微納制造技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)統(tǒng)和其他綜合系統(tǒng),；納米生物學(xué)等。另一方面,，微納技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域也得到了比較大拓展,。到目前為止。微納技術(shù)已經(jīng)被普遍應(yīng)用于****和民用產(chǎn)品,。較主要的應(yīng)用如納米級(jí)機(jī)械加工,、電子束和離子束加微納技術(shù)一般指微米、納米級(jí)Ａ技術(shù),、掃描隧道顯微加工技術(shù)等,。100nm）的材料、設(shè)計(jì),、制造,、測(cè)量,、控我國(guó)微納制造技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀制和產(chǎn)品的研究、加工,、制造以及應(yīng)用技由于受到基礎(chǔ)裝備、工藝技術(shù),、科研術(shù),。在基礎(chǔ)科研以及制造行業(yè)中，微納制經(jīng)費(fèi),、行業(yè)基礎(chǔ)等多方面因素的影響,。我造技術(shù)的研究從其誕生之初就一直牢據(jù)行國(guó)的微納制造技術(shù)的研究與世界先進(jìn)水平業(yè)的杰出位置。微納加工技術(shù)的特點(diǎn)多學(xué)科交叉,。黃山微納加工應(yīng)用

在微電子與光電子集成中,，薄膜的形成方法主要有兩大類，及沉積和外延生長(zhǎng),。沉積技術(shù)分為物理沉積,、化學(xué)沉積和混合方法沉積。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法,；化學(xué)氣相沉積是典型的化學(xué)方法；等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是物理與化學(xué)方法相結(jié)合的混合方法,。薄膜沉積過程,，通常生成的是非晶膜和多晶膜，沉積部位和晶態(tài)結(jié)構(gòu)都是隨機(jī)的,，而沒有固定的晶態(tài)結(jié)構(gòu),。外延生長(zhǎng)實(shí)質(zhì)上是材料科學(xué)的薄膜加工方法，其含義是：在一個(gè)單晶的襯底上,，定向地生長(zhǎng)出與基底晶態(tài)結(jié)構(gòu)相同或相似的晶態(tài)薄層,。其他薄膜成膜方法，如電化學(xué)沉積,、脈沖激光沉積法,、溶膠凝膠法、自組裝法等,，也都廣用于微納制作工藝中,。不同的表面微納結(jié)構(gòu)可以呈現(xiàn)出相應(yīng)的功能，隨著科技的發(fā)展,，不同功能的微納結(jié)構(gòu)及器件將會(huì)得到更多的應(yīng)用,。目前表面功能微納結(jié)構(gòu)及器件，諸如超材料,、超表面等充滿“神奇”力量的結(jié)構(gòu)或器件,，的發(fā)展仍受到微納加工技術(shù)的限制,。因此，研究功能微納結(jié)構(gòu)及器件需要從微納結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)方面進(jìn)行廣深入的研究,，提高微納加工技術(shù)的加工能力和效率是未來微納結(jié)構(gòu)及器件研究的重點(diǎn)方向,。德陽MENS微納加工通過光刻技術(shù)制作出的微納結(jié)構(gòu)需進(jìn)一步通過刻蝕或者鍍膜，才可獲得所需的結(jié)構(gòu)或元件,。

電子束光刻技術(shù)是利用電子束在涂有電子抗蝕劑的晶片上直接描畫或投影復(fù)印圖形的技術(shù).電子抗蝕劑是一種對(duì)電子敏感的高分子聚合物,，經(jīng)過電子束掃描過的電子抗蝕劑發(fā)生分子鏈重組，使曝光圖形部分的抗蝕劑發(fā)生化學(xué)性質(zhì)改變,。經(jīng)過顯影和定影,，獲得高分辨率的抗蝕劑曝光圖形。電子束光刻技術(shù)的主要工藝過程為涂膠,、前烘,、電子束曝光、顯影和堅(jiān)膜?，F(xiàn)代的電子束光刻設(shè)備已經(jīng)能夠制作小于10nm的精細(xì)線條結(jié)構(gòu),。電子束光刻設(shè)備也是制作光學(xué)掩膜版的重要工具。影響曝光精度的內(nèi)部工藝因素主要取決于電子束斑尺寸,、掃描步長(zhǎng),、電子束流劑量和電子散射引起的鄰近效應(yīng)。

飛秒激光微納加工類型飛秒激光微納加工的類型可以分為激光燒蝕微加工以及雙光子聚合加工,。激光燒蝕微加工利用其本身獨(dú)特的性質(zhì)使材料瞬間蒸發(fā),，而不經(jīng)歷熔化過程，具有優(yōu)良的加工特性,。雙光子聚合加工三維微納結(jié)構(gòu)時(shí)利用飛秒激光聚焦點(diǎn)上發(fā)生的雙光子吸收效應(yīng),，獲得比衍射極限還要小的光響應(yīng)，可以在多種材料上進(jìn)行微納米尺度的加工,。對(duì)波長(zhǎng)特定的激光來說,，材料可分為吸收材料和透明材料。飛秒激光對(duì)于這些材料的作用機(jī)理都不相同,。由于自由電子大量存在的緣故,，金屬具有良好的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性。透明材料原本不會(huì)吸收這一波段,，但是由于飛秒激光可以產(chǎn)生極高的光強(qiáng),，它使材料實(shí)現(xiàn)對(duì)激光的非線性吸收。干法刻蝕能夠滿足亞微米/納米線寬制程技術(shù)的要求,，且在微納加工技術(shù)中被大量使用,。

微納加工設(shè)備主要有：光刻、刻蝕、鍍膜,、濕法腐蝕,、絕緣層鍍膜等。微納檢測(cè)主要是表征檢測(cè)：原子力顯微鏡,、掃描電鏡,、掃描顯微鏡、XRD,、臺(tái)階儀等,。每一個(gè)設(shè)備都包含比較多具體的分類。光刻機(jī),，也被稱為曝光機(jī)，三大類:步進(jìn)式光刻機(jī),，接觸接近式光刻,，電子束曝光。微納制造技術(shù)是指尺度為毫米,、微米和納米量級(jí)的零件,，以及由這些零件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、加工,、組裝,、集成與應(yīng)用技術(shù)。傳統(tǒng)“宏”機(jī)械制造技術(shù)已不能滿足這些“微”機(jī)械和“微”系統(tǒng)的高精度制造和裝配加工要求,，必須研究和應(yīng)用微納制造的技術(shù)與方法,。微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器,、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ),。高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)具有比較高的曝光精度，但這兩種方法制作效率極低,。黃山微納加工應(yīng)用

微納結(jié)構(gòu)器件是系統(tǒng)重要的組成部分,，其制造的質(zhì)量、效率和成本直接影響著行業(yè)的發(fā)展,。黃山微納加工應(yīng)用

微納制造技術(shù)一般是指微米,、納米級(jí)的材料、設(shè)計(jì),、制造,、測(cè)量控制和產(chǎn)品的研發(fā)、加工,、制造以及應(yīng)用技術(shù),。微納制造技術(shù)是繼IT、生物技術(shù)之后，21世紀(jì)較具發(fā)展?jié)摿Φ难芯款I(lǐng)域和新興產(chǎn)業(yè)之一,。微納制造技術(shù)較早是由加工精度研究的角度延伸出來的,。伴隨著科技進(jìn)步和制造業(yè)的快速發(fā)展，人們對(duì)加工精度的要求越來越高,，傳統(tǒng)加工方式的加工精度越來越難以滿足諸多領(lǐng)域的應(yīng)用和研究需求,。這一需求促使人們投入到更高精度加工技術(shù)的研發(fā)上。從較初的毫米級(jí)（10-3m）到微米級(jí)（10-6m）和納米級(jí)（10-9m）,，人類的制造水平逐步由宏觀尺度向微觀尺度邁進(jìn),，“微納制造技術(shù)”的概念也應(yīng)運(yùn)而生。黃山微納加工應(yīng)用