半導體掛鍍設備

1.基本原理與結構

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液,，通過精細控制電流,、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層,。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質,，配備溫控、循環(huán)過濾系統(tǒng),，維持鍍液均勻性

掛具與陽極：鈦或鉑金陽極,，掛具設計適配晶圓尺寸，確保電場分布均勻

自動化傳輸：機械臂自動上下料,，減少人工污染風險

控制系統(tǒng)：PLC/計算機實時調控電流密度,、電鍍時間、pH值等參數

2. 關鍵技術優(yōu)勢

高均勻性：通過脈沖電鍍或水平電鍍技術（如ECP）,，減少邊緣效應,，實現亞微米級鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監(jiān)測，降低孔洞,、結節(jié)等缺陷

高產能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應用場景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導線,，替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導電通道,，實現芯片堆疊

先進封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊,，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實現芯片I/O端口的重新布局

總結

半導體掛鍍設備通過精密電化學控制與自動化技術,，解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進芯片制造與封裝的裝備,。其性能直接關聯(lián)芯片的導電性,、散熱及良率 鍍鎳設備配套活性炭吸附裝置，定期去除鍍液中有機雜質,，防止細孔,、麻點等鍍層缺陷。浙江超硬鍍層電鍍設備

全自動龍門式電鍍生產線

是一種高效,、智能化的電鍍生產系統(tǒng),，通過龍門機械手實現工件的全流程自動化傳輸與精細加工，廣泛應用于金屬表面處理行業(yè),。

一,、設備結構與組成龍門架與機械手龍門桁架：橫跨電鍍槽上方，搭載伺服驅動的機械臂,，實現三維空間內的精確定位（重復精度±0.1mm）。夾具系統(tǒng)：根據工件形狀（如螺絲,、連接器,、汽車零件）定制夾具，確保抓取穩(wěn)固,。電鍍槽組包含 前處理槽（除油,、酸洗）、電鍍槽（鍍鋅,、鍍鎳等）,、后處理槽（鈍化、烘干）等,，槽位數量可按工藝擴展（如8~20槽）,。槽內配備液位傳感器、溫控裝置及循環(huán)過濾系統(tǒng),，保障鍍液穩(wěn)定性,。控制系統(tǒng)PLC+HMI：控制器預設工藝參數（電流,、時間,、溫度），觸摸屏實時監(jiān)控運行狀態(tài),。智能調度算法：優(yōu)化機械手路徑,，減少空載時間，提升產能（如每小時處理500~2000件） 防爆型電鍍設備是什么電鍍槽體的防腐內襯采用聚四氟乙烯（PTFE），耐受強酸堿與高溫,，延長設備使用壽命 30% 以上,。

雙筒過濾機特點：一機具備多功能用途，可依據客戶使用條件,，更換不同濾材,。主濾筒采用耐腐蝕的PP/FRPP/PVDF一體注塑成型，耐酸堿腐蝕,、防泄漏,，且提供多種濾芯規(guī)格，可按精度需求選擇,，滿足多元化應用,。整機安裝與操作簡便，清洗便捷高效,，占地面積小,。支持根據客戶不同需求，選擇濾筒材質,。適用領域,，包括電鍍、氧化,、表面處理等多種工藝環(huán)節(jié),。分享不同材質的濾芯在電鍍設備中的過濾效果有何差異？雙筒過濾機的價格區(qū)間是多少,？濾芯式過濾機在電鍍行業(yè)中的市場占比是多少,？

電泳生產線的主要組成部分:

1.前處理系統(tǒng)

對工件表面進行清洗、除油,、除銹,、磷化（或鈍化）等處理，確保表面潔凈并增強涂層附著力,。

設備包括：預清洗槽,、脫脂槽、酸洗槽,、磷化槽,、水洗槽、烘干爐等,。

2.電泳槽系統(tǒng)

電泳主槽：容納電泳液,，工件在此進行涂裝，槽體需恒溫控制（通常 20~30℃）,。

循環(huán)過濾系統(tǒng)：保持電泳液均勻,，過濾雜質,，防止顆粒污染涂層。

電源系統(tǒng)：提供直流電源,，控制電壓,、電流參數，調節(jié)涂層厚度和質量,。

超濾（UF）系統(tǒng)：分離電泳液中的水分和雜質,，回收涂料并凈化廢水。

3.后處理系統(tǒng)

清洗工序：電泳后水洗（超濾水洗,、純水洗）去除工件表面殘留的電泳液,，避免雜質影響涂層質量。

烘干固化線：通過烘箱或隧道爐對濕膜進行高溫固化（通常 160~200℃）,，形成堅硬的漆膜,。

4.自動化控制系統(tǒng)

集成 PLC 或工業(yè)計算機，控制各工序的時間,、溫度,、電壓、液位等參數,，實現全流程自動化,。

配備輸送系統(tǒng)（如懸掛鏈、滾床,、機械手）,，實現工件的連續(xù)傳輸。 滾鍍機滾筒采用聚氯乙烯材質打孔設計,，確保電解液流通,，配合變頻電機調節(jié)轉速,，保障小件鍍層均勻,。

被動元器件在電鍍設備行業(yè)的發(fā)展趨勢

1.高精度與自動化：

引入AI視覺檢測，實時監(jiān)控鍍層均勻性,，自動調整工藝參數,。

電鍍設備與前后道工序（如激光調阻、包封）集成,，形成全自動產線,。

2.綠色電鍍技術：

推廣無氰電鍍、低COD（化學需氧量）鍍液,，減少廢水處理成本,。

開發(fā)脈沖電鍍技術，降低金屬消耗量（節(jié)約30%以上）,。

3.新型鍍層材料：

納米復合鍍層（如Ni-PTFE）提升耐磨性,，適用于高頻電感,。

低溫電鍍工藝適配柔性基板（如可穿戴設備用薄膜電容）。 電鍍廢水的重金屬回收設備采用離子交換樹脂,，高效吸附鎳,、銅離子，實現資源循環(huán)利用,。定制化電鍍設備生產線

耐溫設備針對高溫電鍍工藝（如黑色氧化處理）,，槽體采用耐高溫 FRP 材質，耐受 100℃以上藥液長期侵蝕,。浙江超硬鍍層電鍍設備

志成達設計研發(fā)的滾掛一體電鍍實驗設備鍍液的選擇：

1.鍍銅液方面

酸性鍍銅液導電性強,、分散性佳，能快速鍍厚銅,，常用于電子元件底層鍍銅,；

堿性鍍銅液穩(wěn)定性好，腐蝕性小,，所得銅層結晶細,、結合力強，適用于鋼鐵基體打底。

2.鍍鎳液

瓦特鎳鍍液成分簡單,、易維護,，鍍層光亮耐磨,，在防護裝飾性電鍍中廣泛應用,；

氨基磺酸鎳鍍液分散與深鍍能力優(yōu)，鍍層內應力低,、延展性好,，多用于對鍍層質量要求高的電子,、航天領域。

3.鍍鋅液里

堿性鍍鋅液陰極極化作用強,，鋅層耐腐蝕性好,；

酸性鍍鋅液電流效率高,、沉積快,，外觀光亮,，不過腐蝕性強,。

4.鍍金液

有物鍍金液，鍍層均勻光亮,、硬度高,；

無氰鍍金液則更環(huán)保。

5.鍍銀液

物鍍銀液電鍍性能好,，鍍層導電導熱優(yōu),；

硫代硫酸鹽鍍銀液毒性小、更環(huán)保,。選擇鍍液要綜合零件材質,、形狀、使用環(huán)境及實驗目的等,，兼顧成本與環(huán)保,。

總結：

在選擇鍍液時，需要根據待鍍零件的材質,、形狀,、尺寸、使用環(huán)境以及實驗目的等因素進行綜合考慮,，同時還需考慮鍍液的成本,、環(huán)保性和操作難度等因素。 浙江超硬鍍層電鍍設備