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揚州銀蝕刻液蝕刻液私人定做

來源: 發(fā)布時間:2023-08-29

    很好的對注入量進行精確控制,提高了該裝置的制備純度,。附圖說明圖1為本實用新型的整體示意圖,;圖2為本實用新型的a處放大示意圖,;圖3為本實用新型的b處放大示意圖,;圖4為本實用新型翻折觀察板沿a-a方向的截面示意圖,。圖中:1,、制備裝置主體,,2,、高效攪拌裝置,,3、過濾除雜裝置,,4,、翻折觀察板,401,、觀察窗翻折滾輪,,402、內(nèi)嵌觀察窗,,5,、裝置底座,,6、成品罐,,7,、鹽酸裝罐,8,、硝酸裝罐,,9、熱水流入漏斗,,10,、加固支架,11,、防燙隔膜,,12、旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,,13,、運轉(zhuǎn)電機組,14,、震蕩彈簧件,,15、控制面板,,16,、致密防腐桿,17,、攪動孔,,18、注入量控制容器,,19,、注入量觀察刻度線,20,、限流銷,,21、負壓引流器,,22,、嵌入引流口。具體實施方式下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚,、完整地描述,顯然,,所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例,,而不是全部的實施例,,基于本實用新型中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,,都屬于本實用新型保護的范圍,。請參閱圖1-4,本實用新型提供一種技術(shù)方案:一種ito蝕刻液制備裝置,,包括制備裝置主體1,、高效攪拌裝置2和過濾除雜裝置3。哪家的蝕刻液價格比較低,?揚州銀蝕刻液蝕刻液私人定做

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ITO蝕刻液的分類:已經(jīng)使用的蝕刻液類型有六種類型:酸性氯化銅,、堿性氯化銅、氯化鐵,、過硫酸銨,、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液,。酸性氯化銅,,工藝體系,根據(jù)添加不同的氧化劑又可細分為氯化銅+空氣體系,、氯化銅+氯酸鈉體系,、氯化銅+雙氧水體系三種蝕刻工藝,在生產(chǎn)過程中通過補加鹽酸+空氣,、鹽酸加氯酸鈉,、鹽酸+雙氧水和少量的添加劑來實現(xiàn)線路板板的連續(xù)蝕刻生產(chǎn)。ITO蝕刻液由氟化銨,、草酸,、硫酸鈉、氫氟酸,、硫酸,、硫酸銨、甘油,、水組成。江蘇TIO去膜液生產(chǎn)商ITO顯影劑就是一種納米導(dǎo)光性能的材料合成的,。成都市面上哪家蝕刻液哪里買如何挑選一款適合自己公司的蝕刻液,?

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    裝置主體1的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐21,裝置主體1的內(nèi)部中間部位固定連接有連接構(gòu)件11,,裝置主體1的內(nèi)部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥10,,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)固定連接有過濾部件9,裝置主體1的內(nèi)部底端另一側(cè)固定連接有收集倉8,,收集倉8的另一側(cè)底部固定連接有密封閥門7,,過濾部件9的頂端兩側(cè)活動連接有滑動蓋24,,過濾部件9的內(nèi)部中間兩側(cè)固定連接有收縮彈簧管25,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)兩端嵌入連接有螺紋管27,,連接構(gòu)件11的內(nèi)部中間兩側(cè)活動連接有活動軸28,,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)中間兩側(cè)嵌入連接有密封軟膠層29。推薦的,,硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環(huán)22,,在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候,需要將儲罐進行密封,,密封環(huán)22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封,,使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內(nèi)部形成一個密閉的空間,避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進入儲罐內(nèi),,有效的提高了裝置使用的密封性,。推薦的,連接構(gòu)件11的兩側(cè)嵌入連接有海綿層12,,在使用裝置制備蝕刻液的時候,,需要通過連接構(gòu)件11將裝置主體1內(nèi)部的部件進行連接,在旋轉(zhuǎn)連接構(gòu)件11的兩側(cè)時,,操作人員的手會與連接構(gòu)件11接觸,,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收。

    更推薦滿足,。參照圖4,,在添加劑(硅烷系偶聯(lián)劑)的aeff處于,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良**少化,,在硅烷系偶聯(lián)劑的aeff處于,,能夠使氧化物膜損傷不良**少。因此,,在利用上述范圍所重疊范圍(規(guī)格(spec)滿足區(qū)間)即aeff為2以上,,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良以及氧化物膜損傷不良**少化。在上述添加劑的aeff值處于上述范圍內(nèi)的情況下,,上述添加劑可以具有適宜水平的防蝕能力,,由此,即使沒有消耗費用和時間的實際的實驗過程,,也能夠選擇具有目標防蝕能力的硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑,。本發(fā)明的上述硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑推薦按照保護對象膜(氧化物膜)的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加,。例如,,對于包含氧化物膜(例如,sio2)和上述氧化物膜上的氮化物膜(例如,sin)的膜在160℃以添加劑濃度1000ppm基準處理10,000秒的情況下,,推薦按照保護對象膜的蝕刻程度(etchingamount,,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度添加。本發(fā)明的添加劑的防蝕能力可以通過上述添加劑的aeff值與濃度之積來計算,,由蝕刻程度(etchingamount,,e/a)來表示。蝕刻程度的正的值表示蝕刻工序后厚度增加,。哪家的蝕刻液比較好用點,?

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    silane)系偶聯(lián)劑和水,上述硅烷系偶聯(lián)劑使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以,。此外,,提供一種選擇硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法,,其特征在于,,選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。發(fā)明效果本發(fā)明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優(yōu)異的硅烷系偶聯(lián)劑的效果,。此外,,本發(fā)明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖,。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發(fā)生的工序不良的圖,。圖4是示出能夠?qū)?dnand閃存制造工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯(lián)劑適宜防蝕能力范圍的圖,。圖5是示出硅烷系偶聯(lián)劑的aeff值與蝕刻程度,。上海和輝光電用的哪家的蝕刻液?四川京東方用的蝕刻液蝕刻液溶劑

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    所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸,、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種。本發(fā)明的蝕刻液推薦進一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽,。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸,、蘋果酸、檸檬酸,、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種,。推薦為,所述酸的濃度為20重量%至70重量%,,所述有機硫化合物的濃度為%至10重量%,。另外,所述α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度推薦為%至5重量%,。另外,本發(fā)明涉及一種使用所述蝕刻液在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻方法,。發(fā)明的效果本發(fā)明的蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,。另外,,本發(fā)明的蝕刻液實質(zhì)上不含氫氟酸及過氧化氫,因此毒性低,,保存穩(wěn)定性優(yōu)異,。具體實施方式本發(fā)明的蝕刻液為含有選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸與選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物的水溶液,。所述酸中,,從蝕刻速度的穩(wěn)定性及酸的低揮發(fā)性的觀點來看,推薦為硫酸,。酸的濃度并無特別限制,,推薦為20重量%至70重量%,更推薦為30重量%至60重量%,。在酸的濃度小于20重量%的情況下,,有無法獲得充分的鈦蝕刻速度的傾向,在超過70重量%的情況下,,有蝕刻液的安全性成問題的傾向,。揚州銀蝕刻液蝕刻液私人定做

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