刻蝕,，英文為Etch,，它是半導(dǎo)體制造工藝,，微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當(dāng)重要的步驟。是與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理的一種主要工藝,。所謂刻蝕,，實(shí)際上狹義理解就是光刻腐蝕，先通過(guò)光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理,，然后通過(guò)其它方式實(shí)現(xiàn)腐蝕處理掉所需除去的部分,?？涛g是用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過(guò)程，其基本目標(biāo)是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩模圖形,。隨著微制造工藝的發(fā)展,，廣義上來(lái)講，刻蝕成了通過(guò)溶液,、反應(yīng)離子或其它機(jī)械方式來(lái)剝離,、去除材料的一種統(tǒng)稱，成為微加工制造的一種普適叫法,?？涛g技術(shù)主要分為干法刻蝕與濕法刻蝕。深圳南山刻蝕技術(shù)

    等離子刻蝕是將電磁能量（通常為射頻（RF））施加到含有化學(xué)反應(yīng)成分（如氟或氯）的氣體中實(shí)現(xiàn),。等離子會(huì)釋放帶正電的離子來(lái)撞擊晶圓以去除（刻蝕）材料,，并和活性自由基產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，與刻蝕的材料反應(yīng)形成揮發(fā)性或非揮發(fā)性的殘留物,。離子電荷會(huì)以垂直方向射入晶圓表面,。這樣會(huì)形成近乎垂直的刻蝕形貌，這種形貌是現(xiàn)今密集封裝芯片設(shè)計(jì)中制作細(xì)微特征所必需的,。一般而言,，高蝕速率（在一定時(shí)間內(nèi)去除的材料量）都會(huì)受到歡迎。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）的目標(biāo)是在物理刻蝕和化學(xué)刻蝕之間達(dá)到較佳平衡,，使物理撞擊（刻蝕率）強(qiáng)度足以去除必要的材料，同時(shí)適當(dāng)?shù)幕瘜W(xué)反應(yīng)能形成易于排出的揮發(fā)性殘留物或在剩余物上形成保護(hù)性沉積（選擇比和形貌控制）,。采用磁場(chǎng)增強(qiáng)的RIE工藝,，通過(guò)增加離子密度而不增加離子能量（可能會(huì)損失晶圓）的方式，改進(jìn)了處理過(guò)程,。 寧波刻蝕技術(shù)刻蝕成了通過(guò)溶液,、反應(yīng)離子或其它機(jī)械方式來(lái)進(jìn)行剝離、去除材料的一種統(tǒng)稱,。

同樣的刻蝕條件,，針對(duì)不同的刻蝕暴露面積，刻蝕的速率會(huì)有所不一樣,。通常來(lái)說(shuō),，刻蝕面積越大，刻蝕的速率越慢,，暴露面積越小,，刻蝕的速率越快。所以在速率調(diào)試的過(guò)程中,，要使用尺寸相當(dāng)?shù)臉悠愤M(jìn)來(lái)調(diào)試,，這樣調(diào)試的刻蝕速率參考意義比較大,。氮化硅濕法刻蝕：對(duì)于鈍化層，另外一種受青睞的化合物是氮化硅,?？梢杂靡后w化學(xué)的方法來(lái)刻蝕，但是不想其他層那樣容易,。使用的化學(xué)品是熱磷酸,。因酸液在此溫度下會(huì)迅速蒸發(fā)，所以刻蝕要在一個(gè)裝有冷卻蓋的密封回流容器中進(jìn)行,。主要問(wèn)題是光刻膠層經(jīng)不起刻蝕劑的溫度和高刻蝕速率,。因此，需要一層二氧化硅或其他材料來(lái)阻擋刻蝕劑,。這兩個(gè)因素已導(dǎo)致對(duì)于氮化硅使用干法刻蝕技術(shù),。

刻蝕工藝是：把未被抗蝕劑掩蔽的薄膜層除去，從而在薄膜上得到與抗蝕劑膜上完全相同圖形的工藝,。在集成電路制造過(guò)程中,，經(jīng)過(guò)掩模套準(zhǔn)、曝光和顯影,，在抗蝕劑膜上復(fù)印出所需的圖形,，或者用電子束直接描繪在抗蝕劑膜上產(chǎn)生圖形，然后把此圖形精確地轉(zhuǎn)移到抗蝕劑下面的介質(zhì)薄膜（如氧化硅,、氮化硅,、多晶硅）或金屬薄膜（如鋁及其合金）上去，制造出所需的薄層圖案,?？涛g就是用化學(xué)的、物理的或同時(shí)使用化學(xué)和物理的方法,，有選擇地把沒(méi)有被抗蝕劑掩蔽的那一部分薄膜層除去,，從而在薄膜上得到和抗蝕劑膜上完全一致的圖形?？涛g技術(shù)主要分為干法刻蝕與濕法刻蝕,。干法刻蝕主要利用反應(yīng)氣體與等離子體進(jìn)行刻蝕；濕法刻蝕主要利用化學(xué)試劑與被刻蝕材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行刻蝕,。在工藝中可能會(huì)對(duì)一個(gè)薄膜層或多個(gè)薄膜層執(zhí)行特定的刻蝕步驟,。干法刻蝕優(yōu)點(diǎn)：細(xì)線條操作安全，易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,，無(wú)化學(xué)廢液,，處理過(guò)程未引入污染，潔凈度高,。

材料的濕法化學(xué)刻蝕,，一般包括刻蝕劑到達(dá)材料表面和反應(yīng)產(chǎn)物離開(kāi)表面的傳輸過(guò)程,，也包括表面本身的反應(yīng)。如果刻蝕劑的傳輸是限制加工的因素,，則這種反應(yīng)受擴(kuò)散的限制,。吸附和解吸也影響濕法刻蝕的速率，而且在整個(gè)加工過(guò)程中可能是一種限制因素,。半導(dǎo)體技術(shù)中的許多刻蝕工藝是在相當(dāng)緩慢并受速率控制的情況下進(jìn)行的,，這是因?yàn)楦采w在表面上有一污染層。因此,，刻蝕時(shí)受到反應(yīng)劑擴(kuò)散速率的限制,。污染層厚度常有幾微米，如果化學(xué)反應(yīng)有氣體逸出,，則此層就可能破裂,。濕法刻蝕工藝常常有反應(yīng)物產(chǎn)生，這種產(chǎn)物受溶液的溶解速率的限制,。為了使刻蝕速率提高,，常常使溶液攪動(dòng)，因?yàn)閿噭?dòng)增強(qiáng)了外擴(kuò)散效應(yīng),。多晶和非晶材料的刻蝕是各向異性的,。然而，結(jié)晶材料的刻蝕可能是各向同性,，也可能是各向異性的,，它取決于反應(yīng)動(dòng)力學(xué)的性質(zhì)。晶體材料的各向同性刻蝕常被稱作拋光刻蝕,，因?yàn)樗鼈儺a(chǎn)生平滑的表面,。各向異性刻蝕通常能顯示晶面，或者使晶體產(chǎn)生缺陷,。因此，可用于化學(xué)加工,，也可作為結(jié)晶刻蝕劑,。干法刻蝕優(yōu)點(diǎn)是：靈活性。嘉興納米刻蝕

深硅刻蝕是MEMS器件制作當(dāng)中一個(gè)比較重要的工藝,。深圳南山刻蝕技術(shù)

刻蝕工藝去除晶圓表面的特定區(qū)域,，是以沉積其它材料?！案煞ā保ǖ入x子）刻蝕用于形成電路,，而“濕法”刻蝕（使用化學(xué)浴）主要用于清潔晶圓,。干法刻蝕是半導(dǎo)體制造中較常用的工藝之一,。開(kāi)始刻蝕前,，晶圓上會(huì)涂上一層光刻膠或硬掩膜（通常是氧化物或氮化物），然后在光刻時(shí)將電路圖形曝光在晶圓上,?？涛g只去除曝光圖形上的材料。在芯片工藝中,，圖形化和刻蝕過(guò)程會(huì)重復(fù)進(jìn)行多次,，貴州深硅刻蝕材料刻蝕價(jià)錢(qián)，貴州深硅刻蝕材料刻蝕價(jià)錢(qián),。等離子刻蝕是將電磁能量（通常為射頻（RF））施加到含有化學(xué)反應(yīng)成分（如氟或氯）的氣體中實(shí)現(xiàn),。等離子會(huì)釋放帶正電的離子來(lái)撞擊晶圓以去除（刻蝕）材料，并和活性自由基產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),，與刻蝕的材料反應(yīng)形成揮發(fā)性或非揮發(fā)性的殘留物,。離子電荷會(huì)以垂直方向射入晶圓表面。這樣會(huì)形成近乎垂直的刻蝕形貌,，這種形貌是現(xiàn)今密集封裝芯片設(shè)計(jì)中制作細(xì)微特征所必需的,。深圳南山刻蝕技術(shù)

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所坐落于長(zhǎng)興路363號(hào)，是集設(shè)計(jì),、開(kāi)發(fā),、生產(chǎn)、銷(xiāo)售,、售后服務(wù)于一體,，電子元器件的服務(wù)型企業(yè)。公司在行業(yè)內(nèi)發(fā)展多年,，持續(xù)為用戶提供整套微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)的解決方案,。公司主要產(chǎn)品有微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)等，公司工程技術(shù)人員,、行政管理人員,、產(chǎn)品制造及售后服務(wù)人員均有多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。并與上下游企業(yè)保持密切的合作關(guān)系,。芯辰實(shí)驗(yàn)室,微納加工集中了一批經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)及管理專業(yè)人才,，能為客戶提供良好的售前、售中及售后服務(wù)，并能根據(jù)用戶需求,，定制產(chǎn)品和配套整體解決方案,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所以先進(jìn)工藝為基礎(chǔ)、以產(chǎn)品質(zhì)量為根本,、以技術(shù)創(chuàng)新為動(dòng)力,，開(kāi)發(fā)并推出多項(xiàng)具有競(jìng)爭(zhēng)力的微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)產(chǎn)品，確保了在微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)市場(chǎng)的優(yōu)勢(shì),。