微納加工工藝基本分為表面加工體加工兩大塊,，基本流程如下：表面加工基本流程如下：首先：沉積系繩層材料,；第二步：光刻定義系繩層圖形,；第三步：刻蝕完成系繩層圖形轉(zhuǎn)移,；第四步：沉積結(jié)構(gòu)材料,；第五步：光刻定義結(jié)構(gòu)層圖形,；第六步：刻蝕完成結(jié)構(gòu)層圖形轉(zhuǎn)移,；第七步：釋放去除系繩層,，保留結(jié)構(gòu)層，完成微結(jié)構(gòu)制作,；體加工基本流程如下：起先：沉積保護(hù)層材料,；第二步：光刻定義保護(hù)圖形；第三步：刻蝕完成保護(hù)層圖形轉(zhuǎn)移,；第四步：腐蝕硅襯底,，在制作三維立體腔結(jié)構(gòu)；第五步：去除保護(hù)層材料,。微納加工技術(shù)的特點(diǎn)：多樣化,。邯鄲MENS微納加工

    MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)），是指以微型化,、系統(tǒng)化的理論為指導(dǎo),，通過(guò)半導(dǎo)體制造等微納加工手段，形成特征尺度為微納米量級(jí)的系統(tǒng)裝置,。相對(duì)于先進(jìn)的集成電路（IC）制造工藝（遵循摩爾定律）,，MEMS制造工藝不單純追求線寬而注重功能特色化，即利用微納結(jié)構(gòu)或/和敏感材料實(shí)現(xiàn)多種傳感和執(zhí)行功能,，工藝節(jié)點(diǎn)通常從500nm到110nm,，襯底材料也不局限硅，還包括玻璃、聚合物,、金屬等,。由MEMS技術(shù)構(gòu)建的產(chǎn)品往往具有體積小、重量輕,、功耗低,、成本低等優(yōu)點(diǎn)，已廣泛應(yīng)用于汽車,、手機(jī),、工業(yè)、醫(yī)療,、**,、航空航天等領(lǐng)域。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái),，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國(guó)內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。 青島微納加工技術(shù)微納加工平臺(tái)包括光刻,、磁控濺射、電子束蒸鍍,、濕法腐蝕,、干法腐蝕、表面形貌測(cè)量,！

    微納加工即是微米級(jí)納米級(jí)單位的加工常常應(yīng)用在材料科學(xué)和芯片設(shè)計(jì)等領(lǐng)域,，通俗的講就是把圖形轉(zhuǎn)移到襯底上面去，一般襯底是Si，做微納加工第一步是要做光刻版的,。第一步版圖：一般要用CAD,，EDA，Matlab,，L-edit,，potel軟件做圖形第二步制作光刻版：這里比較復(fù)雜我分為三步來(lái)介紹首先我們要了解光刻版的材料和它的結(jié)構(gòu)，光刻版即是掩膜板材質(zhì)只有兩種石英和蘇打（石英的透光率要比蘇打的透光率要好）蘇打和石英上面呢有一層ge金屬（ge金屬不透光）ge金屬上面還有一層光刻膠,。第一步：我們要確定我們光刻版的大?。ㄗ⒁夤饪贪嬉纫r底大一個(gè)英寸以便于光刻的時(shí)候光刻版能把襯底全部掩蓋住）以及小線寬和精度（這里直接關(guān)乎到我們制版的時(shí)候會(huì)用到什么設(shè)備）第二步：進(jìn)行光刻我們需要用電子束將光刻版上面的光刻膠進(jìn)行處理就是把圖形用電子束寫到光刻版上面去被紫外線照到的地方的光刻膠就會(huì)產(chǎn)生變性在用把光刻膠洗掉這一步也叫去膠,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái),，面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,。

       當(dāng)微納加工技術(shù)應(yīng)用到光電子領(lǐng)域，就形成了新興的納米光電子技術(shù),，主要研究納米結(jié)構(gòu)中光與電子相互作用及其能量互換的技術(shù).納米光電子技術(shù)在過(guò)去的十多年里,，一方面，以低維結(jié)構(gòu)材料生長(zhǎng)和能帶工程為基礎(chǔ)的納米制造技術(shù)有了長(zhǎng)足的發(fā)展,，包括分子束外延(MBE),、金屬有機(jī)化學(xué)氣相淀積(MOCVD)和化學(xué)束外延(CBE)，使得在晶片表面外延生長(zhǎng)方向(直方向)的外延層精度控制到單個(gè)原子層,，從而獲得了具有量子尺寸效應(yīng)的半導(dǎo)體材料;另一方面,，平面納米加工工藝實(shí)現(xiàn)了納米尺度的光刻和橫向刻蝕，使得人工橫向量子限制的量子線與量子點(diǎn)的制作成為可能.同時(shí),，光子晶體概念的出現(xiàn),，使得納米平面加工工藝廣地應(yīng)用到光介質(zhì)材料折射率周期性的改變中。在我國(guó),，微納制造技術(shù)同樣是重點(diǎn)發(fā)展方向之一,。

硅材料在MEMS器件當(dāng)中是很重要的一種材料。在硅材料刻蝕當(dāng)中,，應(yīng)用于醫(yī)美方向的硅針刻蝕需要用到各向同性刻蝕,，縱向和橫向同時(shí)刻蝕,，硅柱的刻蝕需要用到各項(xiàng)異性刻蝕，主要是在垂直方向刻蝕,，而橫向盡量少刻蝕,。微納加工平臺(tái)主要提供微納加工技術(shù)工藝，包括光刻,、磁控濺射,、電子束蒸鍍、濕法腐蝕,、干法腐蝕,、表面形貌測(cè)量等。該平臺(tái)以積極靈活的方式服務(wù)于實(shí)驗(yàn)室的研究課題,，并產(chǎn)生高水平的研究成果,，促進(jìn)半導(dǎo)體器件的發(fā)展，成為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體器件技術(shù)與學(xué)術(shù)交流和人才培養(yǎng)的重要基地,，同時(shí)也為實(shí)驗(yàn)室的學(xué)術(shù)交流,、合作研究提供技術(shù)平臺(tái)和便利條件。微納加工平臺(tái),，主要是兩個(gè)方面：微納加工,、微納檢測(cè)。安慶微納加工器件

高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)可以通過(guò)電子束直寫或激光直寫制作,！邯鄲MENS微納加工

微納測(cè)試與表征技術(shù)是微納加工技術(shù)的基礎(chǔ)與前提,，微納測(cè)試包括在微納器件的設(shè)計(jì)、制造和系統(tǒng)集成過(guò)程中,，對(duì)各種參量進(jìn)行微米/納米檢測(cè)的技術(shù),。微米測(cè)量主要服務(wù)于精密制造和微加工技術(shù)，目標(biāo)是獲得微米級(jí)測(cè)量精度,，或表征微結(jié)構(gòu)的幾何、機(jī)械及力學(xué)特性,；納米測(cè)量則主要服務(wù)于材料工程和納米科學(xué),，特別是納米材料，目標(biāo)是獲得材料的結(jié)構(gòu),、地貌和成分的信息,。在半導(dǎo)體領(lǐng)域人們所關(guān)心的與尺寸測(cè)量有關(guān)的參數(shù)主要包括：特征尺寸或線寬、重合度,、薄膜的厚度和表面的糙度等等,。未來(lái)，微納測(cè)試與表征技術(shù)正朝著從二維到三維,、從表面到內(nèi)部,、從靜態(tài)到動(dòng)態(tài),、從單參量到多參量耦合、從封裝前到封裝后的方向發(fā)展,。探索新的測(cè)量原理,、測(cè)試方法和表征技術(shù)，發(fā)展微納加工及制造實(shí)時(shí)在線測(cè)試方法和微納器件質(zhì)量快速檢測(cè)系統(tǒng)已成為了微納測(cè)試與表征的主要發(fā)展趨勢(shì),。邯鄲MENS微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所成立于2016-04-07,，同時(shí)啟動(dòng)了以芯辰實(shí)驗(yàn)室,微納加工為主的微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)產(chǎn)業(yè)布局。是具有一定實(shí)力的電子元器件企業(yè)之一,，主要提供微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)等領(lǐng)域內(nèi)的產(chǎn)品或服務(wù),。同時(shí)，企業(yè)針對(duì)用戶,，在微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)等幾大領(lǐng)域,，提供更多、更豐富的電子元器件產(chǎn)品,，進(jìn)一步為全國(guó)更多單位和企業(yè)提供更具針對(duì)性的電子元器件服務(wù),。廣東省半導(dǎo)體所始終保持在電子元器件領(lǐng)域優(yōu)先的前提下，不斷優(yōu)化業(yè)務(wù)結(jié)構(gòu),。在微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)等領(lǐng)域承攬了一大批高精尖項(xiàng)目,，積極為更多電子元器件企業(yè)提供服務(wù)。