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RTP快速退火爐有什么特點?

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司2025-04-05

①紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷,;②燈管功率PID控溫,可準(zhǔn)確控制溫度升溫,,保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性,;③標(biāo)配三組工藝氣體

東莞市晟鼎精密儀器有限公司
東莞市晟鼎精密儀器有限公司
簡介:晟鼎精密主營產(chǎn)品RTP快速退火爐、等離子清洗機、等離子去膠機,、接觸角測量等表面性能處理及檢測設(shè)備,。
簡介: 晟鼎精密主營產(chǎn)品RTP快速退火爐、等離子清洗機,、等離子去膠機,、接觸角測量等表面性能處理及檢測設(shè)備。
退火爐+等離子
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    東莞市晟鼎精密儀器有限公司 2025-04-05

    ①采用平行進(jìn)氣方式,,氣體的進(jìn)入口設(shè)置在WAFER表面,,避免退火過程中冷點產(chǎn)生,保證產(chǎn)品良好的溫度均勻性,;②大氣與真空處理方式均可選擇,,進(jìn)氣前氣體凈化處理;③可測樣品尺寸為6-12英寸

  • 晟鼎接觸角測量儀
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  • 晟鼎快速退火爐
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  • 大氣等離子清洗機
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