segúáuncertificadodefabricaciónconcadadepósitoenelquesejustifiqueelcumplimientodelosensayosdefinidosenlanormadefabricacióncorrespondiente,según,óón(brida,valonaybridaloca,rosca,etc.)atubosdellenado,ventilación,aspiración,etcéán:1.o.oSobrelageneratrizsuperiordelosdepóósitoestaráprovistodelassiguientestubuladuras:a))Unaovariastubuladurasdeventilació)Unaovariastubuladurasdeaspiració))ááobturadaherméóónempleado(anillasuorejetas,zunchos)deberásoportarunafuerzade,almenos,dosveceselpesodeldepósitoenvacíósitoposeevariosdispositivosdeelevación,elesfuerzodeberáándise?adosdetalmaneraquenotransmitanesfuerzosanómalosalasvirolasdelaenvolventecilíósitosdecapacidadsuperioratresmetroscúbicostendránboca/áundiámetromínimode500milíácomomínimounadimensiónde450milímetrosy550milímetroscorrespondientesasusejesdesimetríúnpuntodeldepósitoamásdecincometrosdeunabocadehombre:portanto,seprevéndosparalosdepósitosdemásde10metrosdelongitud,。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司擁有專業(yè)的BOE蝕刻液以及各種蝕刻液,。福建了解BOE蝕刻液產(chǎn)品介紹

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來(lái)改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力,，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕,。在半導(dǎo)體制造工藝中,，一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來(lái)蝕刻氮化硅,。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,，器件的特征尺寸越來(lái)越小，集成度越來(lái)越高,，對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來(lái)越高,，如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留,、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí)，晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí),，檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問(wèn)題,，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸,、％的醇醚類、％的表面活性劑,。進(jìn)一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。江蘇BOE蝕刻液價(jià)格博洋 BOE 蝕刻液有妙招,，個(gè)性化解決方案為您排憂解難,。

    previadeliberacióndelConsejodeMinistrosensureunióndeldía28dediciembrede1995,DISPONGO:ArtículoúónTécnicaComplementariaMI-IP04?Instalacionesfijasparadistribuciónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúblico?,delReglamentodeInstalacionesPetrolíferas,aprobadoporRealDecreto2085/1994,de20deoctubre,ónadicionalúáreadelaestacióndeservicioparaladistribuciónalpormenoryventaalpúblicodecarburantesycombustiblespodránimplantarseaparatossurtidoresdeGLPparasuministrodevehículosdeautomoció?oyconstrucciónserealizarácompliendolasiguientelegislación:a)Reglamentosobreinstalacionesdealmacenamientodegaseslicuadosdelpetróleo(GLP)endepósitosfijos,segúnOrdendelMinisteriodeIndustriayEnergí)Ordende24denoviembrede1982,porlaquesedictannormasparaelalmacenamientoysuministrodegaseslicuadosdelpetróleo(GLP)agranelparasuutilizacióncomocarburanteparavehíóónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúblico。

    sedispondrándispositivosdecorteporintensidaddedefecto,medianteinterruptoresdiferenciales,consensibilidadmáóncontraelectricidadestática,deberárealizarseunauniónequipotencialdemasas,ánestarconectadasaestared,tanquesdealmacenamiento,tuberías,estructurasmetálicas,aparatossurtidores,asícomolosconductoresdeproteccióndelosaparatoseléé)Cuadrogeneraleléctrico:ElgradodeprotecciónmínimoserádeIP237,segú)únelReglamentoElectrotécnicodeBajaTensióneICcorrespondientes,laaparamentaaincluirenelcuadroconstará:1.oInterruptorautomá.oInterruptoresautomáticos(PIA)paraproteccióndelí.oInterruptoresdiferencialesparalaproteccióóánunsistemadepuestaatierradelascisternasdeloscamiones,paradescargarlaelectricidadestáácompuestocomosigue:Uncableconectadoporunextremoalareddepuestaatierra,elotroextremoprovistodeunapinzaseconectaráaunterminalsituadoenelvehículoeníáextraflexibleconaislamiento,。博洋 BOE 蝕刻液,，為微電子行業(yè)的發(fā)展提供獨(dú)具特色的個(gè)性化解決方案。

    asícomoeldeinstalaciónypruebasdelosmismos,deacuerdoconunasnormasycóásustituirseporotrodehomologació)Normasdeaplicación:Enlosplanosseindicaránlasnormasdeaplicaciónutilizadasparalaclasificacióndelosemplazamientosasícomolaseleccióndelosmaterialeseléctricos,ándecobre,conaislamientodePVCycubiertaexternadePVCresistentealoshidrocarburosynopropagadoradelallama,segúónylasintensidadesmáximasestaráónmecánica,oquedispongandearmaduraabasedehilosdeacerogalvanizado,susecciónmínimapodráserde2,5milímetroscuadrados,paraalimentacionesdefuerza;paraalumbradoycontrol,tendránunasecciónmínimadeunmilíálculodelaseccióndeloscables,laintensidadadmisibledelosconductoresdeberádisminuirseenun15por100,ademásdeaplicarlosfactoresdecorreccióndependiendodelascaracterísticasdelainstalacióándisponerdeunaproteccióncontracortocircuitosycontrasobrecargassiéánconconductordeproteccióásicas,tresfasesyconductordeprotección,encircuitosmonofásicos,fase,。質(zhì)量好的BOE蝕刻液的公司聯(lián)系方式,。浙江了解BOE蝕刻液供應(yīng)

BOE 蝕刻液（Buffered Oxide Etch）是一種在微加工和半導(dǎo)體制造過(guò)程中常用的蝕刻溶液。福建了解BOE蝕刻液產(chǎn)品介紹

    yteniendoencuentalaviscosidaddellíquidoalatemperaturamííasyaccesoriosseajustaráncomomínimo,alasespecificacionesdelasnormasUNE19-040,dematerial,segúnDIN1629,íasseconectanatubuladurassituadasenlabocadehombre,estaránconexionadasdeformaquesudesmontajepermitaliberarcompletamenteelaccesodelabocadehombreyquepuedallevarseacabosintenerquedesempotrarlostubosdelamamposteríapróíaenterrada,encamisadaoforrada,bajoelsuelo,debetenerunapendientecontinuaalmenosdel1por100demaneraqueningunaretencióndelíáándematerialesqueresistanalacorrosión;laestopadaseráherméálacontinuidadeléctricadelastuberías,sinofueseasí,sepuentearáíasysusaccesoriosseuniránmediantesoldaduraatopeporarcoeléctricoyserealizaráétodoempleadoylapreparacióndelosbordesdebenpermitirconseguirunasoldadurasanaentodalajunta,asíóápidosabiertos,unomachoyotrohembra,ypormediodeéstas,sepuedenrealizartransferenciasdeproductospetrolíferoslíándeltipodeenchuferápido,。福建了解BOE蝕刻液產(chǎn)品介紹