能夠除去抗蝕劑,。用本發(fā)明剝離液處理施加有抗蝕劑的基材的條件沒有特別限定,例如,,可以舉出在設(shè)為10~80℃的本發(fā)明剝離液中浸漬基材1~60分鐘左右的條件,、將設(shè)為10~80℃的本發(fā)明剝離液向基材噴霧1~60分鐘左右的條件。需要說明的是,,浸漬時,,可以搖動基材,或?qū)Ρ景l(fā)明剝離液施加超聲波,??刮g劑的種類沒有特別限定,可以是例如干膜抗蝕劑,、液體抗蝕劑等中的任一種,。干膜抗蝕劑的種類也沒有特別限定,例如推薦堿可溶型的干膜抗蝕劑,。作為這樣的堿可溶型的干膜抗蝕劑,,例如,可以舉出rd-1225(sap用25μm厚)(日立化成株式會社制)等,。施加抗蝕劑的基材沒有特別限定,,例如,可以舉出印刷布線板,、半導(dǎo)體基板,、平板顯示器,、引線框中使用的各種金屬、合金所形成的,、薄膜,、基板、部件等,。按照上述方式本發(fā)明剝離液能夠從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑,,因此能夠在包括除去這樣的抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導(dǎo)體基板,、平板顯示器,、引線框等的制造方法中使用。上述制造方法之中推薦包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板的制造方法,,特別推薦基于半加成法的印刷布線板的制造方法,。本發(fā)明剝離液能夠除去的線/間距(l/s)沒有特別限定。哪家公司的剝離液的是口碑推薦,?惠州中芯國際用剝離液私人定做
根據(jù)對華新光電,、日東集團的剝離液成分進行分析得知,剝離液主要成分為單乙醇胺(MEA),,二甲亞砜(DMS0)和二乙二醇單丁醚(BDG),,其中市場上大部分以二乙二醇單丁醚居多。剝離液廢液多呈深黑色且氣味大,,由以下幾種組分構(gòu)成:(1),、1~20%重量的醇胺或者酰胺,以伯胺和腫胺為主,。(2),、10~60%重量的醇;(3),、10~50%重量的水,;(4)、5~50%重量的極性有機溶劑,,如,;N-甲基吡咯烷酮(NMP),環(huán)丁基砜,、二甲基亞砜(DMSO),、二甲基乙酰胺、N-乙基甲酰胺等,。(5),、~3%重量的金屬抗蝕劑,如2-氨基環(huán)己醇,、2-氨基環(huán)戊醇等,。根據(jù)上述分析可以看出,,剝離液中大部分是有機溶劑,可以加以回收資源化利用,,或者將剝離廢液進行脫色凈化處理后再用于生產(chǎn)中,,配成剝離液。當(dāng)前國內(nèi)主要產(chǎn)生剝離液的廠家主要分布在天津及深圳一帶,,均是高新技術(shù)發(fā)達區(qū)域,,隨著國內(nèi)經(jīng)濟及城市的發(fā)展,剝離液產(chǎn)廢地點將越來越,,也將引起環(huán)保的重視及關(guān)注,。 安徽銀蝕刻液剝離液價格好的剝離液的標準是什么。
當(dāng)前級別腔室101對應(yīng)的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,,通過閥門開關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級別腔室101對應(yīng)的存儲箱20與過濾器30之間的液體流通,,從而可以在閥門開關(guān)60關(guān)閉后取下被阻塞的過濾器30進行清理并不會導(dǎo)致之后的下一級腔室102的剝離進程無法繼續(xù)。其中,,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級向玻璃基板分別提供剝離液,;與多個腔室10分別對應(yīng)連接的多個存儲箱20,各級腔室10分別通過管道與相應(yīng)的存儲箱20連接,,存儲箱20用于收集和存儲來自當(dāng)前級腔室101的經(jīng)歷剝離制程的剝離液,;過濾器30用于過濾來自當(dāng)前級腔室101的存儲箱20的剝離液,并且過濾器30還可以通過管道與下一級腔室102連接,,從而過濾器30可以將過濾后的剝離液輸送給下一級腔室102,。各腔室10設(shè)計為適合進行剝離制程,用于向制程中的玻璃基板供給剝離液,,具體結(jié)構(gòu)可參考現(xiàn)有設(shè)計在此不再贅述,。各級腔室10分別于相應(yīng)的存儲箱20通過管道連接,,腔室10中經(jīng)歷剝離制程后的剝離液可以經(jīng)管道輸送至存儲箱20中,,由存儲箱20來收集和存儲。各級腔室10的存儲箱20分別與相應(yīng)的過濾器30通過管道連接,,經(jīng)存儲箱20處理后的剝離液再經(jīng)相應(yīng)的過濾器30過濾后才經(jīng)管道輸送至下一級腔室102,。
本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,請參閱圖5,,圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖,,該方法包括:步驟110、將多級腔室順序排列,,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液,;步驟120、將來自于當(dāng)前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當(dāng)前級腔室相應(yīng)的存儲箱中,,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑,;步驟130,、使用當(dāng)前級腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;步驟140,、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān);步驟150,、取出被阻塞的所述過濾器,。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,,因此,,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān),。在上述實施例中,,對各個實施例的描述都各有側(cè)重,某個實施例中沒有詳述的部分,,可以參見其他實施例的相關(guān)描述,。 剝離液可以實現(xiàn)光刻膠的剝離;
閥門開關(guān)60設(shè)置在每一子管道301上,。在一些實施例中,,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第二子管道502上,。具體的,閥門開關(guān)60的設(shè)置位置可以設(shè)置在連接過濾器30的任意管道上,,在此不做贅述,。在一些實施例中,請參閱圖4,,圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖,。第二管道50包括多個第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,,且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室連通102,。其中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第三子管道503上,。本申請實施例提供的剝離液機臺,,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應(yīng)連接一存儲箱,;過濾器,,所述過濾器的一端設(shè)置通過管道與當(dāng)前級腔室對應(yīng)的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接,;其中,,至少在管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān),。通過閥門開關(guān)控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進程,,提高生產(chǎn)效率,。本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,請參閱圖5,,圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖,。蘇州剝離液哪家好?,;蕪湖鋁鉬鋁蝕刻液剝離液訂做價格
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本發(fā)明涉及剝離液技術(shù)領(lǐng)域:,更具體的說是涉及一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,。背景技術(shù)::電子行業(yè)飛速發(fā)展,,光刻膠應(yīng)用也越來越。在半導(dǎo)體元器件制造過程中,,經(jīng)過涂敷-顯影-蝕刻過程,,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,,才能再進行下道工序,。因此,光刻膠的剝離質(zhì)量也有直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量,。但是傳統(tǒng)光刻膠剝離液雖然能剝離絕大部分光阻,,但對于高世代面板(高世代面板是代指大尺寸的液晶面板),傳統(tǒng)剝離液親水性不夠,,水置換能力較差,,容易造成面板邊緣光刻膠殘留。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的是提供一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,。為了實現(xiàn)上述目的,,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:本申請公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質(zhì)量組分:酰胺:50-60%,;醇醚:35-45%,;環(huán)胺與鏈胺:3-7%,;緩蝕劑:%%,;潤濕劑:%%。的技術(shù)方案中,,所述的酰胺為n-甲基甲酰胺,、n-甲基乙酰胺、n,,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種,。的技術(shù)方案中,,所述的醇醚為二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚,、乙二醇甲醚,、乙二醇乙醚中的任意一種或多種。的技術(shù)方案中,?;葜葜行緡H用剝離液私人定做