真空鍍膜：電子束蒸發(fā)是真空蒸鍍的一種方式，它是在鎢絲蒸發(fā)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,。電子束是一種高速的電子流,。電子束蒸發(fā)是真空鍍膜技術(shù)中一種成熟且主要的鍍膜方法，它解決了電阻加熱方式中膜料與蒸鍍?cè)床牧现苯咏佑|容易互混的問(wèn)題,。電子束蒸發(fā)法是真空蒸發(fā)鍍膜的一種,，是在真空條件下利用電子束進(jìn)行直接加熱蒸發(fā)材料，使蒸發(fā)材料氣化并向基板輸運(yùn),，在基底上凝結(jié)形成薄膜的方法,。在電子束加熱裝置中，被加熱的物質(zhì)放置于水冷的坩堝中,，可避免蒸發(fā)材料與坩堝壁發(fā)生反應(yīng)影響薄膜的質(zhì)量,，因此，電子束蒸發(fā)沉積法可以制備高純薄膜,，同時(shí)在同一蒸發(fā)沉積裝置中可以安置多個(gè)坩堝,，實(shí)現(xiàn)同時(shí)或分別蒸發(fā)，沉積多種不同的物質(zhì),。通過(guò)電子束蒸發(fā),，任何材料都可以被蒸發(fā)。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時(shí)間(或決定于裝料量),，并與源和基片的距離有關(guān)。貴陽(yáng)真空鍍膜

真空鍍膜的方法：離子鍍：在機(jī)加工刀具方面,鍍制的TiN,、TiC以其硬度高,、耐磨性好,不粘刀等特性,使得刀具的使用壽命可提高3~10倍,生產(chǎn)效率也提高。在固體潤(rùn)滑膜方面,Z新研制的多相納米復(fù)合膜TiN-MoS2/Ti及TiN-MoS2/WSe2,這類薄膜具有摩擦系數(shù)低,摩擦噪聲小,抗潮濕氧化能力較高,高低溫性能好,抗粉塵磨損能力較強(qiáng)及磨損壽命較長(zhǎng)等特點(diǎn),被普遍運(yùn)用于車輛零部件上,。與此同時(shí),離子鍍鈦也在航空航天,光學(xué)器件等領(lǐng)域應(yīng)用普遍,收效顯著,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。貴陽(yáng)真空鍍膜真空鍍膜是在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來(lái)打到被鍍物體的表面上,。

蒸發(fā)法鍍膜是將固體材料置于真空室內(nèi),，在真空條件下，將固體材料加熱蒸發(fā),，蒸發(fā)出來(lái)的原子或分子能自由地彌布到容器的器壁上,。當(dāng)把一些加工好的基板材料放在其中時(shí),，蒸發(fā)出來(lái)的原子或分子就會(huì)吸附在基板上逐漸形成一層薄膜。根據(jù)蒸發(fā)源不同,，真空蒸發(fā)鍍膜法又可 以分為四種：電阻蒸發(fā)源蒸鍍法,；電子束蒸發(fā)源蒸鍍法；高頻感應(yīng)蒸發(fā)源蒸鍍法,；激光束蒸發(fā)源蒸鍍法,。本實(shí)驗(yàn)采用電阻蒸發(fā)源蒸鍍法制備金屬薄膜材料。蒸發(fā)鍍膜,，要求從蒸發(fā)源出來(lái)的蒸汽分子或原子,，到達(dá)被鍍膜基片的距離要小于鍍膜室內(nèi)殘余氣體分子的平均自由程，這樣才能保證蒸發(fā)物的蒸汽分子能無(wú)碰撞地到達(dá)基片表面,。保證薄膜純凈和牢固,，蒸發(fā)物也不至于氧化。

離子輔助鍍膜是在真空熱蒸發(fā)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種輔助鍍膜方法,。當(dāng)膜料蒸發(fā)時(shí),，淀積分子在基板表面不斷受到來(lái)自離子源的荷能離子的轟擊，通過(guò)動(dòng)量轉(zhuǎn)移,，使淀積粒子獲得較大動(dòng)能,，提高了淀積粒子的遷移率，從而使膜層聚集密度增加,，使得薄膜生長(zhǎng)發(fā)生了根本變化,，使薄膜性能得到了改善。常用的離子源有克夫曼離子源,、霍爾離子源,。霍爾離子源是近年發(fā)展起來(lái)的一種低能離子源,。這種源沒有柵極,，陰極在陽(yáng)極上方發(fā)出熱電子，在磁場(chǎng)作用下提高了電子碰撞工作氣體的幾率,，從而提高了電離效率,。正離子因陰極與陽(yáng)極間的電位差而被引出。離子能量一般很低（50-150eV）,，但離子流密度較高,，發(fā)散角大，維護(hù)容易,。真空鍍膜是將裝有基片的真空室抽成真空,然后加熱被蒸發(fā)的鍍料,。

真空鍍膜的方法：濺射鍍膜：在鋼材、鎳,、鈾,、金剛石表面鍍鈦金屬薄膜,提高了鋼材,、鈾、金剛石等材料的耐腐蝕性能,使得使用領(lǐng)域更加普遍;而鎂作為硬組織植入材料,在近年來(lái)投入臨床使用,當(dāng)在鎂表面鍍制一層鈦金屬薄膜,不僅加強(qiáng)了材料的耐蝕性,而且鈦生物體相容性好,比重小,、毒性低,、更易為人體所接受;在云母、硅片,、玻璃等材料上鍍上鈦金屬薄膜,研究其對(duì)電磁波的反射,、吸收、透射作用,對(duì)于高效太陽(yáng)能吸收,、電磁輻射,、噪音屏蔽吸收和凈化等領(lǐng)域具有重要意義。除此之外,磁控濺射作為一種非熱式鍍膜技術(shù),主要應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積(CVD)或金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)生長(zhǎng)困難及不適用的鈦薄膜沉積,可以獲得大面積非常均勻的薄膜,。包括歐姆接觸Ti金屬電極薄膜及可用于柵絕緣層或擴(kuò)散勢(shì)壘層的TiN,、TiO2等介質(zhì)薄膜沉積。在現(xiàn)代機(jī)械加工工業(yè)中,濺鍍包括Ti金屬,、TiAl6V4合金,、TiN、TiAlN,、TiC,、TiCN、TiAlOX,、TiB2,、等超硬材料,能有效的提高表面硬度、復(fù)合韌性,、耐磨損性和抗高溫化學(xué)穩(wěn)定性能,從而大幅度地提高涂層產(chǎn)品的使用壽命,應(yīng)用越來(lái)越普遍,。真空鍍膜機(jī)壓鑄技術(shù)用于生產(chǎn)鋁、鎂,、鋅,、銅基合金鑄件，在機(jī)械制造行業(yè)應(yīng)用已有多年的歷史,。貴陽(yáng)真空鍍膜

觀察窗的玻璃較好用鉛玻璃,，觀察時(shí)應(yīng)戴上鉛玻璃眼鏡，以防X射線侵害人體,。貴陽(yáng)真空鍍膜

磁控濺射由于其優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用日趨增長(zhǎng),成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中主要的技術(shù)之一,相應(yīng)的濺射技術(shù)與也取得了進(jìn)一步的發(fā)展。非平衡磁控濺射改善了沉積室內(nèi)等離子體的分布,提高了膜層質(zhì)量;中頻和脈沖磁控濺射可有效避免反應(yīng)濺射時(shí)的遲滯現(xiàn)象,消除靶中毒和打弧問(wèn)題,提高制備化合物薄膜的穩(wěn)定性和沉積速率;改進(jìn)的磁控濺射靶的設(shè)計(jì)可獲得較高的靶材利用率;高速濺射和自濺射為濺射鍍膜技術(shù)開辟了新的應(yīng)用領(lǐng)域,，具有誘人的成膜效率和經(jīng)濟(jì)效益,，實(shí)驗(yàn)簡(jiǎn)單方便。貴陽(yáng)真空鍍膜