岱美儀器技術(shù)服務(wù)2025-04-05
晶圓缺陷檢測設(shè)備是用于檢測半導(dǎo)體晶圓表面和內(nèi)部缺陷的儀器設(shè)備,其性能特點(diǎn)通常包括以下幾個(gè)方面:
1,、精度高:晶圓缺陷檢測設(shè)備需要對微小的缺陷進(jìn)行檢測,,因此精度是其基本的性能指標(biāo)之一?,F(xiàn)代晶圓缺陷檢測設(shè)備的精度可以達(dá)到納米級別。
2,、檢測速度快:隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,,生產(chǎn)的晶圓越來越多,因此檢測速度成為晶圓缺陷檢測設(shè)備的重要指標(biāo)之一?,F(xiàn)代設(shè)備的檢測速度可以達(dá)到每秒數(shù)百張晶圓,。
3,、檢測范圍廣:晶圓缺陷檢測設(shè)備需要同時(shí)檢測晶圓表面和內(nèi)部缺陷,因此需要具有比較普遍的檢測范圍,,可以檢測不同材料,、不同工藝的晶圓。
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