深圳市神州天柱科技有限公司2025-04-05
等離子清洗的機(jī)理主要是活性粒子的物理作用和化學(xué)作用,,那么在清洗不同的材料時(shí),,選擇正確的介質(zhì)氣體,,可收到事半功倍的效果,。材料,可以大致分為金屬和非金屬兩種,,其中金屬清洗的目的是主要是去除表面氧化物和有機(jī)物,,非金屬清洗主要是去除表面有機(jī)污染物,,根據(jù)反應(yīng)機(jī)體有兩種分類,,一種是反應(yīng)性氣體(化學(xué)作用),主要是氫氣,、氧氣,、四氟化碳等;另一類是非反應(yīng)性氣體(物理作用),,主要有氬氣,、氦氣、氮?dú)狻?
當(dāng)所清洗的材料放入反應(yīng)室內(nèi),,通過(guò)氣體放電產(chǎn)生的等離子體中的活性粒子與材料表面就會(huì)發(fā)生反應(yīng),。
反應(yīng)性氣體以化學(xué)反應(yīng)為主,電離后自由基與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),,生產(chǎn)易揮發(fā)物質(zhì)被排走,,達(dá)到清洗的目的,氫氣主要利用其還原作用,,與被清洗件表面污染物發(fā)生反應(yīng),,典型的如金屬表面的氧化物清洗,氫氣作為放電氣體參與反應(yīng)則發(fā)生還原反應(yīng),,材料表面的氧化物與放電產(chǎn)生的氫離子反應(yīng)生成水,。而氧氣主要利用其氧化作用,典型的如去除零件表面的有機(jī)物等,。氧氣作為氣體參與反應(yīng)發(fā)生氧化反應(yīng),,材料表面的有機(jī)物被氧氣電離產(chǎn)生的氧離子氧化生成二氧化碳和水。
非反應(yīng)性氣體電離后主要靠離子的物理轟擊作用,,去除污染物,,有些氣體在清洗的同時(shí)還可以使材
本回答由 深圳市神州天柱科技有限公司 提供
其余 1 條回答
在實(shí)際清洗中,,單一的利用物理或化學(xué)作用效果欠佳,,更多是充入混合氣體,同時(shí)利用兩種或以上的混合氣體以得到更好的清洗效果,。比如氬氣和氧氣的結(jié)合,,氬離子采用物理轟擊被清洗表面污物,氧氣與表面污物發(fā)生氧化反應(yīng),,并且當(dāng)氬氣和氧氣分子一經(jīng)碰撞便可以使電荷轉(zhuǎn)換并結(jié)合,,形成新的活性原理,使電離和離子能量得到很大程度的降低,,同時(shí)會(huì)產(chǎn)生更多的活性粒子,,此時(shí),清洗效果已經(jīng)達(dá)到1+1>2的效果,。 但是在充入多種氣體時(shí),,還有更多因素需要考慮,比如選取的氫氣純度越高,,產(chǎn)生的氫離子會(huì)越多,,相應(yīng)的清洗氧化物的速度越快,,雖然反應(yīng)效率提高,,但是不可忽視氫氣作為易燃易爆氣體,具有很高的危險(xiǎn)性,,所以當(dāng)考慮充入混合氣體時(shí),,通常會(huì)將氫氣與氬氣等其他氣體充入一起,要將氫氣的占比處在一個(gè)相對(duì)安全的位置,,可以達(dá)到效率比較大化,。清洗不同物質(zhì)還需要探索更質(zhì)量的方法和工藝,不斷提高清洗的效果,。