odecualquierelementoconeldepóóósitosdeaceroyaceroinoxidabledesimpleparediránprovistosdeunsistemadeproteccióncatódicasalvoquesedemuestre,medianteunestudiodeagresividaddelterreno,óncatódicaesgarantizarunpotencialentreeldepósitoyelsueloquemedidorespectoalelectrododereferenciacobre-sulfatodecobre,seaigualoinferiora-0,áde-0,95Vcomomáximocuandohayariesgodecorrosióíasférreasuotrascausas,deberánadoptarsemedidasespecialesparalaproteccióncatódica,segúósitosensualojamientosesometeránauncontrol,paracomprobarquenohansufridoda?osduranteeltransporteydescarga,tantoenlachapacomoenlapinturadeproteccióánsometidosaunapruebadeestanqueidad,hidráulicaoneumáticaaunapresiónmanométricasuperiora20KPa.(0,2kilogramos/centímetrocuadrado)ynosuperiora34kPa.(0,。專(zhuān)業(yè)BOE蝕刻液由蘇州博洋化學(xué)股份有限公司提供,。上海了解BOE蝕刻液哪里買(mǎi)

    verapartado).Enterramientodelastuberíánlastuberíassobreunacamadearenade10centímetrosdeprofundidad,comomínimo,aseguráónentretubosdeberáserde,almenos,lalongitudequivalentealdiáásercomomínimode20centíías,sesometelainstalaciónaunapruebaderesistenciayestanqueidadde2bar(medidarelativa)íassecontrolarán,comomínimovisualmente,paracomprobarlacontinuidadenelencintadoylaexistenciadependientehaciaeltanque,sinformacióíasyaccesoriosdepláíónTécnicaComplementaria,lostubosyaccesoriosdeplásticoreforzadoconfibradevidrio(PRFV),deberánfabricarseapartirdelossiguientesmateriales:resinaepoxireforzadaconfibradevidrio,poliésterreforzadoconfibradevidriouotrosmaterialesdesimilarescaracteríóndelastuberíasyaccesoriosseemplearánresinassintéticasepoxi,depoliésteresinstauradosuotrostiposderesinasconcaracterísticasanálogas,segúáánconlosextremosmachihembradosparasuposteriorunióónseráporadhesivo,。浙江電子級(jí)BOE蝕刻液銷(xiāo)售公司優(yōu)先蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類(lèi)和表面活性劑,，來(lái)改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,，氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中,，一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻,，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來(lái)蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,，器件的特征尺寸越來(lái)越小,，集成度越來(lái)越高，對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來(lái)越高,，如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性,、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí),，晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí),，檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異,。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問(wèn)題，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類(lèi)和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液,。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸,、％的醇醚類(lèi),、％的表面活性劑。進(jìn)一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,。

    表％九氟丁基甲基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出92重量％九氟丁基甲基醚和8重量％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點(diǎn),。實(shí)施例2如實(shí)施例1所述進(jìn)行沸點(diǎn)測(cè)定方法,。表II給出九氟丁基乙基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量％甲基四氫呋喃的重量％(°C)％九氟丁基乙基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出％九氟丁基乙基醚和％甲基四氫呋喃的共沸組合物,，其在°C的沸點(diǎn),。清洗試驗(yàn)的總體過(guò)程首先，用FORANE141b對(duì)2X5cm的不銹鋼片材進(jìn)行脫脂,。這些片材各自在測(cè)試之前稱(chēng)重,，其構(gòu)成皮重,。然后，在這些片材的單側(cè)上涂布油REDUCTELFSP460,。對(duì)該涂布有油的片材進(jìn)行稱(chēng)重,，并由與皮重的差值推算出涂布的油的量。接下來(lái),，將該涂布有油的片材浸5入到含有100ml待評(píng)價(jià)組合物的燒杯中5分鐘,，不進(jìn)行攪拌且無(wú)超聲。該片材一移出,，就在通風(fēng)的情況下進(jìn)行15分鐘的滴干(dripdry),，并且，在該15分鐘結(jié)束時(shí),，通過(guò)稱(chēng)重測(cè)定油的殘留量,。與油的初始量相比，計(jì)算移除的油的百分?jǐn)?shù),。實(shí)施例3在使用九氟丁基甲基醚的組合物的情況下,，得到0%的油移除率。實(shí)施例4在使用包含8重量％的2-MeTHF和92重量％的九氟丁基甲基醚的組合物的情況下,。BOE蝕刻液的的性?xún)r(jià)比,、質(zhì)量哪家比較好,？

    LaLey21/1992,de16dejulio,deIndustria,se?ala,enelapartado5delartículo12,que?losReglamentosdeSeguridadIndustrialdeámbitoestatalseaprobaránporelGobiernodelaNación,sinperjuiciodequelasComunidadesAutónomas,concompetencialegislativasobreindustria,puedanintroducirrequisitosadicionalessobrelasmismasmateriascuandosetratedeinstalacionesradicadasensuterritorio?.Deacuerdoconello,sehaelaboradolaInstrucciónTécnicaComplementaria(ITC)MI-IP04,referentealasinstalacionesfijasparadistribuciónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúblico,yenlaquesehantenidoencuentalassolucionestécnicasdisponiblesenelactualniveldeconocimientosylaexperienciapráónhasidosometidaalprocedimientodeinformaciónenmateriadenormasyreglamentacionestécnicasprevistoenelRealDecreto1168/1995,de7dejulio,porelqueseincorporaalderechointernolaDirectiva94/10/CEEdelParlamentoEuropeoydelConsejo,de23demarzo,quemodificalaDirectiva83/189/CEE,ía,。博洋 BOE 蝕刻液以其獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，為行業(yè)提供個(gè)性化解決方案,！湖北技術(shù)密集BOE蝕刻液按需定制

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱，待加熱到確定溫度后,，放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻,；蝕刻完后，取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?，使用橢圓偏振光譜儀對(duì)蝕刻前所取位置的6個(gè)點(diǎn)的厚度進(jìn)行測(cè)量,，計(jì)算蝕刻前后6個(gè)取點(diǎn)的厚度差值，對(duì)比6個(gè)點(diǎn)之間的厚度差值的差異,。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,，本發(fā)明的有益效果是：醇醚類(lèi)和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤(rùn)性和降低磷酸溶液的表面張力，有效提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤(rùn)濕性和蝕刻均勻性,。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例,，進(jìn)一步闡述本發(fā)明，對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明,，但不限于這些實(shí)施例,。本發(fā)明的蝕刻液配制時(shí)選擇的磷酸濃度為85％,，蝕刻溫度為160℃，蝕刻時(shí)間為10min,。先對(duì)所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測(cè),，然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊螅M(jìn)行接觸角的測(cè)量,；蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?，在氮化硅樣片上?個(gè)不同位置的點(diǎn)對(duì)其厚度進(jìn)行測(cè)量；蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?，取與蝕刻前相同位置的6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度測(cè)量,。實(shí)施例1本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱(chēng)取濃度為85％的磷酸,，然后稱(chēng)取添加劑加入磷酸中,。上海了解BOE蝕刻液哪里買(mǎi)