磁控濺射的優(yōu)點(diǎn)：（1）成膜致密,、均勻。濺射的薄膜聚集密度普遍提高了,。從顯微照片看,，濺射的薄膜表面微觀形貌比較精致細(xì)密，而且非常均勻,。（2）濺射的薄膜均具有優(yōu)異的性能,。如濺射的金屬膜通常能獲得良好的光學(xué)性能,、電學(xué)性能及某些特殊性能,。（3）易于組織大批量生產(chǎn)。磁控源可以根據(jù)要求進(jìn)行擴(kuò)大，因此大面積鍍膜是容易實(shí)現(xiàn)的,。再加上濺射可連續(xù)工作,，鍍膜過程容易自動(dòng)控制，因此工業(yè)上流水線作業(yè)完全成為可能,。（4）工藝環(huán)保,。傳統(tǒng)的濕法電鍍會(huì)產(chǎn)生廢液、廢渣,、廢氣,，對環(huán)境造成嚴(yán)重的污染。不產(chǎn)生環(huán)境污染,、生產(chǎn)效率高的磁控濺射鍍膜法則可較好解決這一難題,。磁控濺射是在低氣壓下進(jìn)行高速濺射,為此需要提高氣體的離化率。磁控濺射優(yōu)點(diǎn)

磁控濺射是由二極濺射基礎(chǔ)上發(fā)展而來,，在靶材表面建立與電場正交磁場,，解決了二極濺射沉積速率低，等離子體離化率低等問題,，成為鍍膜工業(yè)主要方法之一,。磁控濺射與其它鍍膜技術(shù)相比具有如下特點(diǎn)：可制備成靶的材料廣，幾乎所有金屬,，合金和陶瓷材料都可以制成靶材,；在適當(dāng)條件下多元靶材共濺射方式，可沉積配比精確恒定的合金,；在濺射的放電氣氛中加入氧,、氮或其它活性氣體，可沉積形成靶材物質(zhì)與氣體分子的化合物薄膜,；通過精確地控制濺射鍍膜過程,，容易獲得均勻的高精度的膜厚；通過離子濺射靶材料物質(zhì)由固態(tài)直接轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子態(tài),，濺射靶的安裝不受限制,，適合于大容積鍍膜室多靶布置設(shè)計(jì)；濺射鍍膜速度快,，膜層致密,，附著性好等特點(diǎn)，很適合于大批量,，高效率工業(yè)生產(chǎn),。吉林高溫磁控濺射原理雙靶磁控濺射儀是一款高真空鍍膜設(shè)備。

磁控濺射鍍膜是現(xiàn)代工業(yè)中不可缺少的技術(shù)之一,，磁控濺射鍍膜技術(shù)正普遍應(yīng)用于透明導(dǎo)電膜,、光學(xué)膜,、超硬膜、抗腐蝕膜,、磁性膜,、增透膜、減反膜以及各種裝飾膜,，在**和國民經(jīng)濟(jì)生產(chǎn)中的作用和地位日益強(qiáng)大,。鍍膜工藝中的薄膜厚度均勻性，沉積速率,，靶材利用率等方面的問題是實(shí)際生產(chǎn)中十分關(guān)注的,。解決這些實(shí)際問題的方法是對涉及濺射沉積過程的全部因素進(jìn)行整體的優(yōu)化設(shè)計(jì)，建立一個(gè)濺射鍍膜的綜合設(shè)計(jì)系統(tǒng),。薄膜厚度均勻性是檢驗(yàn)濺射沉積過程的較重要參數(shù)之一,，因此對膜厚均勻性綜合設(shè)計(jì)的研究具有重要的理論和應(yīng)用價(jià)值。

磁控濺射鍍膜的產(chǎn)品特點(diǎn)：1,、磁控濺射所利用的環(huán)狀磁場迫使二次電子跳欄式地沿著環(huán)狀磁場轉(zhuǎn)圈.相應(yīng)地,環(huán)狀磁場控制的區(qū)域是等離子體密度較高的部位.在磁控濺射時(shí),可以看見濺射氣體——?dú)鍤庠谶@部位發(fā)出強(qiáng)烈的淡藍(lán)色輝光,形成一個(gè)光環(huán).處于光環(huán)下的靶材是被離子轟擊較嚴(yán)重的部位,會(huì)濺射出一條環(huán)狀的溝槽.環(huán)狀磁場是電子運(yùn)動(dòng)的軌道,環(huán)狀的輝光和溝槽將其形象地表現(xiàn)了出來.磁控濺射靶的濺射溝槽一旦穿透靶材,就會(huì)導(dǎo)致整塊靶材報(bào)廢,所以靶材的利用率不高,一般低于40%;2,、等離子體不穩(wěn)定。磁控濺射成為鍍膜工業(yè)主要方法之一,。

磁控濺射體系設(shè)備的穩(wěn)定性,，對所生成的膜均勻性、成膜質(zhì)量,、鍍膜速率等方面有很大的影響,。磁控濺射體系設(shè)備的濺射品種有許多，按照運(yùn)用的電源分,，能夠分為直流磁控濺射,，射頻磁控濺射，中頻磁控濺射等等,。濺射涂層開始顯示出簡略的直流二極管濺射,。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡略，但直流二極管濺射堆積速率低,；為了堅(jiān)持自我約束的排放,，它不能在低壓下進(jìn)行；它不能濺射絕緣材料,。這樣的缺陷約束了它的運(yùn)用,。在直流二極管濺射設(shè)備中添加熱陰極和輔佐陽極可構(gòu)成直流三極管濺射。由添加的熱陰極和輔佐陽極發(fā)生的熱電子增強(qiáng)了濺射氣體原子的電離作用,，因而即便在低壓下也能夠進(jìn)行濺射,。不然，能夠下降濺射電壓以進(jìn)行低壓濺射,。在低壓條件下,；放電電流也會(huì)添加,，并且能夠不受電壓影響地單獨(dú)操控。在熱陰極之前添加電極（網(wǎng)格狀）以形成四極濺射裝置能夠穩(wěn)定放電,?？墒?，這些裝置難以獲得具有高濃度和低堆疊速度的等離子體區(qū)域,，因而其尚未在工業(yè)中普遍運(yùn)用。磁控濺射的優(yōu)點(diǎn)：操作易控,。海南共濺射磁控濺射原理

磁控濺射設(shè)備的主要用途：裝飾領(lǐng)域的應(yīng)用,，如各種全反射膜及半透明膜等，如手機(jī)外殼,，鼠標(biāo)等,。磁控濺射優(yōu)點(diǎn)

真空磁控濺射鍍膜工藝具備以下特點(diǎn)：復(fù)合靶?？芍谱鲝?fù)合靶鍍合金膜,，目前，采用復(fù)合磁控靶濺射工藝已成功鍍上了Ta-Ti合金,、（Tb-Dy）-Fe以及Gb-Co合金膜,。復(fù)合靶的結(jié)構(gòu)有四種，分別是圓塊鑲嵌靶,、方塊鑲嵌靶,、小方塊鑲嵌靶以及扇形鑲嵌靶，其中以扇形鑲嵌靶結(jié)構(gòu)的使用效果為佳,。磁控濺射是眾多獲得高質(zhì)量的薄膜技術(shù)當(dāng)中使用較普遍的一種鍍膜工藝,，采用新型陰極使其擁有很高的靶材利用率和高沉積速率，該工藝不只用于單層膜的沉積,，還可鍍制多層的薄膜,，此外，還用于卷繞工藝中用于包裝膜,、光學(xué)膜,、貼膜等膜層鍍制。磁控濺射優(yōu)點(diǎn)