真空機中真空處理設備技術方案【產(chǎn)品定位】

本設備是針對盲孔類工件電鍍及前處理工藝研發(fā)的專業(yè)真空處理系統(tǒng),，適用于半導體、精密電子,、航空航天等領域的復雜結(jié)構(gòu)工件處理,。

【功能】

1.真空置換系統(tǒng)：采用旋片式真空泵組，可在60秒內(nèi)將工作腔壓力降至10mbar以下,，通過動態(tài)真空置換技術實現(xiàn)盲孔內(nèi)空氣的高效抽離

2.智能補液系統(tǒng)：配備流量閉環(huán)控制系統(tǒng),，可根據(jù)工件孔徑自動調(diào)節(jié)藥液填充速率，確保微孔填充率≥99.8%

3.工藝可視化：配置5.7英寸工業(yè)級觸控屏,，實時顯示真空度,、液位高度、處理時間等關鍵參數(shù)

【技術優(yōu)勢】

1.采用304不銹鋼內(nèi)膽+高硼硅玻璃視窗組合,，耐酸堿腐蝕且便于觀察

2.可調(diào)式硅橡膠密封條配合氣壓補償裝置,，確保真空度穩(wěn)定維持在±0.5mbar

3.模塊化設計支持單工位/雙工位/多工位擴展，處理效率提升40%以上

【應用價值】

通過建立可控的負壓環(huán)境,，有效解決盲孔類工件因氣穴導致的漏鍍,、膜厚不均等問題，使鍍層均勻性提升至±5μm以內(nèi),，降低不良品率,。設備符合ISO9001質(zhì)量管理體系及CE安全認證，已成功應用于100+客戶的量產(chǎn)線,，平均提升良品率25%,，降低生產(chǎn)成本18%。 通過 CE 安全認證,，配備雙重聯(lián)鎖保護裝置,，防止誤操作引發(fā)的安全事故。江蘇模塊化真空機

真空除油設備的定義

一,、基本概念

1.通過真空泵將設備內(nèi)部氣壓降至常壓以下（通常-0.08~-0.1MPa）,，形成負壓環(huán)境。

2.利用真空狀態(tài)下液體沸點降低,、滲透力增強的特性,，實現(xiàn)深度除油,。

二、負壓技術的作用

1.強化滲透：負壓使液體快速填充盲孔,，排出空氣并沖刷油污,。

2.微氣泡清洗：液體沸騰產(chǎn)生的微氣泡破裂時釋放能量，剝離頑固附著物,。

3.低溫干燥：真空環(huán)境下液體蒸發(fā)速度提升5~10倍,，避免高溫損傷基材,。

三,、部件

真空罐體：密閉容器，承載工件并維持負壓,。

真空泵組：多級羅茨泵+旋片泵組合,，快速抽氣并維持真空度。

加熱系統(tǒng)：控制液體溫度（通常40~60℃）,。

超聲波發(fā)生器（可選）：增強空化效應,，提升清洗效率。 湖南真空機行業(yè)標準傳統(tǒng)工藝成本 25%,，負壓電鍍省到底,！

志成達研發(fā)的真空機，真空除油設備通過引入微波加熱輔助技術

可在10-15秒內(nèi)將頑固油污分子鏈斷裂,，配合真空環(huán)境下的分子擴散效應,，實現(xiàn)金屬加工件表面油膜殘留量低于0.05μm，特別適用于精密齒輪,、軸承等動密封部件的超凈處理,。在半導體晶圓制造領域，真空除油設備采用兆聲波（1-3MHz）空化效應與真空干燥相結(jié)合的工藝,，可去除直徑小于50nm的納米級油污顆粒,，同時通過靜電消除裝置防止二次污染，滿足12英寸晶圓對潔凈度的苛刻要求,。真空除油設備創(chuàng)新應用膜分離技術,，將溶劑回收系統(tǒng)與真空蒸餾單元集成，實現(xiàn)每小時處理2000L混合油污的能力,，其分離純度可達99.9%,，為PCB線路板、光學玻璃等行業(yè)提供經(jīng)濟高效的油污處理方案,。

真空機中脈沖真空技術的原理

通過周期性壓力波動突破傳統(tǒng)靜態(tài)真空處理的局限性,，其工作原理可拆解為以下機制：

一、壓力脈沖生成機制

1.動態(tài)真空調(diào)控

采用伺服真空泵組與快速響應閥門,，在基礎真空度（如10?1Pa）與脈沖峰值（10~100Pa）間循環(huán)切換,，形成0.1~5Hz的壓力波動,。壓力振幅可達基礎真空度的100倍，產(chǎn)生局部壓力梯度差（ΔP=10?1~102Pa）,。

2.脈沖波形控制

二,、技術優(yōu)勢對比

指標                            傳統(tǒng)真空                          脈沖真空                  提升幅度           

盲孔除油率                  60%~75%                      92%~98%              +53%~+143%

處理時間                      20~30分鐘                      15~20分鐘              -25%~-33%                                          能耗                           1.2~1.5kWh/kg                   1.0~1.2kWh/kg       -17%~-20% 真空除油設備通過真空負壓環(huán)境，將盲孔內(nèi)殘留油污分子級剝離,，解決傳統(tǒng)浸泡無法觸及的深層清潔難題,。

真空除油設備特殊工況應用型

深海裝備真空除油解決方案

1.針對深海探測器部件的嚴苛工況，設備采用三重特殊設計：

2.耐壓結(jié)構(gòu)：采用鈦合金腔體,，可承受60MPa外部壓力,，內(nèi)部維持-95kPa真空環(huán)境；

3.低溫處理：配置液氮預冷系統(tǒng),，將油液溫度降至-20℃,，使蠟質(zhì)污染物結(jié)晶析出；

4.脈動清洗：結(jié)合超聲波振動與脈沖壓力,，深海礦物油形成的納米級油膜,。

傳統(tǒng)工藝vs真空除油技術對比

工藝類型           工作原理                           優(yōu)勢局限                        局限

離心分離          利用離心力分離油水           設備成本低                     脫水效率<75%

化學清洗         添加破乳劑，分離雜質(zhì)          初期效果                       產(chǎn)生大量?；?nbsp;              

真空除油        真空環(huán)境下低溫蒸發(fā)           深度凈化+環(huán)保設備              投資較高 真空負壓 + 動態(tài)壓力,，盲孔鍍層 0 微孔缺陷！湖南真空機行業(yè)標準

設備配備精密壓力傳感器,，實時監(jiān)測盲孔內(nèi)部壓力變化,，確保清洗過程安全可控。江蘇模塊化真空機

真空除油設備負壓技術的工作流程

該技術通過六階段閉環(huán)系統(tǒng)實現(xiàn)高效除油：

1.預處理：工件置于可旋轉(zhuǎn)支架,，采用氮氣密封艙體至10?3Pa級氣密性,。

2.抽真空：多級泵組3-5分鐘內(nèi)將壓力降至100Pa，主泵進一步達10?1Pa以下,，同步預加熱至30-80℃,。

3.負壓蒸發(fā)：紅外加熱結(jié)合循環(huán)氣流，礦物油在0.09MPa下沸點降至80℃,，薄油膜5-10分鐘完成蒸發(fā),。

4.冷凝回收：-20℃半導體制冷片實現(xiàn)99%油蒸氣回收，分離凈化后循環(huán)使用,。

5.干燥破空：真空干燥至-40℃,，充入-60℃氮氣并設氣流屏障防污染。

6.后處理：激光測厚檢測油膜厚度,，集成MES系統(tǒng)自動匹配參數(shù),，預測性維護周期超5000小時。 江蘇模塊化真空機