21世紀(jì)，人們?nèi)詴?huì)不斷追求條件更好且可負(fù)擔(dān)的醫(yī)療保健服務(wù),、更高的生活品質(zhì)和質(zhì)量更好的日用消費(fèi)品,，并竭力應(yīng)對(duì)由能源成本上漲和資源枯竭所帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)等“巨大挑戰(zhàn)”,。它們也是采用創(chuàng)新體系的商品擴(kuò)大市場(chǎng)的推動(dòng)力。微納制造技術(shù)過(guò)去和現(xiàn)在一直都被認(rèn)為在解決上述挑戰(zhàn)方面大有用武之地,。環(huán)境——采用更少的能源與原材料,。從短期來(lái)看，微納制造技術(shù)不會(huì)對(duì)環(huán)境和能源成本產(chǎn)生重大的影響,。受到當(dāng)前加工技術(shù)的限制,，這些技術(shù)在早期的發(fā)展階段往往會(huì)有較高的能源成本。與此同時(shí),，微納制造一旦成熟,，將會(huì)消耗更少的能源與資源，就此而言,，微納制造無(wú)疑是一項(xiàng)令人振奮的技術(shù),。例如，與去除邊角料獲得較終產(chǎn)品不同的是,，微納制造采用的積層法將會(huì)使得廢料更少,。隨著創(chuàng)新型納米制造技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)在對(duì)化石燃料的依存度已經(jīng)開(kāi)始下降了,，二氧化碳的排放也隨之降低,，大氣中氮氧化物和硫氧化物的濃度也減少了,。微納加工技術(shù)的特點(diǎn)MEMS技術(shù)適合批量生產(chǎn)。MEMS微納加工技術(shù)

微納制造的加工材料多種多樣,，相對(duì)金屬材料與硅和玻璃等無(wú)機(jī)材料而言,，聚合物基材廉價(jià)易得且具有更好的生物兼容性、電絕緣隔離性,、熱隔離性等性能,。近年來(lái)，基于聚合物的微加工制造技術(shù)已成為微細(xì)加工中的又一研究熱點(diǎn),。大量學(xué)者對(duì)基于聚合物的微加工技術(shù)如微注射成型技術(shù),、微鑄造技術(shù)及微壓印技術(shù)進(jìn)行了深入的研究。由于聚合物材料提供了相當(dāng)普遍的物理及化學(xué)性質(zhì),，同時(shí)具有成本低及適用于大批量制造等眾多優(yōu)點(diǎn),，因而隨著微納米技術(shù)的不斷發(fā)展，聚合物材料在光學(xué),、化學(xué),、生物及微機(jī)電領(lǐng)域中獲得了越來(lái)越普遍的應(yīng)用，不同微納結(jié)構(gòu)制品具有不同的性能與應(yīng)用場(chǎng)合,。安徽光電器件微納加工公司微機(jī)電系統(tǒng),、微光電系統(tǒng)、生物微機(jī)電系統(tǒng)等是微納米技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域,。

微納加工技術(shù)的特點(diǎn)：（1）微型化：MEMS體積?。ㄐ酒奶卣鞒叽鐬榧{米/微米級(jí)）、微納結(jié)構(gòu)器件研發(fā)質(zhì)量輕,、功耗低,、慣性小、諧振頻率高,、響應(yīng)時(shí)間短,。例如，一個(gè)壓力成像器的微系統(tǒng),，含有1024個(gè)微型壓力傳感器,，整個(gè)膜片尺寸*為10mm×10mm，每個(gè)壓力芯片尺寸為50μm×50μm,。（2）多樣化：MEMS包含有數(shù)字接口,、自檢、自調(diào)整和總線兼容等功能,，具備在網(wǎng)絡(luò)中應(yīng)用的基本條件,，具有標(biāo)準(zhǔn)的輸出，便于與系統(tǒng)集成在一起,，而且能按照需求,，靈活地設(shè)計(jì)制造更多化的MEMS,。

Mems加工工藝和微納加工大體上都是一樣的，只是表述不一樣而已,，MEMS即是微機(jī)械電子系統(tǒng),，大多時(shí)候等同于微納系統(tǒng)是根據(jù)產(chǎn)品需要，在各類襯底（硅襯底,，玻璃襯底,，石英襯底，藍(lán)寶石襯底等等）制作微米級(jí)微型結(jié)構(gòu)的加工工藝,。微納傳感器加工工藝制作的微型結(jié)構(gòu)主要是作為各類傳感器和執(zhí)行器等,，其中更加器件原理需要而制作的可動(dòng)結(jié)構(gòu)（齒輪，懸臂梁,，空腔,，橋結(jié)構(gòu)等等）以及各種功能材料，本質(zhì)上是將環(huán)境中的各種特征參數(shù)（溫度,，壓力，氣體,，流量等等）變化通過(guò)微型結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)化為各種電信號(hào)（電壓,，電阻，電流等等）的差異,，以實(shí)現(xiàn)小型化高靈敏的傳感器和執(zhí)行器,。微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米、微米和納米量級(jí)元件的優(yōu)化設(shè)計(jì),、加工,、組裝、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù),。

微納制造技術(shù)的發(fā)展,，同樣涉及到科研體系問(wèn)題。嚴(yán)格意義上來(lái)說(shuō),，科研分為三個(gè)領(lǐng)域,，一個(gè)是基礎(chǔ)研究領(lǐng)域，一個(gè)是工程化應(yīng)用領(lǐng)域,，一個(gè)是市場(chǎng)推廣領(lǐng)域,。在發(fā)達(dá)國(guó)家的科研機(jī)制中。幾乎所有的基礎(chǔ)研究領(lǐng)域都是由國(guó)家或機(jī)構(gòu)直接或間接支持的,。這種基礎(chǔ)研究較看重的是對(duì)于國(guó)家,、民生或**的長(zhǎng)遠(yuǎn)意義．而不是短期內(nèi)的投入與產(chǎn)出。因而致力于基礎(chǔ)研究的機(jī)構(gòu)或者人員,。根本不用考慮研究的所謂“市場(chǎng)化”問(wèn)題,。而只是進(jìn)行基礎(chǔ),、理論的研究。另一方面,。工程化應(yīng)用領(lǐng)域由專門(mén)的機(jī)構(gòu)或職能部門(mén)負(fù)責(zé),，這些部門(mén)從應(yīng)用領(lǐng)域、生產(chǎn)領(lǐng)域,、制造領(lǐng)域抽調(diào)**,、學(xué)者及相關(guān)專業(yè)人員，對(duì)基礎(chǔ)研究的市場(chǎng)應(yīng)用前景進(jìn)行分析,，并提出可行性建議,，末尾由市場(chǎng)或企業(yè)來(lái)進(jìn)行工程化應(yīng)用研究。末尾市場(chǎng)化推廣的問(wèn)題自然是企業(yè)來(lái)做了,。中國(guó)的高校和研究機(jī)構(gòu),，做純理念和純基礎(chǔ)的并不多，中國(guó)大多是工程性項(xiàng)目研究,。其理想模式為高校,、研究所、企業(yè)三結(jié)合狀態(tài),，各司其職,，各負(fù)其責(zé)。微納技術(shù)是繼JT,、生物之后,。21世紀(jì)較具發(fā)展?jié)摿Φ母咝录夹g(shù)，是未來(lái)十年高增長(zhǎng)的新興產(chǎn)業(yè),。微納加工平臺(tái)主要提供微納加工技術(shù)工藝,。甘肅真空鍍膜微納加工代工

在過(guò)去的幾年中，全球各地的研究機(jī)構(gòu)和大學(xué)已開(kāi)始集中研究微觀和納米尺度現(xiàn)象,、器件和系統(tǒng),。MEMS微納加工技術(shù)

微流控芯片是在普通毛細(xì)管電泳的基本原理和技術(shù)的基礎(chǔ)上，利用微加工技術(shù)在硅,、石英,、玻璃或高分子聚合物基質(zhì)材料上加工出各種微細(xì)結(jié)構(gòu)，如管道,、反應(yīng)池,、電極之類的功能單元，完成生物和化學(xué)等領(lǐng)域中所涉及的樣品制備,、生化反應(yīng),、處理（混合、過(guò)濾、稀釋）,、分離檢測(cè)等一系列任務(wù),，具有快速、高效,、低耗,、分析過(guò)程自動(dòng)化和應(yīng)用范圍廣等特點(diǎn)的微型分析實(shí)驗(yàn)裝置。目前已成為微全分析系統(tǒng)（micrototalanalysissystems,μ-TAS）和芯片實(shí)驗(yàn)室（labonachip）的發(fā)展重點(diǎn)和前沿領(lǐng)域,。為常見(jiàn)的聚合物微流控芯片形式,。近年來(lái)，由于生化分析的復(fù)雜性和多樣性需求,，微流控芯片技術(shù)的發(fā)展愈發(fā)趨于組合化和集成化,，在一塊芯片基片上集成多種功能單元成為一種常見(jiàn)形式，普遍應(yīng)用于醫(yī)學(xué)診斷,、醫(yī)學(xué)分析,、藥物篩選、環(huán)境監(jiān)測(cè)和燃料電池技術(shù)等諸多領(lǐng)域,?；诟咄靠焖俜蛛x的需要，多通道陣列并行操作是微流控芯片的發(fā)展的趨勢(shì),，芯片微通道數(shù)量已從較初的12通道,、96通道，發(fā)展到現(xiàn)在的384通道,。MEMS微納加工技術(shù)