緩沖氧化物蝕刻液（BOE）又稱為緩沖氧化物蝕刻劑,，是由氫氟酸（49%）與水或氟化銨與水混合而成,。作為一種濕式蝕刻劑，緩沖氧化物蝕刻液具有速率快,、蝕刻容易控制,、溶解能力高等特點(diǎn),。緩沖氧化物蝕刻液主要用于蝕刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）的薄膜，下游應(yīng)用涉及到光伏太陽(yáng)能,、半導(dǎo)體,、平板顯示等多個(gè)領(lǐng)域,。

年來(lái)，得益于新能源,、電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,，全球緩沖氧化物蝕刻液市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大，發(fā)展到2020年,，全球緩沖氧化物蝕刻液市場(chǎng)規(guī)模已達(dá)到4.2億元,。目前緩沖氧化物蝕刻液下游市場(chǎng)處于發(fā)展階段，對(duì)緩沖氧化物蝕刻液的需求仍保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì),，因此未來(lái)緩沖氧化物蝕刻液行業(yè)發(fā)展前景較好,。 BOE蝕刻液的的性價(jià)比、質(zhì)量哪家比較好,？江蘇了解BOE蝕刻液銷售廠

    所述的磷酸濃度為82-87％,。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,，醇醚類的含量為％,。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,，表面活性劑的含量為％,。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,，所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚,、二丙二醇甲醚,、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚,、三丙二醇單甲醚,、三甘醇單丁醚等中的至少一種；表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,、壬基酚聚氧乙烯醚np-10,、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉,、月桂酰氨乙基硫酸鈉,、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進(jìn)一步地,，在使用本發(fā)明的蝕刻液進(jìn)行氮化硅層蝕刻時(shí),，蝕刻溫度為152-165℃，蝕刻時(shí)間為5-60min,。通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,，改善了磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力,，明顯提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤(rùn)濕和蝕刻均勻性。為了便于驗(yàn)證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,，本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為),。蝕刻液配制完成后，先使用表面張力儀檢測(cè)該蝕刻液的表面張力,；然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,，采用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊螅褂媒佑|角測(cè)量?jī)x檢測(cè)蝕刻液對(duì)氮化硅層的接觸角大小,。在蝕刻前,，使用橢圓偏振光譜儀對(duì)氮化硅樣片取不同位置共6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度的測(cè)量。上海應(yīng)用BOE蝕刻液私人定做BOE蝕刻液蝕刻后的樣貌形態(tài),。

    所述組合物包含540重量％的甲基四氫呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚,。的甲基四氫呋喃是2-甲基四氫呋喃。在式C4F90R的九氟丁基烷基醚中,，九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚,。不論R是什么，的九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成,。共沸或共沸型的組合物是特別有利的,。當(dāng)R為甲基時(shí)，該共沸或共沸型的組合物包含515重量％的甲基四氫呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚,。包含8重量％的甲基四氫呋喃和92重量％的九氟丁基甲基醚的共沸組合物在大氣壓下具有°C的沸點(diǎn),。當(dāng)R為乙基時(shí)，該共沸或共沸型的組合物包含1040重量％的甲基四氫呋喃和6090重量％的九氟丁基乙基醚,。包含％的甲基四氫呋喃和％的九氟丁基乙基醚的共沸組合物在大氣壓()下具有°C的沸點(diǎn),。共沸組合物是兩種或更多種化合物的液體混合物，其具有可高于或低于各化合物的沸點(diǎn)的恒定沸點(diǎn)(即,，在沸騰或蒸發(fā)期間沒(méi)有分餾的傾向),。因此，在蒸發(fā)期間形成的蒸氣的組成與初始的液體組合物相同或者幾乎相同,。共沸型組合物是兩種或更多種化合物的液體混合物,，其具有基本上恒定的沸點(diǎn)，也就是說(shuō),，共沸型組合物起到單一化合物的作用,。

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