光刻膠殘留大,,殘留分布不均勻,并且產生邊緣聚集殘留,。為了能夠進一步地表示配方一和配方二之間的光刻膠殘留量對比,,圖2中將多張單張檢測圖進行疊加,可以更加清楚地看出兩者之間的區(qū)別,,能夠明顯地看出使用配方一的剝離液,,高世代面板邊緣光刻膠殘留量大。下面列舉更多剝離液組分實施例,。表三:不同組分的剝離液表四:測試剝離性能時間30s50s70s90s1okokokok2okokokok3okokokok4okokokok5okokokok6okokokok7okokokok8okokokok9okokokok表三為9組不同組分的所制成的剝離液,,9組不同組分的剝離液都進行剝離性能測試,在50℃下分別放入切好的玻璃,,進行剝離性能測試,,測試結果如表四所示,具有良好的剝離效果,。通過上述,,本實施方式中的剝離液采用酰胺、醇醚,、環(huán)胺與鏈胺,、緩蝕劑、潤濕劑制得,,有效地提高了光刻膠的剝離效果,,減少了光刻膠的殘留,。對所公開的實施例的上述說明,使本領域專業(yè)技術人員能夠實現(xiàn)或使用本發(fā)明,。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的,,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現(xiàn),。因此,,本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例。質量好的剝離液的公司聯(lián)系方式,。江蘇剝離液銷售電話
本發(fā)明涉及化學制劑技術領域:,特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,。背景技術::隨著半導體制造技術以及立體封裝技術的不斷發(fā)展,,電子器件和電子產品對多功能化和微型化的要求越來越高。在這種小型化趨勢的推動下,,要求芯片的封裝尺寸不斷減小,。3d疊層粉妝技術的封裝體積小,立體空間大,,引線距離短,,信號傳輸快,所以能夠更好地實現(xiàn)封裝的微型化,。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式,。疊層晶圓在制造的過程中會對**外層的晶圓表面進行顯影蝕刻,當中會用到光刻膠剝離液,。合肥半導體剝離液費用剝離液可用于去除光刻膠,;
光刻膠又稱光致抗蝕劑,主要由感光樹脂,、增感劑和溶劑三種成分組成,。感光樹脂經光照后,在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應,,使得這種材料的物理性能,,特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化,。經曝光,、顯影、刻蝕,、擴散,、離子注入、金屬沉積等工藝將所需的微細圖形從掩模版轉移至加工的基板上,、***通過去膠剝離液將未曝光部分余下的光刻膠清洗掉,,從而完成整個圖形轉移過程,。在液晶面板和amoled生產中***使用。現(xiàn)有的剝離液主要有兩種,,分別是水性剝離液和有機剝離液,,由于有機剝離液只能用于具有mo/al/mo結構的制程中,無法用于ito/ag/ito,;且乙醇胺的含量高達60%以上,,有很強的腐蝕性,因此,,常用的剝離液是水性剝離液,,現(xiàn)有的水性剝離液主要成分為有機胺化合物、極性有機溶劑以及水,,但現(xiàn)有的水性剝離液大都存在腐蝕金屬配線,、光刻膠殘留、環(huán)境污染大,、影響操作人員的安全性,、剝離效果差等問題。
隨著國內電子制造產業(yè)和光電產業(yè)的迅速發(fā)展,,光刻膠剝離液等電子化學品的使用量也大為増加,。特別是縱觀近幾年度的光電行業(yè),風靡全球的智能手持設備,、移動終端等簡直成為了光電行業(yè)的風向標:與之相關的光電領域得到了飛速的發(fā)展,,鏡頭模組、濾光片,、LTPS液晶顯示面板,、觸摸屏幕、傳感器件等等,。而光電行業(yè)的其他領域,,雖然也有增長,但是遠不及與智能手持設備相關的光電領域,。工業(yè)上所使用的剝離液主要是有機胺和極性有機溶劑的組合物,,通過溶脹和溶解方式剝離除去光刻膠。上述有機胺可包括單乙醇胺(MEA),,二甲基乙酰胺(DMAC),,N-甲基甲酰胺(NMF),N-甲基ニ乙醇胺(MDEA)等,。上述極性有機溶劑可包括二乙二醇甲醚(DGME),,二乙二醇單丁醚(BDG),二甲亞砜(DMS0),,羥乙基哌嗪(NEP)等,。由于LCD液晶屏具有體積小,、質量輕、清晰度高,、圖像色彩好等優(yōu)點,,被廣泛應用于工業(yè)生產中,按目前使用的液晶電視,、電腦顯示屏等生命周期為6-8年計算,,未來隨著年代的更替,LCD的生產量液將會增加,,從而導致剝離液的使用量也大量增加,,剝離液大量使用的同時也產生大量剝離液廢液。剝離液廢液中除了含有少量高分子樹脂和光敏劑外,。 剝離液應用于什么樣的場合,?
所述的鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺,、三乙醇胺,、二甘醇胺,、異丙醇胺,、甲基二乙醇胺、amp-95中的任意一種或多種,。技術方案中,,所述的環(huán)胺為氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪,、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種,。技術方案中,所述的緩蝕劑為三唑類物質,。的技術方案中,,所述的緩蝕劑為苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑中的任意一種,。技術方案中,,所述的潤濕劑含有羥基。技術方案中,,所述的潤濕劑為聚乙二醇,、甘油中的任意一種。經由上述的技術方案可知,,與現(xiàn)有技術相比,,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中加入環(huán)胺與鏈胺,能夠滲透,、斷開光刻膠分子間弱結合力,,能夠快速,、有效地溶解光刻膠,而配方中加入潤濕劑,,能夠有效地減少接觸角,,增強親水性,使得剝離液親水性良好,,能快速高效地剝離溶解光刻膠,。附圖說明:圖1為配方一和配方二的剝離液滴落在平面時兩者的接觸角對比圖。圖2為配方一和配方二的剝離液應用是光刻膠的殘留量對比圖,。具體實施方式現(xiàn)有技術中的剝離液其水置換能力較差,,容易造成面板邊緣光刻膠殘留,本申請經過大量的試驗,,創(chuàng)造性的發(fā)現(xiàn),,在剝離液中加入潤濕劑,能夠使固體物料(高世代面板)更易被水浸濕的物質,,通過降低其表面張力或界面張力,,使水能展開在固體物料。天馬微電子用哪家剝離液更多,?東莞京東方用的蝕刻液剝離液價格
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能夠除去抗蝕劑,。用本發(fā)明剝離液處理施加有抗蝕劑的基材的條件沒有特別限定,,例如,可以舉出在設為10~80℃的本發(fā)明剝離液中浸漬基材1~60分鐘左右的條件,、將設為10~80℃的本發(fā)明剝離液向基材噴霧1~60分鐘左右的條件,。需要說明的是,浸漬時,,可以搖動基材,,或對本發(fā)明剝離液施加超聲波??刮g劑的種類沒有特別限定,,可以是例如干膜抗蝕劑、液體抗蝕劑等中的任一種,。干膜抗蝕劑的種類也沒有特別限定,,例如推薦堿可溶型的干膜抗蝕劑。作為這樣的堿可溶型的干膜抗蝕劑,,例如,,可以舉出rd-1225(sap用25μm厚)(日立化成株式會社制)等。施加抗蝕劑的基材沒有特別限定,例如,,可以舉出印刷布線板,、半導體基板、平板顯示器,、引線框中使用的各種金屬,、合金所形成的、薄膜,、基板,、部件等。按照上述方式本發(fā)明剝離液能夠從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑,,因此能夠在包括除去這樣的抗蝕劑的工序的印刷布線板,、半導體基板、平板顯示器,、引線框等的制造方法中使用,。上述制造方法之中推薦包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板的制造方法,特別推薦基于半加成法的印刷布線板的制造方法,。本發(fā)明剝離液能夠除去的線/間距(l/s)沒有特別限定,。江蘇剝離液銷售電話