在二極濺射中增加一個平行于靶表面的封閉磁場，借助于靶表面上形成的正交電磁場,，把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域來增強電離效率,，增加離子密度和能量，從而實現(xiàn)高速率濺射的過程,。隨著碰撞次數(shù)的增加,，二次電子的能量消耗殆盡，逐漸遠離靶表面,，并在電場E的作用下沉積在基片上,。由于該電子的能量很低，傳遞給基片的能量很小,，致使基片溫升較低,。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復雜的散射過程,，和靶原子碰撞,，把部分動量傳給靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞,，形成級聯(lián)過程,。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量，離開靶被濺射出來,。真空鍍膜中離子鍍的鍍層棱面和凹槽都可均勻鍍復,，不致形成金屬瘤。ITO鍍膜真空鍍膜技術(shù)

常用的薄膜制備方式主要有兩種,，其中一種是物理法氣相沉積（PVD）,，PVD的方法有磁控濺射鍍膜,、電子束蒸發(fā)鍍膜、熱阻蒸發(fā)等,。另一種是化學法氣相沉積（CVD）,，主要有常壓CVD、LPCVD（低壓沉積法）,、PECVD（等離子體增強沉積法）等方法,。真空鍍膜的工藝流程：真空鍍膜的工藝流程一般依次為：前處理及化學清洗（材料進行有機清洗和無機清洗）→襯底真空中烘烤加熱→等離子體清洗→金屬離子轟擊→鍍金屬過渡層→鍍膜（通入反應(yīng)氣體）。東莞叉指電極真空鍍膜真空鍍膜技術(shù)有真空離子鍍膜,。

真空鍍膜的物理過程：PVD（物理的氣相沉積技術(shù)）的基本原理可分為三個工藝步驟：（1）金屬顆粒的氣化：即鍍料的蒸發(fā),、升華或被濺射從而形成氣化源（2）鍍料粒子（（原子、分子或離子）的遷移：由氣化源供出原子,、分子或離子經(jīng)過碰撞,，產(chǎn)生多種反應(yīng)。（3）鍍料粒子在基片表面的沉積,。熱蒸發(fā)主要是三個過程：1.蒸發(fā)材料從固態(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)的過程,。2.氣化原子或分子在蒸發(fā)源與基底之間的運輸 3.蒸發(fā)原子或分子在襯底表面上淀積過程，即是蒸汽凝聚,、成核,、核生長、形成連續(xù)薄膜的過程,。

真空鍍膜的方法：離子鍍：在機加工刀具方面,鍍制的TiN,、TiC以其硬度高、耐磨性好,不粘刀等特性,使得刀具的使用壽命可提高3~10倍,生產(chǎn)效率也提高,。在固體潤滑膜方面,Z新研制的多相納米復合膜TiN-MoS2/Ti及TiN-MoS2/WSe2,這類薄膜具有摩擦系數(shù)低,摩擦噪聲小,抗潮濕氧化能力較高,高低溫性能好,抗粉塵磨損能力較強及磨損壽命較長等特點,被普遍運用于車輛零部件上,。與此同時,離子鍍鈦也在航空航天,光學器件等領(lǐng)域應(yīng)用普遍,收效顯著。廣東省科學院半導體研究所,。真空鍍膜機真空壓鑄是一項可供鈦鑄件生產(chǎn)廠選用,，真空鍍膜機能提高鑄件質(zhì)量，降低成本的技術(shù),。

真空鍍膜的方法很多,，計有：真空蒸鍍：將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室，抽空后將膜料加熱到高溫,，使蒸氣達到約13,。3Pa而使蒸氣分子飛到基體表面，凝結(jié)而成薄膜,。陰極濺射鍍：將需鍍膜的基體放在陰極對面,，把惰性氣體(如氬)通入已抽空的室內(nèi)，保持壓強約1,。33～13,。3Pa,，然后將陰極接上2000V的直流電源，便激發(fā)輝光放電,，帶正電的氬離子撞擊陰極,，使其射出原子，濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基體上形成膜,?；瘜W氣相沉積：通過熱分解所選定的金屬化合物或有機化合物，獲得沉積薄膜的過程,。離子鍍：實質(zhì)上離子鍍系真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機結(jié)合,，兼有兩者的工藝特點。真空鍍膜鍍料離子的遷移：由氣化源供出原子,、分子或離子經(jīng)過碰撞以及高壓電場后，高速沖向工件,。吉林等離子體增強氣相沉積真空鍍膜

真空鍍膜在鋼材,、鎳、鈾,、金剛石表面鍍鈦金屬薄膜,提高了鋼材,、鈾、金剛石等材料的耐腐蝕性能,。ITO鍍膜真空鍍膜技術(shù)

真空鍍膜：真空涂層技術(shù)的發(fā)展：真空涂層技術(shù)起步時間不長,，國際上在上世紀六十年代才出現(xiàn)將CVD（化學氣相沉積）技術(shù)應(yīng)用于硬質(zhì)合金刀具上。由于該技術(shù)需在高溫下進行（工藝溫度高于1000oC）,，涂層種類單一,，局限性很大，起初并未得到推廣,。到了上世紀七十年代末,，開始出現(xiàn)PVD（物理的氣相沉積）技術(shù)，之后在短短的二,、三十年間PVD涂層技術(shù)得到迅猛發(fā)展,，究其原因：其在真空密封的腔體內(nèi)成膜，幾乎無任何環(huán)境污染問題,，有利于環(huán)保,；其能得到光亮、華貴的表面,，在顏色上,，成熟的有七彩色、銀色,、透明色,、金黃色,、黑色、以及由金黃色到黑色之間的任何一種顏色,，能夠滿足裝飾性的各種需要,；可以輕松得到其他方法難以獲得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂層,、復合涂層,，應(yīng)用在工裝、模具上面,，可以使壽命成倍提高,，較好地實現(xiàn)了低成本、收益的效果,；此外,，PVD涂層技術(shù)具有低溫、高能兩個特點,，幾乎可以在任何基材上成膜,，因此，應(yīng)用范圍十分廣闊,，其發(fā)展神速也就不足為奇,。ITO鍍膜真空鍍膜技術(shù)