具體實(shí)施方式現(xiàn)有技術(shù)中剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質(zhì),而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,,其大量的使用但不能夠有效地回收,,或者回收后需要通過大量的時間分析其含量以及花大量時間進(jìn)行再生處理,,影響了剝離液廢液的利用率,。本發(fā)明對于已知的剝離液的含量以及比例有預(yù)先的了解,通過預(yù)先制定添加劑的方法,,將添加劑以及某些原材料加入后重新制備剝離液新液,。本發(fā)明中對于回收的剝離液廢液的進(jìn)一步處理加工,是采用現(xiàn)有技術(shù)中加壓,、蒸餾等方式,,可以是采用階段性變壓精餾塔進(jìn)行加壓、蒸餾處理,。表1:已知的剝離液新液的組分:表二:添加劑的組分組分比例:純化液體的組分表四:制備剝離液新液在對純化液體進(jìn)行加工處理,,重新制備剝離液新液的過程中,需要預(yù)先制備添加劑,,該添加劑中不含有酰胺化合物,,而通過表四中可以得出,制備過程中在純化液體中加入添加劑以及nmf或bdg重新得出與表1組分相同的剝離液新液,該剝離液新液能夠達(dá)到表1中剝離液新液相同的成分以及相同或大致相同的技術(shù)效果,。對所公開的實(shí)施例的上述說明,,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的,。剝離液蝕刻后如何判斷好壞 ,?惠州銀蝕刻液剝離液費(fèi)用是多少
本申請實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺的工作方法,請參閱圖5,,圖5為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺的工作方法的流程示意圖,該方法包括:步驟110,、將多級腔室順序排列,,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;步驟120,、將來自于當(dāng)前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當(dāng)前級腔室相應(yīng)的存儲箱中,,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130,、使用當(dāng)前級腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室,;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān),;步驟150、取出被阻塞的所述過濾器,。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,因此,,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān)。在上述實(shí)施例中,,對各個實(shí)施例的描述都各有側(cè)重,,某個實(shí)施例中沒有詳述的部分,可以參見其他實(shí)施例的相關(guān)描述,。以上對本申請實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)介紹,,本文中應(yīng)用了具體個例對本申請的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述,以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本申請的技術(shù)方案及其**思想,?;葜葶y蝕刻液剝離液費(fèi)用是多少ITO剝離液的配方是什么?
添加劑中含有醇醚化合物,、胺化合物,、緩蝕劑以及潤濕劑;s3:將步驟s1的剝離液廢液與添加劑混合,重新制備剝離液新液,,制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物,。光刻膠剝離液為純有機(jī)溶劑體系,廢液可通過蒸餾回收80-95%有效物,,得出純化液體,,而在上述制備方式中,純化液體所含的組分與添加劑所含的組分之間是具有相重復(fù)的,,可以認(rèn)為,,添加劑是根據(jù)已知的剝離液新液的組分進(jìn)行配制的,添加劑可以是對純化液體與剝離液新液之間的組分的差別而進(jìn)行的添加,、補(bǔ)充,,使得純化液體和添加劑混合后,能夠具有與剝離液新液相同的組分,。那么,,可以知道,在預(yù)先知道剝離液新液的組分的基礎(chǔ)上,,可以通過預(yù)先配制含有剝離液新液中的某些組分的添加劑,,然后在制備回收的剝離液廢液得出純化液體時,可以將添加劑加入純化液體中,,再進(jìn)行質(zhì)量分?jǐn)?shù)的調(diào)節(jié),。純化液體是將剝離液廢液進(jìn)行加壓、蒸餾,,去除剝離液廢液中的非剝離液新液的組分的物質(zhì),,然后得出的純化液體,純化液體中所含的組分物質(zhì),,都是剝離液新液所含有的組分物質(zhì),。進(jìn)一步技術(shù)方案中,所述的步驟1中得出的純化液體中含有的酰胺化合物的質(zhì)量分為:45%-60%,;含有的醇醚化合物的質(zhì)量分為:35%-50%,。
光刻膠又稱光致抗蝕劑,主要由感光樹脂,、增感劑和溶劑三種成分組成,。感光樹脂經(jīng)光照后,在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng),,使得這種材料的物理性能,,特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化,。經(jīng)曝光,、顯影,、刻蝕、擴(kuò)散,、離子注入,、金屬沉積等工藝將所需的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至加工的基板上、***通過去膠剝離液將未曝光部分余下的光刻膠清洗掉,,從而完成整個圖形轉(zhuǎn)移過程,。在液晶面板和amoled生產(chǎn)中***使用。現(xiàn)有的剝離液主要有兩種,,分別是水性剝離液和有機(jī)剝離液,,由于有機(jī)剝離液只能用于具有mo/al/mo結(jié)構(gòu)的制程中,無法用于ito/ag/ito,;且乙醇胺的含量高達(dá)60%以上,,有很強(qiáng)的腐蝕性,因此,,常用的剝離液是水性剝離液,,現(xiàn)有的水性剝離液主要成分為有機(jī)胺化合物,、極性有機(jī)溶劑以及水,,但現(xiàn)有的水性剝離液大都存在腐蝕金屬配線、光刻膠殘留,、環(huán)境污染大,、影響操作人員的安全性、剝離效果差等問題,。天馬微電子用哪家剝離液更多,?
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這些溶纖劑可以使用1種或組合使用2種以上。本發(fā)明剝離液中的溶纖劑的含量沒有特別限定,,例如,,推薦~,更推薦~,,特別推薦~,。本發(fā)明剝離液中,,為了抑制對金屬的浸蝕性,推薦還含有硅酸鹽,。硅酸鹽沒有特別限定,,例如,可以舉出硅酸鉀,、硅酸鈉等,。這些之中推薦硅酸鉀。本發(fā)明剝離液中的硅酸鹽的含量沒有特別限定,,例如,,推薦~,更推薦~,,特別推薦~,。需要說明的是,本發(fā)明剝離液中,,推薦*由上述成分構(gòu)成,,但只要不阻礙本發(fā)明的效果,可以含有例如聚氧化烯烷基醚系,、硅系的消泡劑等其它成分,。以上說明的本發(fā)明剝離液可以通過將上述成分溶于水中來制備。需要說明的是,,本發(fā)明剝離液的ph若為堿性則沒有特別限定,,但通常**將上述成分溶于水就成為堿性,因此沒有特別必要調(diào)整ph,。另外,,本發(fā)明剝離液可以通過將上述成分分別分開預(yù)先溶于水,成為抗蝕劑的剝離液套件,,將它們混合來制備,。具體來說,可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件,、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件,、進(jìn)而在其中使上述其它成分適當(dāng)含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等。通過使用本發(fā)明剝離液對施加有抗蝕劑的基材進(jìn)行處理,,抗蝕劑被細(xì)小地粉碎,。惠州銀蝕刻液剝離液費(fèi)用是多少
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