所述印刷品傳送帶(5)一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱(6),,所述印刷品放置箱(6)一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)上方設(shè)置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),,所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),,所述高壓噴頭(703)一側(cè)安裝有防濺射擋板(704),,所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)上方安裝有收卷調(diào)速器(801),,所述收卷調(diào)速器(801)一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802),,所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802)一側(cè)安裝有輥固定架(803),所述輥固定架(803)一側(cè)安裝有膠水盛放箱(804),,所述膠水盛放箱(804)下方安裝有點(diǎn)膠頭(805),,所述點(diǎn)膠頭(805)下方安裝有卷邊輥(806),所述卷邊輥(806)一側(cè)安裝有膠面收卷輥(807),,所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)一側(cè)安裝有電加熱箱(9),,所述電加熱箱(9)下方安裝有熱風(fēng)噴頭(10),所述熱風(fēng)噴頭(10)下方安裝有干燥度感應(yīng)器(11),所述干燥度感應(yīng)器(11)下方安裝有電氣控制箱(12),,所述電氣控制箱(12)上方安裝有液晶操作面板(13),。...【技術(shù)特征摘要】1.一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,其特征在于:包括主支撐架(1),、橫向支架,。如何挑選一款適合自己公司的剝離液?嘉興哪家剝離液銷售廠家
能夠除去抗蝕劑,。用本發(fā)明剝離液處理施加有抗蝕劑的基材的條件沒(méi)有特別限定,,例如,可以舉出在設(shè)為10~80℃的本發(fā)明剝離液中浸漬基材1~60分鐘左右的條件,、將設(shè)為10~80℃的本發(fā)明剝離液向基材噴霧1~60分鐘左右的條件,。需要說(shuō)明的是,浸漬時(shí),,可以搖動(dòng)基材,,或?qū)Ρ景l(fā)明剝離液施加超聲波??刮g劑的種類沒(méi)有特別限定,,可以是例如干膜抗蝕劑、液體抗蝕劑等中的任一種,。干膜抗蝕劑的種類也沒(méi)有特別限定,,例如推薦堿可溶型的干膜抗蝕劑。作為這樣的堿可溶型的干膜抗蝕劑,,例如,,可以舉出rd-1225(sap用25μm厚)(日立化成株式會(huì)社制)等。施加抗蝕劑的基材沒(méi)有特別限定,,例如,,可以舉出印刷布線板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器,、引線框中使用的各種金屬,、合金所形成的、薄膜,、基板,、部件等。按照上述方式本發(fā)明剝離液能夠從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑,,因此能夠在包括除去這樣的抗蝕劑的工序的印刷布線板,、半導(dǎo)體基板,、平板顯示器,、引線框等的制造方法中使用。上述制造方法之中推薦包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板的制造方法,,特別推薦基于半加成法的印刷布線板的制造方法,。本發(fā)明剝離液能夠除去的線/間距(l/s)沒(méi)有特別限定。深圳什么剝離液按需定制使用剝離液需要什么條件,。
所述抽真空氣體修飾法包括如下步驟:將將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中,,對(duì)密閉空間抽真空至光刻膠抗粘層氣化,保持1分鐘以上,,直接取出襯底,。進(jìn)一步的改進(jìn),所述襯底為硅,、氧化硅,、石英、玻璃,、氮化硅,、碳化硅、鈮酸鋰,、金剛石,、藍(lán)寶石或ito制成。進(jìn)一步的改進(jìn),,所述步驟(2)對(duì)襯底修飾的試劑包括hmds和十三氟正辛基硅烷,;對(duì)襯底修飾的試劑鍍?cè)谝r底表面。進(jìn)一步的改進(jìn),,所述所述光刻膠包括pmma,zep,,瑞紅膠,az膠,,納米壓印膠和光固化膠,。進(jìn)一步的改進(jìn),所述光刻膠厚度為1nm-100mm進(jìn)一步的改進(jìn),,所述光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓的方法為電子束曝光,,離子束曝光,,聚焦離子束曝光,重離子曝光,,x射線曝光,,等離子體刻蝕,紫外光刻,,極紫外光刻,,激光直寫或納米壓印。進(jìn)一步的改進(jìn),,所述黏貼層為pdms,,紫外固化膠,熱釋放膠,,高溫膠帶,,普通膠帶,pva,纖維素或ab膠,。上述選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法制備的微納結(jié)構(gòu)用于微納制造,,光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué),,生物領(lǐng)域,,mems領(lǐng)域,nems領(lǐng)域,。本發(fā)明的有益效果在于,,解決了現(xiàn)有負(fù)性光刻膠加工效率低,難于去膠,,去膠過(guò)程中損傷襯底,,對(duì)于跨尺度結(jié)構(gòu)的加工過(guò)程中加工精度和效率的矛盾等問(wèn)題。
本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域,,具體涉及一種剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法,。背景技術(shù):剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,lift-off先形成光阻并圖案化,,再在光阻上成膜,,移除光阻的同時(shí),沉積在光阻上的膜層也被剝離,,從而完成膜層的圖形化,,通過(guò)該制程可以實(shí)現(xiàn)兩次光刻合并為一次以達(dá)到光罩縮減的目的。現(xiàn)有技術(shù)中,,由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬,,ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層),在剝離光阻的同時(shí)薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中,大量的薄膜碎屑將會(huì)導(dǎo)致剝離液機(jī)臺(tái)中的過(guò)濾器(filter)堵塞,,從而導(dǎo)致機(jī)臺(tái)無(wú)法使用,,并且需要停止所有剝離液機(jī)臺(tái)的工作,待將filter清理后再次啟動(dòng),,降低了生產(chǎn)效率,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法,可以提高生產(chǎn)效率,。本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái),,包括:依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱,;過(guò)濾器,,所述過(guò)濾器的一端設(shè)置通過(guò)***管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接,所述過(guò)濾器的另一端通過(guò)第二管道與下一級(jí)腔室連接,;其中,,至少在所述***管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開(kāi)關(guān)。在一些實(shí)施例中,。哪家的剝離液蝕刻效果好?
所述防濺射擋板下方安裝有印刷輥,所述表面印刷結(jié)構(gòu)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu),,所述膠面剝離結(jié)構(gòu)上方安裝有收卷調(diào)速器,,所述收卷調(diào)速器一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī),所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)一側(cè)安裝有輥固定架,,所述輥固定架一側(cè)安裝有膠水盛放箱,,所述膠水盛放箱下方安裝有點(diǎn)膠頭,所述點(diǎn)膠頭下方安裝有卷邊輥,,所述卷邊輥一側(cè)安裝有膠面收卷輥,,所述膠面剝離結(jié)構(gòu)一側(cè)安裝有電加熱箱,所述電加熱箱下方安裝有熱風(fēng)噴頭,,所述熱風(fēng)噴頭下方安裝有干燥度感應(yīng)器,所述干燥度感應(yīng)器下方安裝有電氣控制箱,,所述電氣控制箱上方安裝有液晶操作面板。進(jìn)一步的,,所述主支撐架與所述橫向支架通過(guò)螺栓連接,,所述伺服變頻電機(jī)與所述電機(jī)減速箱通過(guò)導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,,所述印刷品傳送帶與所述印刷品放置箱通過(guò)皮帶連接,,所述電加熱箱與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)通過(guò)導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,,所述油墨放置箱與所述油墨加壓器通過(guò)管道連接,,所述油墨加壓器與所述高壓噴頭通過(guò)管道連接,所述印刷輥共有兩個(gè),對(duì)稱設(shè)置,,所述防濺射擋板與所述油墨放置箱焊接,。進(jìn)一步的,所述收卷調(diào)速器與所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)導(dǎo)線連接,,所述輥固定架與所述膠面收卷輥通過(guò)軸連接,,所述膠水盛放箱與所述點(diǎn)膠頭通過(guò)管道連接。哪家公司的剝離液的口碑比較好,?東莞剝離液銷售電話
剝離液蝕刻后如何判斷好壞 ,?嘉興哪家剝離液銷售廠家
采用此方法可以制備出負(fù)性光刻膠所能制備的任意結(jié)構(gòu),同時(shí)相比于傳統(tǒng)的加工,,本方案加工效率可以提高上千倍,,且圖形的結(jié)構(gòu)越大相對(duì)的加工效率越高。本發(fā)明為微納制造領(lǐng)域,,光學(xué)領(lǐng)域,,電學(xué)領(lǐng)域,聲學(xué)領(lǐng)域,,生物領(lǐng)域,,mems制造,nems制造,,集成電路等領(lǐng)域提供了一種新的有效的解決方案,。附圖說(shuō)明圖1為本發(fā)明制備用電子束在pmma上曝光出圓形陣列的輪廓;圖2為本發(fā)明用黏貼層撕走pmma輪廓以外的結(jié)構(gòu)后得到的圓形柱狀陣列,;圖3為實(shí)施例1步驟三的結(jié)構(gòu)圖,;圖4為實(shí)施例1步驟四的結(jié)構(gòu)圖;圖5為實(shí)施例1步驟五的結(jié)構(gòu)圖,;圖6為實(shí)施例1步驟六的結(jié)構(gòu)圖,。具體實(shí)施方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,,下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的描述,。實(shí)施例1一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,包括以下步驟:步驟一,、提供襯底,,并清洗;步驟二,、使用十三氟正辛基硅烷利用高溫氣體修飾法對(duì)襯底進(jìn)行修飾,;步驟三、利用旋涂的方法在襯底上旋涂光刻膠pmma得到薄膜,,如圖3,。步驟四,、在光刻膠上加工出所需結(jié)構(gòu)的輪廓如圓形,如圖4所示,。步驟五,、在加工出結(jié)構(gòu)輪廓的薄膜上面覆蓋一層黏貼層,如圖5,。步驟六,、揭開(kāi)黏貼層及結(jié)構(gòu)輪廓以外的薄膜,在襯底上留下輪廓內(nèi)的微納尺度結(jié)構(gòu),。嘉興哪家剝離液銷售廠家
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司成立于1999-10-25年,,在此之前我們已在高純雙氧水,高純異丙醇,,蝕刻液,,剝離液行業(yè)中有了多年的生產(chǎn)和服務(wù)經(jīng)驗(yàn),深受經(jīng)銷商和客戶的好評(píng),。我們從一個(gè)名不見(jiàn)經(jīng)傳的小公司,,慢慢的適應(yīng)了市場(chǎng)的需求,得到了越來(lái)越多的客戶認(rèn)可,。公司主要經(jīng)營(yíng)高純雙氧水,,高純異丙醇,蝕刻液,,剝離液等產(chǎn)品,,我們依托高素質(zhì)的技術(shù)人員和銷售隊(duì)伍,本著誠(chéng)信經(jīng)營(yíng),、理解客戶需求為經(jīng)營(yíng)原則,公司通過(guò)良好的信譽(yù)和周到的售前,、售后服務(wù),,贏得用戶的信賴和支持。博洋化學(xué)嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)研發(fā),,產(chǎn)品在按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試完成后,,通過(guò)質(zhì)檢部門檢測(cè)后推出。我們通過(guò)全新的管理模式和周到的服務(wù),,用心服務(wù)于客戶,。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司依托多年來(lái)完善的服務(wù)經(jīng)驗(yàn)、良好的服務(wù)隊(duì)伍,、完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和強(qiáng)大的合作伙伴,,目前已經(jīng)得到精細(xì)化學(xué)品行業(yè)內(nèi)客戶認(rèn)可和支持,并贏得長(zhǎng)期合作伙伴的信賴,。