微納加工中，材料濕法腐蝕是一個(gè)常用的工藝方法,。材料的濕法化學(xué)刻蝕，包括刻蝕劑到達(dá)材料表面和反應(yīng)產(chǎn)物離開表面的傳輸過程,，也包括表面本身的反應(yīng),。半導(dǎo)體技術(shù)中的許多刻蝕工藝是在相當(dāng)緩慢并受速率控制的情況下進(jìn)行的，這是因?yàn)楦采w在表面上有一污染層,。污染層厚度常有幾微米,，如果化學(xué)反應(yīng)有氣體逸出，則此層就可能破裂,。濕法刻蝕工藝常常有反應(yīng)物產(chǎn)生,，這種產(chǎn)物受溶液的溶解速率的限制。為了使刻蝕速率提高,，常常使溶液攪動(dòng),，因?yàn)閿噭?dòng)增強(qiáng)了外擴(kuò)散效應(yīng)。多晶和非晶材料的刻蝕是各向異性的,。然而,，結(jié)晶材料的刻蝕可能是各向同性，也可能是各向異性的,，它取決于反應(yīng)動(dòng)力學(xué)的性質(zhì),。晶體材料的各向同性刻蝕常被稱作拋光刻蝕，因?yàn)樗鼈儺a(chǎn)生平滑的表面,。各向異性刻蝕通常能顯示晶面,，或使晶體產(chǎn)生缺陷。因此,，可用于化學(xué)加工,，也可作為結(jié)晶刻蝕劑。新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足的要求：具有微納特性的組件的小型化連續(xù)生產(chǎn),。浙江鍍膜微納加工工廠

“納米制造”路線圖強(qiáng)調(diào)了未來納米表面制造的發(fā)展,。問卷調(diào)查探尋了納米表面制備所面臨的機(jī)遇。調(diào)查中提出的問題旨在獲取納米表面特征的相關(guān)信息：這種納米表面結(jié)構(gòu)可以是形貌化,、薄膜化的改良表面區(qū)域,，也可以是具有相位調(diào)制或一定晶粒尺寸的涂層。這類結(jié)構(gòu)構(gòu)建于眾多固體材料表面,，如金屬,、陶瓷、玻璃,、半導(dǎo)體和聚合物等,?？偨Y(jié)了調(diào)查結(jié)果與發(fā)現(xiàn)，并闡明了未來納米表面制造的前景,。納米表面可產(chǎn)生自材料的消解,、沉積、改性或形成過程,。這導(dǎo)致制備出的納米表面帶有納米尺度所特有的新的化學(xué),、物理和生物特性（比如催化作用、磁性質(zhì),、電性質(zhì),、光學(xué)性質(zhì)或抗細(xì)菌性）。在納米科學(xué)許多已有的和新興的子領(lǐng)域中,，表面工程已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了從基礎(chǔ)科學(xué)向現(xiàn)實(shí)應(yīng)用的轉(zhuǎn)變,，比如材料科學(xué)、光學(xué),、微電子學(xué),、動(dòng)力工程學(xué)、傳感系統(tǒng)和生物工程學(xué)等,。在改進(jìn)和簡(jiǎn)化生產(chǎn)過程方面,，還需要做許多工作才能降低***納米表面的生產(chǎn)成本?？芍貜?fù)性,、尺寸形狀的控制、均勻性以及結(jié)構(gòu)的魯棒性等,，都是工業(yè)生產(chǎn)過程中必須要考慮的關(guān)鍵參數(shù),。浙江鍍膜微納加工工廠微納加工平臺(tái)支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域、交叉學(xué)科,，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā),。

平臺(tái)目前已配備各類微納加工和表征測(cè)試設(shè)備50余臺(tái)套，擁有一條相對(duì)完整的微納加工工藝線,，可制成2-6英寸樣品,，涵蓋了圖形發(fā)生、薄膜制備,、材料刻蝕,、表征測(cè)試等常見的工藝段，可以進(jìn)行常見微納米結(jié)構(gòu)和器件的加工,，極限線寬達(dá)到600納米，材料種類包括硅基,、化合物半導(dǎo)體等多種類型材料,，可以有力支撐多學(xué)科領(lǐng)域的半導(dǎo)體器件加工以及微納米結(jié)構(gòu)的表征測(cè)試需求,。微納加工平臺(tái)支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域,、交叉學(xué)科,，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā),。作為開放共享服務(wù)平臺(tái),，支撐的研究領(lǐng)域包括新型器件,、柔性電子器件,、微流體、發(fā)光芯片,、化合物半導(dǎo)體,、微機(jī)電器件與系統(tǒng)（MEMS）等。以高效,、創(chuàng)新、穩(wěn)定,、合作共贏的合作理念,，歡迎社會(huì)各界前來合作。

獲得或保持率先競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的優(yōu)勢(shì)將維持強(qiáng)勁的經(jīng)濟(jì),、提供動(dòng)力以滿足社會(huì)需求，而微納制造技術(shù)能力正在成為這其中的關(guān)鍵使能因素,。微納制造技術(shù)可以幫助企業(yè)、產(chǎn)業(yè)形成競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),。得益于私營(yíng)部門和公共部門之間的合作,，它們的快速發(fā)展提升了許多不同應(yīng)用領(lǐng)域的歐洲公司的市場(chǎng)份額,，促進(jìn)了協(xié)作研究。需要強(qiáng)調(diào)的,，產(chǎn)業(yè)界和學(xué)術(shù)界的合作在增加公司的市場(chǎng)實(shí)力上發(fā)揮了重要作用,；這種合作使得那些阻礙創(chuàng)新,、新技術(shù)與高水平的教育需求等進(jìn)展的問題的解決變得更為容易。微納加工技術(shù)能突顯一個(gè)國(guó)家工業(yè)發(fā)展水平,。

研究應(yīng)著眼于開發(fā)一種新型的可配置,、可升級(jí)的微納制造平臺(tái)和系統(tǒng),，以降低大批量或是小規(guī)模定制產(chǎn)品的生產(chǎn)成本,。新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足下述要求：（1）能生產(chǎn)多種多樣高度復(fù)雜的微納產(chǎn)品,；（2）具有微納特性的組件的小型化連續(xù)生產(chǎn)；（3）為了掌握基于整個(gè)生產(chǎn)加工鏈制造的知識(shí),，新設(shè)計(jì)和仿真系統(tǒng)的產(chǎn)品開發(fā)過程的全部跨學(xué)科知識(shí)進(jìn)行條理化和儲(chǔ)存,；（4）為了保證生產(chǎn)的靈活性和適應(yīng)性，應(yīng)確保在分布式制造中各企業(yè)的有效合作,，以支撐通過新型商業(yè)生產(chǎn),、管理和物流方法來實(shí)現(xiàn)的中小型企業(yè)在綜合制造網(wǎng)絡(luò)中的有效整合；（5）是一個(gè)擁有更高級(jí)的智能和可靠性,、可根據(jù)相應(yīng)環(huán)境自行調(diào)整設(shè)置及生產(chǎn)加工參數(shù)的,、可嵌入整個(gè)生產(chǎn)制造行業(yè)的制造系統(tǒng),；（6）新型可快速配置和價(jià)格適中的微納制造系統(tǒng),，融入了面向任務(wù)和可重復(fù)配置的理念,，能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)的系統(tǒng)升級(jí)和無縫重復(fù)配置,。微納制造技術(shù)是由零件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的設(shè)計(jì),、加工,、組裝、集成與應(yīng)用技術(shù),。浙江鍍膜微納加工工廠

微納加工設(shè)備主要有：光刻,、刻蝕,、成膜、離子注入,、晶圓鍵合等,。浙江鍍膜微納加工工廠

眾所周知,，微納米技術(shù)是我國(guó)貫徹落實(shí)“中國(guó)制造2025”和“中國(guó)創(chuàng)新2030”的重要舉措與中心技術(shù)需求,，是促進(jìn)制造業(yè)高級(jí)化、綠色化,、智能化的重要基礎(chǔ),?；谖矬w微米、納米尺度獨(dú)特的物理和化學(xué)特性,，研制新材料、新工藝,、新器件的微納制造技術(shù),，已經(jīng)成為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)中心技術(shù)，必將對(duì)21世紀(jì)的航空,、航天、信息科學(xué),、生命科學(xué)和健康保健,、汽車工業(yè)、仿生機(jī)器人,、交通、家具生活等領(lǐng)域產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響,。推進(jìn)微納制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)化落地,，探討產(chǎn)業(yè)化路徑，遴選優(yōu)良產(chǎn)業(yè)化示范項(xiàng)目,。浙江鍍膜微納加工工廠