上海碟嘉真空閥門(mén)有限公司2025-06-08

膜層均勻性依賴真空度穩(wěn)定性,，高真空蝶閥通過(guò)動(dòng)態(tài)平衡算法與低放氣率設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn),。其閥體表面鍍鎳磷合金，出氣率低于5×10?1? Pa·m3/s·cm2,，配合PID控制器,，將真空波動(dòng)控制在±0.5%以內(nèi)。在AR鍍膜中,，閥門(mén)將鋁層厚度偏差從±8%降至±2%,，反射率一致性提升至99.5%，同時(shí)減少靶材浪費(fèi)15%,，降低生產(chǎn)成本,。

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