剝離液是一種通用濕電子化學(xué)品,,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),,同時防止對襯底層造成破壞,。剝離液是集成電路、分立器件,、顯示面板,、太陽能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關(guān)鍵性電子化工材料,下游應(yīng)用領(lǐng)域***,,但整體應(yīng)用需求較低,,因此市場規(guī)模偏小。
剝離液應(yīng)用在太陽能電池中,,對于剝離液的潔凈度要求較低,,*需達到G1等級,,下游客戶主要要天合、韓華,、通威等;應(yīng)用到面板中,,通常要達到G2,、G3等級,且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線,,下游客戶有京東方,、中星光電;在半導(dǎo)體中的應(yīng)用可分等級,,在8英寸及以下的晶圓制造中,,對于剝離液的要求達到G3、G4水平,,大硅片,、12英寸晶元等**產(chǎn)品要達到G5水平。 龍騰光電用的哪家的剝離液,?南通哪家蝕刻液剝離液報價
含有的胺化合物的質(zhì)量分為:1%-2%,。進一步技術(shù)方案中,所述的添加劑中含有醇醚化合物的質(zhì)量分為:30%-50%,;含有胺化合物的質(zhì)量分為:35%-55%,;含有緩蝕劑的質(zhì)量分為:6%-12%;含有潤濕劑的質(zhì)量分為:1%-7%,。進一步技術(shù)方案中,,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的酰胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的酰胺化合物均為n-甲基甲酰胺(nmf)、n-甲基乙酰胺,、n,,n-二甲基甲酰胺中的一種或者多種。進一步技術(shù)方案中,,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的醇醚化合物以及步驟s2中添加劑所含的醇醚化合物均為二乙二醇丁醚(bdg),、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚,、乙二醇乙醚中的一種或多種,。進一步技術(shù)方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的胺化合物為環(huán)胺與鏈胺,。進一步技術(shù)方案中,,所述的環(huán)胺為氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪,、氨乙基嗎啉中的一種或多種,;所述的鏈胺為乙醇胺,、二乙醇胺、三乙醇胺,、二甘醇胺,、異丙醇胺、甲基二乙醇胺,、amp-95中的一種或多種,。進一步技術(shù)方案中,所述的三唑類化合物,,具體為苯并三氮唑(bta),、甲基苯并三氮唑(tta)中的任意一種。進一步技術(shù)方案中,,所述的潤濕劑為含羥基化合物,,具體為為聚乙二醇、甘油中的任意一種,。紹興剝離液銷售廠天馬微電子用的哪家的剝離液,?
本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術(shù)::印刷布線板的制造,、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,,伴隨微細布線化而使用胺系的剝離液。然而,,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難,、海外的法規(guī)制度的問題,而避免其使用,。近年來,,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點,還報道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻1),,由于剝離時的抗蝕劑沒有微細地粉碎,,因此存在近年的微細的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2002-323776號公報技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題因此,,本發(fā)明的課題在于,,提供容易除去微細的布線間的抗蝕劑的技術(shù)。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn),,含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,,即使是非常微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎,從而完成本發(fā)明,。即,,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,,含有鉀鹽和溶纖劑,。另外,,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法,其特征在于,,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材,。此外,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液套件,。
騰田化學(xué)技術(shù)(上海)技術(shù)有限公司(簡稱:騰田化學(xué)),,騰田化學(xué)坐落于上海五角場萬達廣場,依托復(fù)旦大學(xué)·東華大學(xué)·華東理工大學(xué)·中科院有機所·上海石油商品研究所就相關(guān)材料領(lǐng)域建立研發(fā)中心,,憑借強大的科研實力,,多年豐富的研發(fā)經(jīng)驗,,共同建立化工材料分析中心與新材料研發(fā)中心;騰田化學(xué)致力于化工行業(yè)材料檢測,、材料分析、配方還原,、新領(lǐng)域新材料的研發(fā),;加快新項目整體研發(fā)進度,縮短研發(fā)周期,,推動化工產(chǎn)業(yè)自主研發(fā)的進程.為企業(yè)提供一站式服務(wù),。騰田化學(xué)作為國內(nèi)的配方及研發(fā)技術(shù)有限公司,騰田化學(xué)技術(shù)團隊具有豐富研發(fā)經(jīng)驗,,與多所高校及研究所建立研究性合作平臺,,擁有前列的技術(shù)研發(fā)平臺、雄厚的科研技術(shù)力量以及精密的高科技儀器設(shè)備,;有標準的圖譜庫,;材料庫;完善的數(shù)據(jù)庫,;能夠有效的解決某些前列領(lǐng)域特殊產(chǎn)品**能性助劑的定性定量分析及研發(fā)技術(shù)服務(wù),,為企業(yè)解決在研發(fā)中遇到的難題,突破多領(lǐng)域技術(shù)瓶頸,;并且與化工行業(yè)上百家有規(guī)模企業(yè)建立長期技術(shù)合作,;騰田化學(xué)中心擁有強大的技術(shù)研發(fā)團隊:由數(shù)位工程師在新材料前列領(lǐng)域已幫助多家企業(yè)解決實際生產(chǎn)問題,協(xié)助企業(yè)成功自主研發(fā)**產(chǎn)品項目很多項,。哪家的剝離液的價格低,?
所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8上方安裝有收卷調(diào)速器801,所述收卷調(diào)速器801一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動電機802,,所述收卷驅(qū)動電機802一側(cè)安裝有輥固定架803,,所述輥固定架803一側(cè)安裝有膠水盛放箱804,所述膠水盛放箱804下方安裝有點膠頭805,,所述點膠頭805下方安裝有卷邊輥806,,所述卷邊輥806一側(cè)安裝有膠面收卷輥807,,所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8一側(cè)安裝有電加熱箱9,所述電加熱箱9下方安裝有熱風(fēng)噴頭10,,所述熱風(fēng)噴頭10下方安裝有干燥度感應(yīng)器11,所述干燥度感應(yīng)器11下方安裝有電氣控制箱12,,所述電氣控制箱12上方安裝有液晶操作面板13。本實施例中,,所述主支撐架1與所述橫向支架2通過螺栓連接,,所述伺服變頻電機3與所述電機減速箱4通過導(dǎo)線連接。本實施例中,,所述印刷品傳送帶5與所述印刷品放置箱6通過皮帶連接,,所述電加熱箱9與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8通過導(dǎo)線連接。本實施例中,,所述油墨放置箱701與所述油墨加壓器702通過管道連接,,所述油墨加壓器702與所述高壓噴頭703通過管道連接,所述印刷輥705共有兩個,,對稱設(shè)置,,所述防濺射擋板704與所述油墨放置箱701焊接。本實施例中,,所述收卷調(diào)速器801與所述收卷驅(qū)動電機802通過導(dǎo)線連接,,所述輥固定架803與所述膠面收卷輥807通過軸連接。友達光電用的哪家的剝離液,?南通格林達剝離液供應(yīng)
剝離液的技術(shù)指標哪家比較好,?南通哪家蝕刻液剝離液報價
技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,可用于微納制造,,光學(xué)領(lǐng)域,,電學(xué),生物領(lǐng)域,,mems領(lǐng)域,,nems領(lǐng)域。技術(shù)背景:微納制造技術(shù)是衡量一個國家制造水平的重要標志,,對提高人們的生活水平,,促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展與經(jīng)濟增長,保障**安全等方法發(fā)揮著重要作用,,微納制造技術(shù)是微傳感器,、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ),?;诎雽?dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù)是**常用的手段之一。對于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結(jié)構(gòu),,再通過金屬的沉積和溶膠實現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)從而得到所需要的納米孔,。然而傳統(tǒng)的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應(yīng)等會造成曝光后的微納結(jié)構(gòu)側(cè)壁呈現(xiàn)一定的角度(如正梯形截面),這會造成蒸發(fā)過程中的掛壁嚴重從而使lift-off困難,。同時由于我們常用的高分辨的負膠如hsq,,在去膠的過程中需要用到危險的氫氟酸,而氫氟酸常常會腐蝕石英,,氧化硅等襯底從而影響器件性能,,特別的,對于跨尺度高精度納米結(jié)構(gòu)的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰(zhàn),。技術(shù)實現(xiàn)要素::為了克服上述技術(shù)問題,,本發(fā)明公開了一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法。南通哪家蝕刻液剝離液報價
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司致力于精細化學(xué)品,,是一家生產(chǎn)型公司,。博洋化學(xué)致力于為客戶提供良好的高純雙氧水,高純異丙醇,,蝕刻液,,剝離液,,一切以用戶需求為中心,,深受廣大客戶的歡迎。公司注重以質(zhì)量為中心,,以服務(wù)為理念,,秉持誠信為本的理念,打造精細化學(xué)品良好品牌,。博洋化學(xué)立足于全國市場,,依托強大的研發(fā)實力,融合前沿的技術(shù)理念,,及時響應(yīng)客戶的需求,。