廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-29

采用多段單獨控溫技術(shù)（至多可達 16 段），搭配高精度熱電偶和智能 PID 算法,，溫度控制精度達 ±1℃,，均勻性≤±2.5℃（空爐測試）。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的立式爐配備 3D 熱風循環(huán)系統(tǒng),，通過導(dǎo)流板和風扇轉(zhuǎn)速動態(tài)調(diào)節(jié),，確保不同高度工位的溫度一致性。

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