刻蝕技術(shù),，是在半導(dǎo)體工藝,，按照掩模圖形或設(shè)計要求對半導(dǎo)體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性腐蝕或剝離的技術(shù),。刻蝕技術(shù)不僅是半導(dǎo)體器件和集成電路的基本制造工藝,，而且還應(yīng)用于薄膜電路,、印刷電路和其他微細圖形的加工?？涛g還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕,。普通的刻蝕過程大致如下：先在表面涂敷一層光致抗蝕劑，然后透過掩模對抗蝕劑層進行選擇性曝光,，由于抗蝕劑層的已曝光部分和未曝光部分在顯影液中溶解速度不同,，經(jīng)過顯影后在襯底表面留下了抗蝕劑圖形，以此為掩模就可對襯底表面進行選擇性腐蝕,。如果襯底表面存在介質(zhì)或金屬層,，則選擇腐蝕以后，圖形就轉(zhuǎn)移到介質(zhì)或金屬層上,。材料刻蝕技術(shù)可以用于制造微型傳感器和生物芯片等微型器件,。鎳刻蝕

材料刻蝕是一種重要的微納加工技術(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光電子,、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。在材料刻蝕過程中,，影響刻蝕效果的關(guān)鍵參數(shù)主要包括以下幾個方面：1.刻蝕氣體：刻蝕氣體的種類和流量對刻蝕速率和表面質(zhì)量有很大影響。常用的刻蝕氣體有氧氣,、氟化氫,、氬氣等。2.刻蝕時間：刻蝕時間是影響刻蝕深度的重要參數(shù),，通常需要根據(jù)需要的刻蝕深度來確定刻蝕時間,。3.刻蝕溫度：刻蝕溫度對刻蝕速率和表面質(zhì)量也有很大影響。通常情況下,，刻蝕溫度越高,，刻蝕速率越快，但同時也容易引起表面粗糙度增加和表面質(zhì)量下降,。4.刻蝕壓力：刻蝕壓力對刻蝕速率和表面質(zhì)量也有影響,。通常情況下，刻蝕壓力越大,，刻蝕速率越快,，但同時也容易引起表面粗糙度增加和表面質(zhì)量下降。5.掩膜材料和厚度：掩膜材料和厚度對刻蝕深度和形狀有很大影響,。通常情況下,，掩膜材料需要選擇與被刻蝕材料有較大的選擇性,，掩膜厚度也需要根據(jù)需要的刻蝕深度來確定?？傊?，材料刻蝕中的關(guān)鍵參數(shù)是多方面的，需要根據(jù)具體的刻蝕需求來確定,。在實際應(yīng)用中,，需要對這些參數(shù)進行綜合考慮，以獲得更佳的刻蝕效果,。干法刻蝕刻蝕技術(shù)可以實現(xiàn)對材料的微納加工,，從而制造出具有特定性能的材料。

選擇比指的是在同一刻蝕條件下一種材料與另一種材料相比刻蝕速率快很多,，它定義為被刻蝕材料的刻蝕速率與另一種材料的刻蝕速率的比,。基本內(nèi)容：高選擇比意味著只刻除想要刻去的那一層材料,。一個高選擇比的刻蝕工藝不刻蝕下面一層材料（刻蝕到恰當?shù)纳疃葧r停止）并且保護的光刻膠也未被刻蝕,。圖形幾何尺寸的縮小要求減薄光刻膠厚度。高選擇比在較先進的工藝中為了確保關(guān)鍵尺寸和剖面控制是必需的,。特別是關(guān)鍵尺寸越小,，選擇比要求越高?？涛g較簡單較常用分類是：干法刻蝕和濕法刻蝕,。

材料刻蝕是一種重要的微納加工技術(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光電子,、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域?？涛g工藝參數(shù)的選擇對于刻蝕質(zhì)量和效率具有重要影響,，下面是一些常見的刻蝕工藝參數(shù)：1.刻蝕氣體：刻蝕氣體的選擇取決于材料的性質(zhì)和刻蝕目的。例如,，氧氣可以用于氧化硅等材料的濕法刻蝕,，而氟化氫可以用于硅等材料的干法刻蝕。2.刻蝕時間：刻蝕時間是控制刻蝕深度的重要參數(shù),?？涛g時間過長會導(dǎo)致表面粗糙度增加，而刻蝕時間過短則無法達到所需的刻蝕深度,。3.刻蝕功率：刻蝕功率是控制刻蝕速率的參數(shù),。刻蝕功率過高會導(dǎo)致材料表面受損,，而刻蝕功率過低則無法滿足所需的刻蝕速率,。4.溫度：溫度對于刻蝕過程中的化學(xué)反應(yīng)和物理過程都有影響,。通常情況下,，提高溫度可以增加刻蝕速率,，但過高的溫度會導(dǎo)致材料燒蝕。5.壓力：壓力對于刻蝕氣體的輸送和擴散有影響,。通常情況下,，增加壓力可以提高刻蝕速率，但過高的壓力會導(dǎo)致刻蝕不均勻,。6.氣體流量：氣體流量對于刻蝕氣體的輸送和擴散有影響,。通常情況下，增加氣體流量可以提高刻蝕速率,，但過高的氣體流量會導(dǎo)致刻蝕不均勻,。刻蝕技術(shù)可以通過控制刻蝕速率和深度來實現(xiàn)對材料的精確加工,。

干刻蝕是一類較新型,，但迅速為半導(dǎo)體工業(yè)所采用的技術(shù)。其利用電漿(plasma)來進行半導(dǎo)體薄膜材料的刻蝕加工,。其中電漿必須在真空度約10至0.001Torr的環(huán)境下,，才有可能被激發(fā)出來；而干刻蝕采用的氣體,，或轟擊質(zhì)量頗巨,，或化學(xué)活性極高，均能達成刻蝕的目的,。干刻蝕基本上包括離子轟擊與化學(xué)反應(yīng)兩部份刻蝕機制,。偏「離子轟擊」效應(yīng)者使用氬氣(argon)，加工出來之邊緣側(cè)向侵蝕現(xiàn)象極微,。而偏化學(xué)反應(yīng)效應(yīng)者則采氟系或氯系氣體(如四氟化碳CF4)，經(jīng)激發(fā)出來的電漿,，即帶有氟或氯之離子團,，可快速與芯片表面材質(zhì)反應(yīng)。刪轎厚干刻蝕法可直接利用光阻作刻蝕之阻絕遮幕,，不必另行成長阻絕遮幕之半導(dǎo)體材料,。而其較重要的優(yōu)點，能兼顧邊緣側(cè)向侵蝕現(xiàn)象極微與高刻蝕率兩種優(yōu)點,，換言之,，本技術(shù)中所謂活性離子刻蝕已足敷頁堡局滲次微米線寬制程技術(shù)的要求，而正被大量使用,?？涛g技術(shù)可以實現(xiàn)微納加工中的多層結(jié)構(gòu)制備,，如光子晶體、微透鏡等,。北京半導(dǎo)體材料刻蝕外協(xié)

物理刻蝕是利用物理過程來剝離材料表面的方法,，適用于硬質(zhì)材料。鎳刻蝕

等離子刻蝕是將電磁能量施加到含有化學(xué)反應(yīng)成分（如氟或氯）的氣體中實現(xiàn),。等離子會釋放帶正電的離子來撞擊晶圓以去除（刻蝕）材料,，并和活性自由基產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，與刻蝕的材料反應(yīng)形成揮發(fā)性或非揮發(fā)性的殘留物,。離子電荷會以垂直方向射入晶圓表面,。這樣會形成近乎垂直的刻蝕形貌，這種形貌是現(xiàn)今密集封裝芯片設(shè)計中制作細微特征所必需的,。一般而言,，高蝕速率（在一定時間內(nèi)去除的材料量）都會受到歡迎。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）的目標是在物理刻蝕和化學(xué)刻蝕之間達到較佳平衡,，使物理撞擊（刻蝕率）強度足以去除必要的材料,，同時適當?shù)幕瘜W(xué)反應(yīng)能形成易于排出的揮發(fā)性殘留物或在剩余物上形成保護性沉積。采用磁場增強的RIE工藝,，通過增加離子密度而不增加離子能量（可能會損失晶圓）的方式,，改進了處理過程。鎳刻蝕