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廣東哪家蝕刻液剝離液溶劑

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-03-25

本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液,。背景技術(shù)::印刷布線板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,,伴隨微細(xì)布線化而使用胺系的剝離液,。然而,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難,、海外的法規(guī)制度的問題,,而避免其使用。近年來,,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點(diǎn),,還報(bào)道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻(xiàn)1),,由于剝離時(shí)的抗蝕劑沒有微細(xì)地粉碎,,因此存在近年的微細(xì)的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點(diǎn)。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-323776號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題因此,,本發(fā)明的課題在于,,提供容易除去微細(xì)的布線間的抗蝕劑的技術(shù)。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn),,含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻(xiàn)1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,,即使是非常微細(xì)的布線間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎,從而完成本發(fā)明,。即,,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,,含有鉀鹽和溶纖劑,。另外,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法,,其特征在于,,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材。哪家的剝離液比較好用點(diǎn),?廣東哪家蝕刻液剝離液溶劑

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    所述功能切換口3外部并聯(lián)有高純水輸入管線1和沉淀劑輸入管線2,。所述二級(jí)過濾罐13的底部設(shè)有廢液出口20。所述一級(jí)過濾罐16和二級(jí)過濾罐13內(nèi)部均懸設(shè)有攔截固體成分的過濾筒,。本實(shí)施例中,,所述一級(jí)過濾罐16和二級(jí)過濾罐13的結(jié)構(gòu)相同,以一級(jí)過濾罐16為例,,由外殼1601,、懸設(shè)于外殼1601內(nèi)的過濾筒,、扣裝于過濾筒頂部的壓蓋1602組成。所述壓蓋1602中心設(shè)有對(duì)應(yīng)進(jìn)料管路15的通孔,。所述過濾筒由均勻布設(shè)多孔1606的支撐筒體1605,、設(shè)于支撐筒體1605內(nèi)表面的金屬濾網(wǎng)1604、設(shè)于金屬濾網(wǎng)1604表面的纖維濾布1603組成,。所述支撐筒體1605的上沿伸出外殼1601頂部并利用水平翻邊支撐于外殼1601上表面,,所述金屬濾網(wǎng)1604的上沿設(shè)有與支撐筒體1605的水平翻邊扣合的定位翻邊。所述支撐筒體1605的底面為向筒體內(nèi)側(cè)凹陷的錐面1607,,增加了過濾面積,,提高了過濾效率。所述攪拌釜10設(shè)有ph計(jì)(圖中省略),,用于檢測(cè)溶液ph值,。攪拌釜10由釜體8、設(shè)于釜體8頂部的攪拌電機(jī)4,、與攪拌電機(jī)4連接的攪拌桿11,、設(shè)于攪拌桿11末端的攪拌槳12組成,所述攪拌槳12為u字形,,釜體8外表面設(shè)有調(diào)溫水套9,。工作過程:1、先向攪拌釜10內(nèi)投入光刻膠廢剝離液,,再向釜內(nèi)輸入高純水,,兩者在攪拌釜10內(nèi)攪拌均勻。合肥哪家剝離液溶劑晶圓制造用剝離液的生產(chǎn)企業(yè)有哪些,;

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    常在印刷電路板,,液晶顯示面板,半導(dǎo)體集成電路等工藝制造過程中,,需要通過多次圖形掩膜照射曝光及蝕刻等工序在硅晶圓或玻璃基片上形成多層精密的微電路,,形成微電路之后,進(jìn)一步用剝離液將涂覆在微電路保護(hù)區(qū)域上作為掩膜的光刻膠除去,。比如光電TFT-LCD生產(chǎn)工藝主要包含光阻涂布,、顯影、去光阻,、相關(guān)清洗作業(yè)四大階段,,其中在去光阻階段會(huì)產(chǎn)生部分剝離液。印制電路板生產(chǎn)工藝相當(dāng)復(fù)雜,。不僅設(shè)備和制造工藝的科技含量高,,工藝流程長(zhǎng),用水量大,,而且所用的化學(xué)藥品(包括各種添加劑)種類多,、用量大,。因此,在用減成法生產(chǎn)印刷線路板的過程中,,產(chǎn)污環(huán)節(jié)多,,種類繁雜,物料損耗大,??煞譃楦煞庸?設(shè)計(jì)和布線、模版制作,、鉆孔,、貼膜、曝光和外形加工等)和濕法加工(內(nèi)層板黑膜氧化,、去孔壁樹脂膩污,、沉銅、電鍍,、顯影,、蝕刻、脫膜,、絲印,、熱風(fēng)整平等)過程,。其中在脫模(剝膜)工序?yàn)榱嗣摮龔U舊電路板表面殘留焊錫,,需用硝酸為氧化劑,氨基磺酸為穩(wěn)定劑,苯并三氮唑?yàn)殂~的緩蝕劑進(jìn)行操作,整個(gè)工序中會(huì)產(chǎn)生大量的剝離液,,有機(jī)溶劑成分較大,。

    根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2020-2024年中國(guó)剝離液行業(yè)市場(chǎng)供需現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示,剝離液屬于濕電子化學(xué)品的重要品類,,近幾年受新能源,、汽車電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,我國(guó)濕電子化學(xué)品市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)增,,2019年我國(guó)濕電子化學(xué)品市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到100億元左右,,需求量約為138萬噸。隨著剝離液在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用增長(zhǎng),,剝離液產(chǎn)量以及市場(chǎng)規(guī)模隨之?dāng)U大,,2019年我國(guó)半導(dǎo)體用剝離液需求量約為,只占據(jù)濕電子化學(xué)品總需求量的,。從競(jìng)爭(zhēng)方面來看,,當(dāng)前全球剝離液的生產(chǎn)由濕電子化學(xué)品企業(yè)主導(dǎo),主要集中在歐美,、日韓以及中國(guó),,代表性企業(yè)有德國(guó)巴斯夫,、德國(guó)漢高、美國(guó)霍尼韋爾,、美國(guó)ATMI公司,、美國(guó)空氣化工產(chǎn)品公司、三菱化學(xué),、京都化工,、住友化學(xué)、宇部興產(chǎn),、關(guān)東化學(xué),,以及中國(guó)的江陰江化微、蘇州瑞紅,、中國(guó)臺(tái)灣聯(lián)仕電子等企業(yè),。 使用剝離液,輕松剝離各種材料,。

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    當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,,通過閥門開關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20與過濾器30之間的液體流通,從而可以在閥門開關(guān)60關(guān)閉后取下被阻塞的過濾器30進(jìn)行清理并不會(huì)導(dǎo)致之后的下一級(jí)腔室102的剝離進(jìn)程無法繼續(xù),。其中,,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級(jí)向玻璃基板分別提供剝離液;與多個(gè)腔室10分別對(duì)應(yīng)連接的多個(gè)存儲(chǔ)箱20,,各級(jí)腔室10分別通過管道與相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,,存儲(chǔ)箱20用于收集和存儲(chǔ)來自當(dāng)前級(jí)腔室101的經(jīng)歷剝離制程的剝離液;過濾器30用于過濾來自當(dāng)前級(jí)腔室101的存儲(chǔ)箱20的剝離液,,并且過濾器30還可以通過管道與下一級(jí)腔室102連接,,從而過濾器30可以將過濾后的剝離液輸送給下一級(jí)腔室102。各腔室10設(shè)計(jì)為適合進(jìn)行剝離制程,,用于向制程中的玻璃基板供給剝離液,,具體結(jié)構(gòu)可參考現(xiàn)有設(shè)計(jì)在此不再贅述。各級(jí)腔室10分別于相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20通過管道連接,,腔室10中經(jīng)歷剝離制程后的剝離液可以經(jīng)管道輸送至存儲(chǔ)箱20中,,由存儲(chǔ)箱20來收集和存儲(chǔ)。各級(jí)腔室10的存儲(chǔ)箱20分別與相應(yīng)的過濾器30通過管道連接,,經(jīng)存儲(chǔ)箱20處理后的剝離液再經(jīng)相應(yīng)的過濾器30過濾后才經(jīng)管道輸送至下一級(jí)腔室102,。 博洋剝離液供應(yīng)廠商,歡迎隨時(shí)來電咨詢!東莞什么剝離液哪里買

剝離液公司的聯(lián)系方式,。廣東哪家蝕刻液剝離液溶劑

    本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,,請(qǐng)參閱圖5,圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖,該方法包括:步驟110,、將多級(jí)腔室順序排列,,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液;步驟120,、將來自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130,、使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室,;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān),;步驟150、取出被阻塞的所述過濾器,。若過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,因此,,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān)。在上述實(shí)施例中,,對(duì)各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重,,某個(gè)實(shí)施例中沒有詳述的部分,可以參見其他實(shí)施例的相關(guān)描述,。 廣東哪家蝕刻液剝離液溶劑