真空鍍膜的方法：濺射鍍膜：在鋼材、鎳,、鈾、金剛石表面鍍鈦金屬薄膜,提高了鋼材,、鈾,、金剛石等材料的耐腐蝕性能,使得使用領(lǐng)域更加普遍;而鎂作為硬組織植入材料,在近年來投入臨床使用,當(dāng)在鎂表面鍍制一層鈦金屬薄膜,不僅加強(qiáng)了材料的耐蝕性,而且鈦生物體相容性好,比重小、毒性低,、更易為人體所接受;在云母,、硅片、玻璃等材料上鍍上鈦金屬薄膜,研究其對電磁波的反射,、吸收,、透射作用,對于高效太陽能吸收、電磁輻射,、噪音屏蔽吸收和凈化等領(lǐng)域具有重要意義,。除此之外,磁控濺射作為一種非熱式鍍膜技術(shù),主要應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積(CVD)或金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)生長困難及不適用的鈦薄膜沉積,可以獲得大面積非常均勻的薄膜。包括歐姆接觸Ti金屬電極薄膜及可用于柵絕緣層或擴(kuò)散勢壘層的TiN,、TiO2等介質(zhì)薄膜沉積,。在現(xiàn)代機(jī)械加工工業(yè)中,濺鍍包括Ti金屬、TiAl6V4合金,、TiN,、TiAlN、TiC,、TiCN,、TiAlOX、TiB2,、等超硬材料,能有效的提高表面硬度,、復(fù)合韌性,、耐磨損性和抗高溫化學(xué)穩(wěn)定性能,從而大幅度地提高涂層產(chǎn)品的使用壽命,應(yīng)用越來越普遍。真空鍍膜鍍的薄膜與基體結(jié)合強(qiáng)度好,，薄膜牢固,。揭陽真空鍍膜

真空鍍膜：磁控濺射法：濺射鍍膜較初出現(xiàn)的是簡單的直流二極濺射，它的優(yōu)點是裝置簡單,，但是直流二極濺射沉積速率低,；為了保持自持放電，不能在低氣壓(<0,。1Pa)下進(jìn)行,；不能濺射絕緣材料等缺點限制了其應(yīng)用。磁控濺射是由二極濺射基礎(chǔ)上發(fā)展而來,，在靶材表面建立與電場正交磁場,，解決了二極濺射沉積速率低，等離子體離化率低等問題,，成為目前鍍膜工業(yè)主要方法之一,。磁控濺射與其它鍍膜技術(shù)相比具有如下特點：可制備成靶的材料廣，幾乎所有金屬,，合金和陶瓷材料都可以制成靶材,；在適當(dāng)條件下多元靶材共濺射方式，可沉積配比精確恒定的合金,；在濺射的放電氣氛中加入氧,、氮或其它活性氣體，可沉積形成靶材物質(zhì)與氣體分子的化合物薄膜,；通過精確地控制濺射鍍膜過程,，容易獲得均勻的高精度的膜厚；通過離子濺射靶材料物質(zhì)由固態(tài)直接轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子態(tài),，濺射靶的安裝不受限制,，適合于大容積鍍膜室多靶布置設(shè)計；濺射鍍膜速度快,，膜層致密,，附著性好等特點，很適合于大批量,，高效率工業(yè)生產(chǎn),。近年來磁控濺射技術(shù)發(fā)展很快，具有代表性的方法有射頻濺射,、反應(yīng)磁控濺射,、非平衡磁控濺射、脈沖磁控濺射,、高速濺射等,。揭陽真空鍍膜真空鍍膜鍍的薄膜純度高。

真空鍍膜：物理的氣相沉積技術(shù)是指在真空條件下采用物理方法將材料源（固體或液體）表面氣化成氣態(tài)原子或分子,，或部分電離成離子,，并通過低壓氣體（或等離子體）過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù),，物理的氣相沉積是主要的表面處理技術(shù)之一,。PVD(物理的氣相沉積)鍍膜技術(shù)主要分為三類：真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜,。物理的氣相沉積的主要方法有：真空蒸鍍,、濺射鍍膜、電弧等離子體鍍,、離子鍍膜和分子束外延等,。相應(yīng)的真空鍍膜設(shè)備包括真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)、真空濺射鍍膜機(jī)和真空離子鍍膜機(jī),。

真空鍍膜：濺射鍍膜：濺射鍍膜是指在真空條件下,，利用獲得功能的粒子（如氬離子）轟擊靶材料表面，使靶材表面原子獲得足夠的能量而逃逸的過程稱為濺射,。在真空條件下充入氬氣(Ar),，并在高電壓下使氬氣進(jìn)行輝光放電，可使氬(Ar)原子電離成氬離子(Ar+),。氬離子在電場力的作用下,，加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材，靶材會被濺射出來而沉積到工件表面,。被濺射的靶材沉積到基材表面,，就稱作濺射鍍膜。濺射鍍膜中的入射離子,，一般采用輝光放電獲得,，在10-2Pa～10Pa范圍。真空鍍膜機(jī)電磁閥是由電磁線圈和磁芯組成,，是包含一個或幾個孔的閥體,。

真空鍍膜：真空涂層技術(shù)的發(fā)展：真空涂層技術(shù)起步時間不長，國際上在上世紀(jì)六十年代才出現(xiàn)將CVD（化學(xué)氣相沉積）技術(shù)應(yīng)用于硬質(zhì)合金刀具上,。由于該技術(shù)需在高溫下進(jìn)行（工藝溫度高于1000oC）,，涂層種類單一，局限性很大,，起初并未得到推廣,。到了上世紀(jì)七十年代末，開始出現(xiàn)PVD（物理的氣相沉積）技術(shù),，之后在短短的二,、三十年間PVD涂層技術(shù)得到迅猛發(fā)展,，究其原因：其在真空密封的腔體內(nèi)成膜，幾乎無任何環(huán)境污染問題,，有利于環(huán)保,；其能得到光亮、華貴的表面,，在顏色上,，成熟的有七彩色、銀色,、透明色,、金黃色、黑色,、以及由金黃色到黑色之間的任何一種顏色,，能夠滿足裝飾性的各種需要；可以輕松得到其他方法難以獲得的高硬度,、高耐磨性的陶瓷涂層,、復(fù)合涂層，應(yīng)用在工裝,、模具上面,，可以使壽命成倍提高，較好地實現(xiàn)了低成本,、收益的效果,；此外，PVD涂層技術(shù)具有低溫,、高能兩個特點,，幾乎可以在任何基材上成膜，因此,，應(yīng)用范圍十分廣闊,，其發(fā)展神速也就不足為奇。只要鍍上一層真空鍍膜,，就能使材料具有許多新的,、良好的物理和化學(xué)性能。蘇州真空鍍膜儀

真空鍍膜鍍料離子的遷移：由氣化源供出原子,、分子或離子經(jīng)過碰撞以及高壓電場后,，高速沖向工件。揭陽真空鍍膜

電子束蒸發(fā)是目前真空鍍膜技術(shù)中一種成熟且主要的鍍膜方法,，它解決了電阻加熱方式中鎢舟材料與蒸鍍源材料直接接觸容易互混的問題,。同時在同一蒸發(fā)沉積裝置中可以安置多個坩堝，實現(xiàn)同時或分別蒸發(fā)，沉積多種不同的物質(zhì),。通過電子束蒸發(fā),，任何材料都可以被蒸發(fā)，不同材料需要采用不同類型的坩堝以獲得所要達(dá)到的蒸發(fā)速率,。在高真空下,，電子燈絲加熱后發(fā)射熱電子,，被加速陽極加速,，獲得很大的動能轟擊到的蒸發(fā)材料上，把動能轉(zhuǎn)化成熱使蒸發(fā)材料加熱氣化,，而實現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜,。電子束蒸發(fā)源由發(fā)射電子的熱陰極、電子加速極和作為陽極的鍍膜材料組成,。電子束蒸發(fā)源的能量可高度集中,，使鍍膜材料局部達(dá)到高溫而蒸發(fā)。通過調(diào)節(jié)電子束的功率,，可以方便的控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率,，特別是有利于高熔點以及高純金屬和化合物材料。揭陽真空鍍膜