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能夠除去抗蝕劑,。用本發(fā)明剝離液處理施加有抗蝕劑的基材的條件沒有特別限定,例如,,可以舉出在設(shè)為10~80℃的本發(fā)明剝離液中浸漬基材1~60分鐘左右的條件、將設(shè)為10~80℃的本發(fā)明剝離液向基材噴霧1~60分鐘左右的條件,。需要說明的是,,浸漬時(shí),,可以搖動(dòng)基材,或?qū)Ρ景l(fā)明剝離液施加超聲波,??刮g劑的種類沒有特別限定,可以是例如干膜抗蝕劑,、液體抗蝕劑等中的任一種,。干膜抗蝕劑的種類也沒有特別限定,例如推薦堿可溶型的干膜抗蝕劑,。作為這樣的堿可溶型的干膜抗蝕劑,例如,,可以舉出rd-1225(sap用25μm厚)(日立化成株式會(huì)社制)等,。施加抗蝕劑的基材沒有特別限定,,例如,可以舉出印刷布線板,、半導(dǎo)體基板、平板顯示器,、引線框中使用的各種金屬,、合金所形成的,、薄膜、基板,、部件等。按照上述方式本發(fā)明剝離液能夠從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑,,因此能夠在包括除去這樣的抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導(dǎo)體基板,、平板顯示器,、引線框等的制造方法中使用。上述制造方法之中推薦包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板的制造方法,,特別推薦基于半加成法的印刷布線板的制造方法,。本發(fā)明剝離液能夠除去的線/間距(l/s)沒有特別限定,。好的剝離液的標(biāo)準(zhǔn)是什么。深圳什么剝離液按需定制
所述的鏈胺為乙醇胺,、二乙醇胺、三乙醇胺,、二甘醇胺,、異丙醇胺,、甲基二乙醇胺、amp-95中的任意一種或多種,。技術(shù)方案中,所述的環(huán)胺為氨乙基哌嗪,、羥乙基哌嗪,、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種。技術(shù)方案中,,所述的緩蝕劑為三唑類物質(zhì),。的技術(shù)方案中,所述的緩蝕劑為苯并三氮唑,、甲基苯并三氮唑中的任意一種,。技術(shù)方案中,所述的潤(rùn)濕劑含有羥基,。技術(shù)方案中,,所述的潤(rùn)濕劑為聚乙二醇、甘油中的任意一種,。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知,,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中加入環(huán)胺與鏈胺,,能夠滲透,、斷開光刻膠分子間弱結(jié)合力,能夠快速,、有效地溶解光刻膠,,而配方中加入潤(rùn)濕劑,,能夠有效地減少接觸角,增強(qiáng)親水性,,使得剝離液親水性良好,,能快速高效地剝離溶解光刻膠。附圖說明:圖1為配方一和配方二的剝離液滴落在平面時(shí)兩者的接觸角對(duì)比圖,。圖2為配方一和配方二的剝離液應(yīng)用是光刻膠的殘留量對(duì)比圖,。具體實(shí)施方式現(xiàn)有技術(shù)中的剝離液其水置換能力較差,容易造成面板邊緣光刻膠殘留,,本申請(qǐng)經(jīng)過大量的試驗(yàn),,創(chuàng)造性的發(fā)現(xiàn),在剝離液中加入潤(rùn)濕劑,,能夠使固體物料(高世代面板)更易被水浸濕的物質(zhì),,通過降低其表面張力或界面張力,使水能展開在固體物料,。杭州顯示面板用剝離液配方技術(shù)剝離液蝕刻后如何判斷好壞 ,?
按照玻璃基板傳送方向從當(dāng)前腔室101開始逐級(jí)由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進(jìn)行剝離制程。剝離液從當(dāng)前腔室101進(jìn)入相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20,,在剝離液的水平面超過預(yù)設(shè)高度后流入過濾器30,再經(jīng)過過濾器30的過濾將過濾后的剝離液傳送至下一級(jí)腔室102內(nèi),。其中,,薄膜碎屑70一般為金屬碎屑或ito碎屑。其中,,如圖2所示,,圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。閥門開關(guān)60設(shè)置在管道40及第二管道50上,。在過濾器30被阻塞時(shí),,關(guān)閉位于過濾器30兩側(cè)的管道40及第二管道50上的閥門開關(guān)60,可以保證當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20內(nèi)剝離液不會(huì)流出,,同時(shí)下一級(jí)腔室102內(nèi)的剝離液也不會(huì)流出,。在一些實(shí)施例中,請(qǐng)參閱圖3,,圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第三種結(jié)構(gòu)示意圖,。過濾器30包括多個(gè)并列排布的子過濾器301,所述管道40包括多個(gè)子管道401,,每一所述子管道401與一子過濾器301連通,,且所述多個(gè)子管道401與當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連通。在一些實(shí)施例中,,第二管道50包括公共子管道501及多個(gè)第二子管道502,,每一所述第二子管道502與一子過濾器301連通,每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,所述公共子管道501與所述下一級(jí)腔室102連通,。其中,。
所述過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,所述道包括多個(gè)子管道,,每一所述子管道與一子過濾器連通,,且所述多個(gè)子管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連通。在一些實(shí)施例中,,所述第二管道包括公共子管道及多個(gè)第二子管道,,每一所述第二子管道與一子過濾器連通,每一所述第二子管道與所述公共子管道連通,,所述公共子管道與所述下一級(jí)腔室連通,。在一些實(shí)施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述子管道上,。在一些實(shí)施例中,,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述第二子管道上。在一些實(shí)施例中,,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述子管道及每一所述第二子管道上,。在一些實(shí)施例中,所述第二管道包括多個(gè)第三子管道,,每一所述第三子管道與一子過濾器連通,,且每一所述第三子管道與所述下一級(jí)腔室連通。在一些實(shí)施例中,,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述第三子管道上,。本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,包括:將多級(jí)腔室順序排列,,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液,;將來自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑,;使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室,。哪家的剝離液的價(jià)格低?
本發(fā)明涉及剝離液技術(shù)領(lǐng)域:,,更具體的說是涉及一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,。背景技術(shù)::電子行業(yè)飛速發(fā)展,光刻膠應(yīng)用也越來越,。在半導(dǎo)體元器件制造過程中,,經(jīng)過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,,必須在除去殘余光刻膠的同時(shí)不能損傷任何基材,,才能再進(jìn)行下道工序,。因此,光刻膠的剝離質(zhì)量也有直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量,。但是傳統(tǒng)光刻膠剝離液雖然能剝離絕大部分光阻,,但對(duì)于高世代面板(高世代面板是代指大尺寸的液晶面板),傳統(tǒng)剝離液親水性不夠,,水置換能力較差,,容易造成面板邊緣光刻膠殘留。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的是提供一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:本申請(qǐng)公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質(zhì)量組分:酰胺:50-60%,;醇醚:35-45%,;環(huán)胺與鏈胺:3-7%;緩蝕劑:%%,;潤(rùn)濕劑:%%,。的技術(shù)方案中,所述的酰胺為n-甲基甲酰胺,、n-甲基乙酰胺,、n,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種,。的技術(shù)方案中,,所述的醇醚為二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚,、乙二醇甲醚,、乙二醇乙醚中的任意一種或多種,。的技術(shù)方案中,。銅剝離液的配方是什么?深圳顯示面板用剝離液供應(yīng)商
博洋剝離液供應(yīng)廠商,專業(yè)分離設(shè)備,智能研發(fā),工程項(xiàng)目,經(jīng)驗(yàn)豐富,質(zhì)量可靠,歡迎隨時(shí)來電咨詢,!深圳什么剝離液按需定制
閥門開關(guān)60設(shè)置在每一子管道301上,。在一些實(shí)施例中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上,。在一些實(shí)施例中,,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第二子管道502上。具體的,,閥門開關(guān)60的設(shè)置位置可以設(shè)置在連接過濾器30的任意管道上,,在此不做贅述。在一些實(shí)施例中,,請(qǐng)參閱圖4,,圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖,。第二管道50包括多個(gè)第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,,且每一所述第三子管道503與所述下一級(jí)腔室連通102,。其中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第三子管道503上,。本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái),,包括:依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱,;過濾器,,所述過濾器的一端設(shè)置通過管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級(jí)腔室連接,;其中,至少在管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān),。通過閥門開關(guān)控制連接每一級(jí)腔室的過濾器相互獨(dú)立,從而在過濾器被阻塞時(shí)通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程,,提高生產(chǎn)效率,。本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,請(qǐng)參閱圖5,,圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖,。深圳什么剝離液按需定制