇島微納加工設備

在光刻圖案化工藝中，需要優(yōu)先將光刻膠涂在硅片上形成一層薄膜,。接著在復雜的曝光裝置中,，光線通過一個具有特定圖案的掩模投射到光刻膠上。曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生化學變化,，在隨后的化學顯影過程中被去除,。較后掩模的圖案就被轉移到了光刻膠膜上。而在隨后的蝕刻或離子注入工藝中,，會對沒有光刻膠保護的硅片部分進行刻蝕,，較后洗去剩余光刻膠,。這時光刻膠的圖案就被轉移到下層的薄膜上,，這種薄膜圖案化的過程經(jīng)過多次迭代，聯(lián)同其他多個物理過程,，便產(chǎn)生集成電路,。秦皇島微納加工設備

廣東省科學院半導體研究所坐落于長興路363號，是集設計,、開發(fā),、生產(chǎn)、銷售,、售后服務于一體,，電子元器件的服務型企業(yè)。公司在行業(yè)內(nèi)發(fā)展多年,，持續(xù)為用戶提供整套微納加工技術服務,，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務,，材料刻蝕技術服務的解決方案,。公司主要經(jīng)營微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務,，紫外光刻技術服務,，材料刻蝕技術服務等，我們始終堅持以可靠的產(chǎn)品質量,，良好的服務理念,，優(yōu)惠的服務價格誠信和讓利于客戶，堅持用自己的服務去打動客戶,。芯辰實驗室,微納加工集中了一批經(jīng)驗豐富的技術及管理專業(yè)人才,，能為客戶提供良好的售前、售中及售后服務,，并能根據(jù)用戶需求,，定制產(chǎn)品和配套整體解決方案,。廣東省科學院半導體研究所以先進工藝為基礎、以產(chǎn)品質量為根本,、以技術創(chuàng)新為動力,，開發(fā)并推出多項具有競爭力的微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務,，紫外光刻技術服務,，材料刻蝕技術服務產(chǎn)品，確保了在微納加工技術服務,，真空鍍膜技術服務,，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務市場的優(yōu)勢,。