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能夠增強(qiáng)親水性,,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠,。潤濕劑含有羥基,,為聚乙二醇、甘油中的任意一種,。下面通過具體實(shí)施例對本申請作進(jìn)一步詳細(xì)說明,。以下實(shí)施例對本申請進(jìn)行進(jìn)一步說明,不應(yīng)理解為對本申請的限制,。表一:兩種不同組分的剝離液配方一和配方二所采用的基礎(chǔ)組分基本相同,,不同的是配方二中加入有潤濕劑,上述所描述的潤濕劑是用于增強(qiáng)親水性的,,滴液與產(chǎn)品表面間的夾角為接觸角,,接觸角可用來衡量潤濕程度,水滴角測試儀可測量接觸角,,從潤濕角度考慮,,接觸角<90°,且接觸角越小潤濕效果越好加入潤濕劑后的配方二所制得的剝離液,,在滴落在高世代面板后,通過水滴角測試儀測接觸角,,檢測圖如圖1所示,,三次測試的接觸角如下表二:上述兩種不同組分的剝離液作接觸角測試接觸角配方一配方二測試一,,加入潤濕劑后的配方二所制得的剝離液,其滴落在高世代面板后,,其接觸角比未加入潤濕劑的配方一的剝離液潤濕效果更好,;請參閱圖2所示,將配方一所制得的剝離液以及配方二所制得的剝離液進(jìn)行光刻膠剝離,,圖2中的陰影圓點(diǎn)為浸泡時(shí)間t1后光刻膠殘留,,明顯地,可以看出配方二中t1時(shí)間后光刻膠殘留量小,,而配方一中產(chǎn)品邊緣處光刻膠的殘留量大,。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司剝離液;蕪湖BOE蝕刻液剝離液供應(yīng)
本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液,。背景技術(shù)::印刷布線板的制造,、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,伴隨微細(xì)布線化而使用胺系的剝離液,。然而,,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規(guī)制度的問題,,而避免其使用,。近年來,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點(diǎn),,還報(bào)道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻(xiàn)1),,由于剝離時(shí)的抗蝕劑沒有微細(xì)地粉碎,因此存在近年的微細(xì)的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點(diǎn)?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-323776號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題因此,,本發(fā)明的課題在于,提供容易除去微細(xì)的布線間的抗蝕劑的技術(shù),。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn),,含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻(xiàn)1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,即使是非常微細(xì)的布線間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎,,從而完成本發(fā)明,。即,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液,,其特征在于,,含有鉀鹽和溶纖劑。另外,,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法,,其特征在于,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材,。蘇州顯示面板用剝離液費(fèi)用是多少哪家的剝離液的價(jià)格低,?
閥門開關(guān)60設(shè)置在每一子管道301上,。在一些實(shí)施例中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上,。在一些實(shí)施例中,,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第二子管道502上。具體的,,閥門開關(guān)60的設(shè)置位置可以設(shè)置在連接過濾器30的任意管道上,,在此不做贅述。在一些實(shí)施例中,,請參閱圖4,,圖4為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。第二管道50包括多個(gè)第三子管道503,,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,,且每一所述第三子管道503與所述下一級(jí)腔室連通102。其中,,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第三子管道503上,。本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái),包括:依次順序排列的多級(jí)腔室,、每一級(jí)所述腔室對應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱,;過濾器,所述過濾器的一端設(shè)置通過管道與當(dāng)前級(jí)腔室對應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接,,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級(jí)腔室連接,;其中,至少在管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān),。通過閥門開關(guān)控制連接每一級(jí)腔室的過濾器相互獨(dú)立,,從而在過濾器被阻塞時(shí)通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程,提高生產(chǎn)效率,。本申請實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,,請參閱圖5,圖5為本申請實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖,。
該方法包括:步驟110,、將多級(jí)腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液,;步驟120,、將來自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑,;步驟130,、使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室;步驟140,、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān),;步驟150,、取出被阻塞的所述過濾器,。若過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,,因此,,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個(gè)并列排布的子過濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān),。在上述實(shí)施例中,,對各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重,某個(gè)實(shí)施例中沒有詳述的部分,,可以參見其他實(shí)施例的相關(guān)描述,。以上對本申請實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)介紹,本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對本申請的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述,,以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本申請的技術(shù)方案及其思想,;本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換,。哪家的剝離液性價(jià)比比較高,?
所述的鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺,、三乙醇胺,、二甘醇胺、異丙醇胺,、甲基二乙醇胺,、amp-95中的任意一種或多種。技術(shù)方案中,,所述的環(huán)胺為氨乙基哌嗪,、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種,。技術(shù)方案中,,所述的緩蝕劑為三唑類物質(zhì)。的技術(shù)方案中,,所述的緩蝕劑為苯并三氮唑,、甲基苯并三氮唑中的任意一種。技術(shù)方案中,,所述的潤濕劑含有羥基,。技術(shù)方案中,所述的潤濕劑為聚乙二醇,、甘油中的任意一種,。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知,,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中加入環(huán)胺與鏈胺,,能夠滲透,、斷開光刻膠分子間弱結(jié)合力,能夠快速,、有效地溶解光刻膠,,而配方中加入潤濕劑,能夠有效地減少接觸角,,增強(qiáng)親水性,,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠,。附圖說明:圖1為配方一和配方二的剝離液滴落在平面時(shí)兩者的接觸角對比圖,。圖2為配方一和配方二的剝離液應(yīng)用是光刻膠的殘留量對比圖。具體實(shí)施方式現(xiàn)有技術(shù)中的剝離液其水置換能力較差,,容易造成面板邊緣光刻膠殘留,,本申請經(jīng)過大量的試驗(yàn),創(chuàng)造性的發(fā)現(xiàn),,在剝離液中加入潤濕劑,,能夠使固體物料(高世代面板)更易被水浸濕的物質(zhì),通過降低其表面張力或界面張力,,使水能展開在固體物料,。剝離液的正確使用方式;無錫京東方用的蝕刻液剝離液供應(yīng)
剝離液適用于半導(dǎo)體和顯示行業(yè)光刻膠的剝離,;蕪湖BOE蝕刻液剝離液供應(yīng)
利用提升泵將一級(jí)過濾罐中濾液抽取到攪拌釜內(nèi),;再向攪拌釜中輸入沉淀劑,如酸性溶液,,與前述濾液充分?jǐn)嚢杌旌显俅挝龀龀恋砦?,即二?jí)線性酚醛樹脂,打開二級(jí)過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥,,帶有沉淀物的混合液進(jìn)入二級(jí)過濾罐中,,由其中的過濾筒過濾得到二級(jí)線性酚醛樹脂,廢液二級(jí)過濾罐底部的廢液出口流出,,送往剝離成分處理系統(tǒng),。上述過濾得到的一級(jí)線性酚醛樹脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,而二級(jí)線性酚醛樹脂可用于其他場合,。綜上,,實(shí)現(xiàn)了對光刻膠樹脂的充分的回收利用,回收率得到提高。附圖說明圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖,;圖2是過濾筒的結(jié)構(gòu)示意圖,。具體實(shí)施方式如圖1、圖2所示,,該光刻膠廢剝離液回收裝置,,包括攪拌釜10和與攪拌釜10連通的過濾罐,所述過濾罐的數(shù)量為兩個(gè),,由一級(jí)過濾罐16和二級(jí)過濾罐13組成,。所述一級(jí)過濾罐16和二級(jí)過濾罐13在垂直方向上位于攪拌釜10下方,一級(jí)過濾罐16和二級(jí)過濾罐13的進(jìn)料管路15,、14分別與攪拌釜10底部連通,且進(jìn)料管路15,、14上分別設(shè)有電磁閥18,、17。所述一級(jí)過濾罐16的底部出液口19連接有提升泵6,,所述提升泵6的出料管路末端與攪拌釜10頂部的循環(huán)料口7連通,。攪拌釜10頂部另設(shè)有廢剝離液投料口5和功能切換口3。蕪湖BOE蝕刻液剝離液供應(yīng)