廣東華芯半導體技術(shù)有限公司2025-05-29

支持氮氣,、氧氣,、氬氣,、氫氣等多種氣體的單一或混合通入,，氣體流量控制精度達 ±1% FS。廣東華芯半導體技術(shù)有限公司的設備配備質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體混配系統(tǒng),，可根據(jù)工藝需求實時調(diào)整氣體成分,，滿足氧化、退火,、擴散等多種工藝場景,。

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