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裝置主體1的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐21,裝置主體1的內(nèi)部中間部位固定連接有連接構(gòu)件11,,裝置主體1的內(nèi)部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥10,,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)固定連接有過濾部件9,裝置主體1的內(nèi)部底端另一側(cè)固定連接有收集倉8,收集倉8的另一側(cè)底部固定連接有密封閥門7,,過濾部件9的頂端兩側(cè)活動連接有滑動蓋24,,過濾部件9的內(nèi)部中間兩側(cè)固定連接有收縮彈簧管25,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)兩端嵌入連接有螺紋管27,,連接構(gòu)件11的內(nèi)部中間兩側(cè)活動連接有活動軸28,,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)中間兩側(cè)嵌入連接有密封軟膠層29。推薦的,,硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環(huán)22,,在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候,需要將儲罐進(jìn)行密封,,密封環(huán)22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進(jìn)行密封,,使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內(nèi)部形成一個密閉的空間,避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進(jìn)入儲罐內(nèi),,有效的提高了裝置使用的密封性,。推薦的,連接構(gòu)件11的兩側(cè)嵌入連接有海綿層12,,在使用裝置制備蝕刻液的時候,,需要通過連接構(gòu)件11將裝置主體1內(nèi)部的部件進(jìn)行連接,在旋轉(zhuǎn)連接構(gòu)件11的兩側(cè)時,,操作人員的手會與連接構(gòu)件11接觸,,海綿層12可以將操作人員手上的水分進(jìn)行吸收。高效蝕刻液,,讓您的生產(chǎn)更順暢,,品質(zhì)更出眾。深圳格林達(dá)蝕刻液銷售價格
所述液體入口1處設(shè)有減壓閥12,,所述蒸汽出口5處設(shè)有真空泵13,、除霧組件3及除沫組件4,所述除霧組件3用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,,所述除沫組件4用于將經(jīng)除霧組件3除霧的氣體進(jìn)行除沫,。含銅蝕刻液在加熱器11中進(jìn)行加熱,達(dá)到閃蒸要求的溫度,,輸送至分離器,,通過減壓閥12減壓,真空泵13對分離器內(nèi)抽氣,,使分離器內(nèi)處于低壓狀態(tài),,含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸,閃蒸產(chǎn)生大量蒸汽,,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,,大液滴中含有銅,,通過除霧組件3和除沫組件4對蒸汽進(jìn)行分離過濾,也可以防止大液滴從蒸汽出口5飛出,,減少產(chǎn)品損失,。在一個實施例中,如圖1所示,,所述除霧組件3為設(shè)有多個平行且曲折的通道的折流板,。液體在隨著氣體上升時會有慣性,因為液體與氣體的質(zhì)量不同,,他們的慣性也不同,,當(dāng)夾帶著液體的氣體以一定速度通過折流板曲折的通道時,液體流動的方向不斷在曲折的通道中發(fā)生變化,,液體的慣性較大,,依舊保持原來的運動方向,從氣體中脫離,,撞擊折流板壁面從而被擋下,,氣體則順利通過折流板通道排出,被擋下的液體在壁面上匯集成液流,,因重力的作用從折流板上流下,。在一個實施例中,如圖1所示,,所述除沫組件4為絲網(wǎng),。因為除霧組件3中的撞擊過程。上海江化微的蝕刻液蝕刻液供應(yīng)蘇州有哪些公司可以做蝕刻液,。
過濾器的出液管自動上行離開儲存罐,,將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產(chǎn)車間移動至自動灌裝車間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內(nèi)的鋁蝕刻液分裝,。本實用新型除上述技術(shù)方案外,,還包括以下技術(shù)特征:進(jìn)一步的是,所述地磅的頂部平臺中設(shè)置有兩條卡塊,,所述卡塊與平臺之間形成一插槽,;所述氣動夾緊機構(gòu)包括氣缸和壓緊塊,所述壓緊塊位于所述插槽中,,所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連。進(jìn)一步的是,,所述拖車的頂部設(shè)置有一圈圍設(shè)在所述儲存罐外部的護(hù)欄,。進(jìn)一步的是,所述拖車的頂部設(shè)置有一集液盒,,所述儲存罐安裝在所述集液盒中,。進(jìn)一步的是,,所述拖車的頂部于所述儲存罐的旁側(cè)設(shè)置有集液腔室。與現(xiàn)有技術(shù)相比,,本實用新型的有益效果是:1.將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐,,并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產(chǎn)車間與自動灌裝車間之中周轉(zhuǎn),如此便可為鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備配備全自動灌裝線,,即提高了單瓶灌裝精度和效率,,又降低了企業(yè)的人力成本投入;2.將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐,,在儲存罐內(nèi)在進(jìn)液時,,其它儲存罐可以進(jìn)行定量灌裝,提高了鋁蝕刻液的生產(chǎn)效率,。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案,。
所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種,。本發(fā)明的蝕刻液推薦進(jìn)一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽,。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸、蘋果酸,、檸檬酸,、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種。推薦為,,所述酸的濃度為20重量%至70重量%,,所述有機硫化合物的濃度為%至10重量%。另外,,所述α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度推薦為%至5重量%,。另外,本發(fā)明涉及一種使用所述蝕刻液在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻方法,。發(fā)明的效果本發(fā)明的蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,。另外,本發(fā)明的蝕刻液實質(zhì)上不含氫氟酸及過氧化氫,,因此毒性低,,保存穩(wěn)定性優(yōu)異。具體實施方式本發(fā)明的蝕刻液為含有選自由硫酸,、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸與選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物的水溶液,。所述酸中,從蝕刻速度的穩(wěn)定性及酸的低揮發(fā)性的觀點來看,,推薦為硫酸,。酸的濃度并無特別限制,推薦為20重量%至70重量%,,更推薦為30重量%至60重量%,。在酸的濃度小于20重量%的情況下,,有無法獲得充分的鈦蝕刻速度的傾向,在超過70重量%的情況下,,有蝕刻液的安全性成問題的傾向,。哪家的蝕刻液的價格優(yōu)惠?
技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,,以解決上述背景技術(shù)中提出密封性差,,連接安裝步驟繁瑣的問題。為實現(xiàn)上述目的,,本實用新型提供如下技術(shù)方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,,包括裝置主體、支撐腿,、電源線和單片機,,所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側(cè)底部固定連接有電源線,,所述裝置主體的一側(cè)中間部位固定連接有控制器,,所述裝置主體的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機,所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐,,所述裝置主體的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲罐,,所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉,所述攪拌倉的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機,,所述攪拌倉的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲罐,,所述裝置主體的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲罐,,所述陰離子表面活性劑儲罐的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,,所述裝置主體的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲罐,所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐,,所述裝置主體的內(nèi)部中間部位固定連接有連接構(gòu)件,。蝕刻液,準(zhǔn)確蝕刻,,效果好,。江蘇天馬用的蝕刻液蝕刻液推薦廠家
蝕刻液可以蝕刻什么樣的金屬;深圳格林達(dá)蝕刻液銷售價格
在上述硅烷系偶聯(lián)劑的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下,,能夠調(diào)節(jié)添加劑本身凝膠化,,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導(dǎo)體工序的去離子水,,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水,。上述水的含量可以為使包含本發(fā)明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發(fā)明的組合物總重量的2~45重量%來包含,。<選擇添加劑的方法,、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發(fā)明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法,、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法,。上述蝕刻液組合物中說明的、對于添加劑選擇等的一切內(nèi)容均可以同樣地應(yīng)用于本發(fā)明的選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的添加劑的方法,、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法,。具體而言,提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法,、由此選擇的硅烷系偶聯(lián)劑以及包含該硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻方法,。深圳格林達(dá)蝕刻液銷售價格