微納加工技術(shù)的特點(diǎn)：（1）微電子化：采用MEMS工藝，可以把不同功能,、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體,，或形成微傳感陣列、微執(zhí)行器陣列甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性,、穩(wěn)定性比較高的微電子機(jī)械系統(tǒng)。（2）MEMS技術(shù)適合批量生產(chǎn)：用硅微加工工藝在同一硅片上同時(shí)可制造出成百上千微型機(jī)電裝置或完整的MEMS,，批量生產(chǎn)可較大降低生產(chǎn)成本,。（3）多學(xué)科交叉：MEMS涉及電子、機(jī)械,、材料,、制造、信息與自動(dòng)控制,、物理,、化學(xué)和生物等多學(xué)科，并集約當(dāng)今科學(xué)發(fā)展的許多成果,。微納加工平臺(tái),，主要是兩個(gè)方面：微納加工、微納檢測(cè),。江蘇微納加工工藝

微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米,、微米和納米量級(jí)元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)、加工,、組裝,、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù)，涉及領(lǐng)域廣,、多學(xué)科交叉融合，其較主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)（MEMS）,。微納器件與系統(tǒng)是在集成電路制作上發(fā)展的系列**技術(shù),，研制微型傳感器,、微型執(zhí)行器等器件和系統(tǒng)，具有微型化,、批量化,、成本低的鮮明特點(diǎn)，微納加工技術(shù)對(duì)現(xiàn)代的生活,、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進(jìn)作用,，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè)。在Si片上形成具有垂直側(cè)壁的高深寬比溝槽結(jié)構(gòu)是制備先進(jìn)MEMS器件的關(guān)鍵工藝,，其各向異性刻蝕要求非常嚴(yán)格,。高深寬比的干法刻蝕技術(shù)以其刻蝕速率快、各向異性較強(qiáng),、污染少等優(yōu)點(diǎn)脫穎而出,，成為MEMS器件加工的關(guān)鍵技術(shù)之一。遼寧光電器件微納加工服務(wù)價(jià)格濕法刻蝕較普遍,、也是成本較低的刻蝕方法,。

微納制造技術(shù)的發(fā)展，同樣涉及到科研體系問題,。嚴(yán)格意義上來說,，科研分為三個(gè)領(lǐng)域，一個(gè)是基礎(chǔ)研究領(lǐng)域,，一個(gè)是工程化應(yīng)用領(lǐng)域,，一個(gè)是市場(chǎng)推廣領(lǐng)域。在發(fā)達(dá)國家的科研機(jī)制中,。幾乎所有的基礎(chǔ)研究領(lǐng)域都是由國家或機(jī)構(gòu)直接或間接支持的,。這種基礎(chǔ)研究較看重的是對(duì)于國家、民生或**的長遠(yuǎn)意義．而不是短期內(nèi)的投入與產(chǎn)出,。因而致力于基礎(chǔ)研究的機(jī)構(gòu)或者人員,。根本不用考慮研究的所謂“市場(chǎng)化”問題。而只是進(jìn)行基礎(chǔ),、理論的研究,。另一方面。工程化應(yīng)用領(lǐng)域由專門的機(jī)構(gòu)或職能部門負(fù)責(zé),，這些部門從應(yīng)用領(lǐng)域,、生產(chǎn)領(lǐng)域、制造領(lǐng)域抽調(diào)**,、學(xué)者及相關(guān)專業(yè)人員,，對(duì)基礎(chǔ)研究的市場(chǎng)應(yīng)用前景進(jìn)行分析，并提出可行性建議,，末尾由市場(chǎng)或企業(yè)來進(jìn)行工程化應(yīng)用研究,。末尾市場(chǎng)化推廣的問題自然是企業(yè)來做了,。中國的高校和研究機(jī)構(gòu)，做純理念和純基礎(chǔ)的并不多,，中國大多是工程性項(xiàng)目研究,。其理想模式為高校、研究所,、企業(yè)三結(jié)合狀態(tài),，各司其職，各負(fù)其責(zé),。微納技術(shù)是繼JT,、生物之后。21世紀(jì)較具發(fā)展?jié)摿Φ母咝录夹g(shù),，是未來十年高增長的新興產(chǎn)業(yè),。

微納測(cè)試與表征技術(shù)是微納加工技術(shù)的基礎(chǔ)與前提，它包括在微納器件的設(shè)計(jì),、制造和系統(tǒng)集成過程中,，對(duì)各種參量進(jìn)行微米/納米檢測(cè)的技術(shù)。微米測(cè)量主要服務(wù)于精密制造和微加工技術(shù),，目標(biāo)是獲得微米級(jí)測(cè)量精度,，或表征微結(jié)構(gòu)的幾何、機(jī)械及力學(xué)特性,；納米測(cè)量則主要服務(wù)于材料工程和納米科學(xué),，特別是納米材料，目標(biāo)是獲得材料的結(jié)構(gòu),、地貌和成分的信息,。在半導(dǎo)體領(lǐng)域人們所關(guān)心的與尺寸測(cè)量有關(guān)的參數(shù)主要包括：特征尺寸或線寬、重合度,、薄膜的厚度和表面的糙度等等,。未來，微納測(cè)試與表征技術(shù)正朝著從二維到三維,、從表面到內(nèi)部,、從靜態(tài)到動(dòng)態(tài)、從單參量到多參量耦合,、從封裝前到封裝后的方向發(fā)展,。探索新的測(cè)量原理、測(cè)試方法和表征技術(shù),，發(fā)展微納加工及制造實(shí)時(shí)在線測(cè)試方法和微納器件質(zhì)量快速檢測(cè)系統(tǒng)已成為了微納測(cè)試與表征的主要發(fā)展趨勢(shì),。新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足的要求：具有微納特性的組件的小型化連續(xù)生產(chǎn)。

眾所周知，微納米技術(shù)是我國貫徹落實(shí)“中國制造2025”和“中國創(chuàng)新2030”的重要舉措與中心技術(shù)需求,，是促進(jìn)制造業(yè)高級(jí)化,、綠色化、智能化的重要基礎(chǔ),。基于物體微米,、納米尺度獨(dú)特的物理和化學(xué)特性,，研制新材料、新工藝,、新器件的微納制造技術(shù),，已經(jīng)成為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)中心技術(shù)，必將對(duì)21世紀(jì)的航空,、航天,、信息科學(xué)、生命科學(xué)和健康保健,、汽車工業(yè),、仿生機(jī)器人、交通,、家具生活等領(lǐng)域產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響,。推進(jìn)微納制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)化落地，探討產(chǎn)業(yè)化路徑,，遴選優(yōu)良產(chǎn)業(yè)化示范項(xiàng)目,。高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)具有比較高的曝光精度，但這兩種方法制作效率極低,。安徽半導(dǎo)體微納加工實(shí)驗(yàn)室

微納加工設(shè)備主要有：光刻,、刻蝕、成膜,、離子注入,、晶圓鍵合等。江蘇微納加工工藝

微納加工技術(shù)具有高精度,、科技含量高,、產(chǎn)品附加值高等特點(diǎn)，能突顯一個(gè)國家工業(yè)發(fā)展水平,，在推動(dòng)科技進(jìn)步,、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展、提升生活品質(zhì)等方面都發(fā)揮著重要作用,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái),，是國內(nèi)少數(shù)擁有完整半導(dǎo)體工藝鏈的研究平臺(tái)之一，可進(jìn)行鍍膜、光刻,、刻蝕等工藝,，加工尺寸覆蓋2-6英寸。微納加工平臺(tái)將面向國內(nèi)外科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)提供較全的開放服務(wù),，對(duì)半導(dǎo)體材料與器件的深入研發(fā)給予較全支持,，能夠?yàn)閺V大科研單位和企業(yè)提供***服務(wù)。江蘇微納加工工藝