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BOE蝕刻液批量定制

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-04-14

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    所述的磷酸濃度為82-87%,。進(jìn)一步地,,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,,醇醚類的含量為%,。進(jìn)一步地,,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,,表面活性劑的含量為%。進(jìn)一步地,,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,,所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚,、丙二醇丁醚,、二丙二醇甲醚,、二乙二醇丁醚,、三乙二醇乙醚,、三丙二醇單甲醚,、三甘醇單丁醚等中的至少一種,;表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms,、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉,、醇醚羧酸鹽等中的至少一種,。進(jìn)一步地,,在使用本發(fā)明的蝕刻液進(jìn)行氮化硅層蝕刻時(shí),,蝕刻溫度為152-165℃,蝕刻時(shí)間為5-60min,。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,,改善了磷酸的浸潤性和表面張力,,明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性,。為了便于驗(yàn)證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,,本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為),。蝕刻液配制完成后,,先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力,;然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,,采用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小,。在蝕刻前,,使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度的測量,。上海BOE蝕刻液BOE蝕刻液廠家直銷價(jià)格,。

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    可通過蒸發(fā)或蒸餾或者通過對比給定溫度下的泡點(diǎn)或的蒸氣壓來實(shí)施共沸型化合物的確定,。在工業(yè)應(yīng)用的情況下使用共沸物是特別有利的,以使組合物再生,,例如當(dāng)其飽和有污染物的時(shí)候。簡單蒸餾可回收初的共沸組合物,,而沒有各組分的任何分餾。而且,,2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優(yōu)點(diǎn),。因此,半纖維素多糖是含有5個(gè)碳原子的基于糖的聚合物,。當(dāng)在硫酸的存在下加熱半纖維素時(shí),,得到戊糖(含有5個(gè)碳原子的糖),例如木糖,。當(dāng)進(jìn)行木糖的熱脫水時(shí),,該木糖轉(zhuǎn)化為糠醛。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外,,根據(jù)本發(fā)明的一些組合物是不可燃的(根據(jù)ASTMD3828標(biāo)準(zhǔn),,閉杯閃點(diǎn)高于55°C)并且特別適合作為清洗溶劑或作為用于加熱和冷卻應(yīng)用的制冷劑。它們也可用作發(fā)泡劑,。實(shí)驗(yàn)部分實(shí)施例1通過使用沸點(diǎn)測定技術(shù)測量液體混合物的沸點(diǎn),。首先,將適量的九氟丁基甲基醚裝料到沸點(diǎn)測定儀中,,然后,,使其沸騰。在達(dá)到平衡狀態(tài)之后,,記錄在大氣壓下的沸點(diǎn),。然后,將甲基四氫呋喃的等分試樣引入到所述沸點(diǎn)測定儀中并且在已達(dá)到平衡狀態(tài)之后再次記錄溫度,。表I給出九氟丁基甲基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在,。

    添加劑為二乙二醇單甲醚、三乙二醇乙醚,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,,添加量分別為%、%,、%,。實(shí)施例6本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,、月桂酰氨乙基硫酸鈉,,添加量分別為總質(zhì)量的%、%,、%,。對照例對照例中所含成分顯示于表1,并采用與實(shí)施例相同的方法進(jìn)行處理,。對照例1為純磷酸,總質(zhì)量為400g,。對照例2為磷酸,、丙二醇丁醚,其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的%,。對照例3為磷酸,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的%,。結(jié)果如表2所示,,與對照例蝕刻液相比,實(shí)施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角,,并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性,。表1表2顯然,上述實(shí)施例和對照例是為了清楚地說明所作的實(shí)例,,而并非對實(shí)施方式的限制,。對于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動,,這里無需也無法對所有的實(shí)施方式予以窮舉,。而因此所引申的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi)。BOE蝕刻液,,助您打造精美絕倫的蝕刻作品,。

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